Способ определения толщины слоя покрытия

 

Изобретение относится к техническим измерениям. Цель изобретения - повышение информативности. Способ заключается в том, что на вращающемся подложкодержателе 1 размещают N круглых подложек 2 одинакового радиуса R таким образом, чтобы расстояния между центрами подложек и центром вращающегося подложкодержателя отличались у соседних подложек на постоянную величину ΔR, определяют средние толщины W<SB POS="POST">1</SB>, W<SB POS="POST">2</SB>...W<SB POS="POST">N</SB> слоев покрытия на каждой из N подложек методом взвешивания, а толщину W(R) осаждаемого слоя покрытия в произвольной точке вращающегося подложкодержателя и ее зависимость от расстояния R до центра вращения подложкодержателя определяют по зависимости W(R)=A<SB POS="POST">1</SB>+A<SB POS="POST">2</SB>R+...+A<SB POS="POST">N</SB>R<SP POS="POST">N-1</SP>, где A<SB POS="POST">1</SB>, A<SB POS="POST">2</SB>...A<SB POS="POST">N</SB> - коэффициенты линейной системы уравнений ΣA<SB POS="POST">MK</SB>A<SB POS="POST">K</SB>=W<SB POS="POST">M</SB> M=1,2...N

Q<SB POS="POST">MK</SB>=2/φR<SP POS="POST">2</SP> @ R<SB POS="POST">K</SB>ARCCOSR<SP POS="POST">2</SP>+R<SP POS="POST">2</SP>M-R<SP POS="POST">2</SP>/2R<SP POS="POST">.</SP>RMDR

W<SB POS="POST">M</SB> - средняя толщина на M-й подложке. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

12 1 (19) (51)5 G 01 В 5/06

ГОС

ПО

ПРИ

К В (21) (22) (46) (72) (53) (56) товл ник

1963 (54)

СЛО (57) изм ние в то жат оди ния вра

ДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ГКНТ СССР

ТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

409362/25-28

1.04.88.

3.1-1.90. Бюл. М 43 .С. Кирзон, Г.А. Вугальтер и В.П. Глазов

31.717(088.8) етфессель С, Тонкие пленки, их Изгоние и измерение. Под ред Н,С. Хлебва. М. — Л. Гос.энергетическое изд-во, ., с.124 — 126.

ПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

ПОКРЫТИЯ зобретение относится .к техническим рениям. Цель изобретения — повышенформативности. Способ заключается что на вращающемся подложкодере 1 размещают и круглых подложек 2 кового радиуса R так, чтобы расстояежду центрами подложек и центром ающегося подложкодержателя отличались у соседних подложек на постоянную величину Лг,оп ределя ютсредниетол щины

W1, W2,..., Wn слоев покрытия на каждой . иэ и подложек методом взвешивания, а толщину W (r) осаждаемого слоя покрытия в произвольной точке вращающегося подложкодержателя и ее зависимость от расстояния r до центра вращения подложкодержателя определяют по зависимости W {г) = А1+ А2г+ ... + A r" ° где

А1, А2,... Ап — коэффициенты линейной системы уравнений ап1КА» = Wm, m - 1,2,...n; к=1

2 гГп +R 1(г2 + ràm — R

Q g = г -Йг arccos 2 г 2 1гщ— 2г гщ

Wm — средняя толщина íà m-й подложке.

1 ил.

1608412 и

Qmk Ak = Wm, m = 1,2...n; =1

Составитель Н. Бочарова

Редактор А. Козориз Техред M.Ìoðãåíòàë Корректор В, Гирняк

Заказ 3605 Тираж 494 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к техническим измерениям толщины пленочного покрытия, осажденного на подложку.

Цель способа — повышение информативности путем определения толщины 5 осаждаемого слоя покрытия в любой точке вращающегося подложкодержателя, а также ее зависимости от расстояния до центра вращения подложкодержателя.

На чертеже приведена схема для иллю- 10 страции предлагаемого способа, Способ определения толщины слоя покрытия заключается в том, что на подложкодержателе 1 размещают и подложек 2 одинакового радиуса R по разным направ- 15 лениям от центра вращения подложкодержателя так, чтобы расстояния между центрами подложек и центром вращающегося подложкодержателя отличались у соседних подложек на постоянную величину 20

hr, т.е. если центр первой подложки удален от оси вращения плоскодержателя íà r1, а

ЦентР m-й íà rm, то (rm — r1) = (m — 1) Лг, гДе

m = 1, 2. 3,...n, и осаждают покрытие на вращающийся подложкодержатель 1, 25

Далее определяют средние толщины

W1, W2,.„Wn слоев покрытия на каждой из и подложек методом взвешивания, а толщину

W(r) осаждаемого слоя в произвольной точке вращающегося подложкодержателя on- 30 ределяют по зависимости W(r) = А1+ А2г+ ...

+А гл-1 где А1, А2„...А, — коэффициенты линейной системы уравнений

2 Гп,+g k 1 +rm — R

3mk = — J m p» агссоэ бг 2 гп — Р 2г гп, Wm — средняя толщина слоя íà m-й подложке;

rm — расстояние от центра m-й подложки до центра вращения подложкодержателя.

Формула изобретения

Способ определения толщины слоя покрытия, осаждаемого на подложку, заключающийся в том, что взвешивают подложку до и после нанесения слоя покрытия и определяют среднюю толщину слоя по зависимости между весом и площадью слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения информативности способа путем определения толщины осаждаемого слоя покрытия в любой точке, размещают на вращающемся подложкодержателе п круглых подложек одинакового радиуса R так, чтобы площади подложек не перекрывались, on редел яют средние толщины

W1, ЧЧ2...Э4 слоев покрытий на каждой иэ n „. подложек, а толщину W(r) осаждаемого в произвольной точке определяют по зависимости

W(r) = A1 + А2г+...+Алг " где А1, A2,...,An — кбэффициенты линейной системы уравнений

° ° ° °

mkAk=Wm,m=1,г,3,..„n

k=1

2 +В м и г+4 — R

amk = .1 " r аГССОЗ " 0Г i 2 гщ — В 2г Im

Wm — сРеднЯЯ толщина слоЯ íà m-й подложка1

rm — расстояние от центра m-й подложки до центра вращения подложкодержателя.