Способ регистрации сквозных отверстий в непрозрачных покрытиях, нанесенных на прозначную подложку

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для регистрации отверстий в заготовках фотошаблонов, используемых при изготовлении полупроводниковых приборов методом фотолитографии. Цель изобретения - увеличение разрешающей способности способа и повышение производительности регистрации за счет того, что дифракционные изображения одного отверстия сливаются в одно увеличенное изображение по направлению сканирования главного дифракционного изображения, и за счет того, что изображения отверстий на экране регистрируются одновременно на большой площади. Предлагаемый способ заключается в регистрации дифракционных картин, образующихся после прохождения излучения сквозь отверстия в покрытии с помощью светочувствительного слоя, нанесенного на плоский экран, перемещающийся в собственной плоскости и расположенный параллельно плоскости подложки. Освещение непрозрачного покрытия производят по всей площади под небольшим углом (от -5 до +5°) относительно нормали к поверхности. С помощью светочувствительного слоя регистрируют дифракционные картины, образующиеся в результате прохождения излучения через отверстия в непрозрачном покрытии. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4634837/25-28 (22) 29.01.89 (46) 15.11.90. Бюл. № 42 (72) В. И. Плынин, Н. Д. Марченко и А. И. Безверхий (53) 531.715.27 (088.8) (56) Куров Г. А., Маркарян А. Б., Жильцов Э. А. Микроскопические поры в тонких металлических пленках — Микроэлектроника. М.: Наука, 1973, т. 2 № 2, с. 145. (54) СПОСОБ РЕГИСТРАЦИИ СКВОЗНЫХ ОТВЕРСТИЙ В НЕПРОЗРАЧНЫХ

ПОКРЫТИЯХ, НАНЕСЕННЫХ НА ПРОЗРАЧНУЮ ПОДЛОЖКУ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для регистрации отверстий в заготовках фотошаблонов, используемых при изготовлении полупроводниковых приборов методом фотолитографии. Цель изобретения — увеличение разрешающей способности способа и повышение производительности регистрации

Изобретение относится к измерительной те;нике и может быть использовано для онтроля наличия дефектов типа сквозных микроскопических отверстий в заготовках фотошаблонов, используемых при изготовлении полулроводниковых приборов методом фотолитографии.

Цель изобретения — увеличение разрешающей способности способа и повышение производительности регистрации за счет того, что дифракционные изображения одного отверстия сливаются в одно увеличенное изображение по направлению сканирования главного дифракционного изображения, и за счет того, что изображения отверстий на экране регистрируются одновременно на большой площади.

„„Я1.1„„1606919 А 1 (51)5 G 01 N 2!/88 за счет того, что дифракционные изображения одного отверстия сливаются в одно увеличенное изображение по направлению сканирования главного дифракционного изображения, и за счет того, что изображения отверстий на экране регистрируются одновременно на большой площади. Предлагаемый способ заключается в регистрации дифракционных картин, образующихся после прохождения излучения сквозь отверстия в покрытии с помощью светочувствительного слоя, нанесенного на плоский экран, перемещающийся в собственной плоскости и расположенный параллельно плоскости подложки. Освещение непрозрачного покрытия производят по всей площади под небольшим углом (от — 5 до +5 ) относительно нормали к поверхности. С помощью светочувствительного слоя регистрируют дифракционные картины, образующиеся в результате прохождения излучения через отверстия в непрозрачном покрытии.

1 ил.

На чертеже изображена принципиальная схема установки для осуществления предлагаемого способа.

Установка содержит осветитель 1, направляющий под углом к нормали поток когерентного излучения на прозрачную подложку 2 с непрозрачным покрытием в виде маскирующего слоя 3. Параллельно подложке 2 и с противоположной ее стороны расположен плоский экран 4, способный перемещаться в своей плоскости, на поверхность которого нанесен светочувствительный слой 5, в котором после фотохимической обработки наблюдаются дифракционные изображения отверстий 6.

Способ осуществляют следующим образом.

1606919

Формула изобретения

Составитель Л. Лобзова

Редактор А. Ревин Техред А. Кравчук Корректор О. Кравцова

Заказ 3547 Тираж 511 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва. Ж 35, Раушская наб., д. 415

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Излучение от осветителя 1 падает под небольшим углом О (от — 5 до +5 ) на поверхность подложки 2, покрытой маскирующим слоем 3, в котором присутствуют сквозные отверстия 6. Через отверстия 6 излучение падает на светочувствительный слой 5 экрана 4, частично поглощается светочувствительным слоем 5, частично отражается от его поверхности и поверхности маскирующего покрытия 3 с обратной стороны и снова достигает светочувствительного слоя 5.

В результате после фотохимической обработки светочувствительного слоя 5 на плоскости экрана 4 будут наблюдаться дифракционные изображения и вторичные (в результате отражений от слоя 5 и маскирующего покрытия 3) дифракционные изображения отверстий 6. Если во время экспозиции экран 4 переместить в собственной плоскости на минимальный размер одного дифракционного изображения относительно заготовки, то дифракционные изображения одного отверстия сливаются в одно увеличенное изображение по направлению сканирования главного дифракционного изображения, что повышает разрешающую способность и достоверность получаемых результатов регистрации. При. этом суммарное время экспозиции увеличивается в п(г-) раз, 2 а где п — количество перемещении в одном направлении, 2а — линейный размер минимального отверстия, S — линейный размер его дифракционного изображения.

Способ регистрации сквозных отверстий в непрозрачных покрытиях, нанесенных на прозрачную подложку, заключающийся в том, что освещают подложку световым потоком, наблюдают изображения отверстий и производят регистрацию отверстий, отличающийся тем, что, с целью увеличения разрешающей способности способа и повышения производительности регистрации, освещение подложки световым потоком производят под углом от — 5 до +5 относительно нормали к ее поверхности, устанавливают с противоположной стороны поверхности подложки параллельно ей плоский экран, покрытый светочувствительным слоем, проецируют полученные в результате прохождения излучения сквозь отверстия дифракционные изображения отверстий на экран, перемещают экран в его плоскости на расстояние порядка размера

25 дифракционного изображения и проводят фотох имическую обработку светочувствительного слоя, а регистрацию отверстий производят по их дифракционным изображениям.