Устройство для жидкостной очистки мелких деталей

 

Изобретение относится к очистке мелких деталей и позволяет повысить эффективность и качество очистки. Мелкие детали располагаются в пазах оправки, установленной в П-образную коробчатую емкость, которая в свою очередь устанавливается во вращающуюся кассету. Цилиндрическая ванна с моющей жидкостью снабжена тормозными ребрами, установленными на ее внутренней поверхности параллельно ее оси. При вращении кассеты с емкостями на детали, расположенные в пазах оправок, действуют турбулентные вихревые потоки моющей жидкости от тормозных ребер, проникающие в пазы оправок через перфорацию емкостей. Кроме того, на детали воздействуют потоки моющей жидкости, возникающие от вращения емкостей. В результате детали подвергаются воздействию интенсивных турбулентных потоков моющей жидкости. 5 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„Я0„„16025

А1 (51)5 В 0

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ

ilO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4494701/40-12 (22) 26.07.88 (46) 30.10.90. Бюл. № 40 (72) В. И. Савин (53) 628.314.2 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1047549, кл. В 08 В 3/04, 1981. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЖИДКОСТНОЙ

ОЧИСТКИ МЕЛКИХ ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к очистке мелких деталей и позволяет повысить эффективность и качество очистки. Мелкие детали располагаются в пазах оправки, установленной в П-образную коробчатую емкость, которая, в свою очередь, устанавИзобретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов, в частности для групповой очистки полупроводниковых кристаллов..

Цель изобретения — повышение эффективности и качества очистки.

На фиг. 1 изображено устройство для жидкостной очистки мелких деталей, разрез; на фиг. 2 — то же, вид сверху, с местным разрезом одной из,съемных кассетмешалок; на фиг. 3 — вид по стрелке А на фиг. 2; на фиг. 4 — разрез Б — Б на фиг. 3; на фиг. 5 — схема направления рабочих потоков моющей жидкости в зоне гормозного ребра.

Устройство для жидкостной очистки мелких деталей содержит цилиндрическую ванну 1 с тормозными ребрами 2, размещенными радиально на внутренней стороне ее стенки, уплотнительное устройство 3, через которое проходит вал 4 с размещенной на нем кассетой-мешалкой 5 со съемными емкостями 6. Стенки емкостей 6 перфорированы отверстиями 7 и 8. В каждую емкость помещена оправка 9, в пазах а которой закреплеливается во вращающуюся кассету. Цилиндрическая ванна с моющей жидкостью снабжена тормозными ребрами, установленными на ее внутренней поверхности параллельно ее оси. При вращении кассеты с емкостями на детали, расположенные в пазах оправок, действуют турбулентные вихревые потоки моющей жидкости от тормозных ребер, проникающие в пазы оправок через перфорацию емкостей. Кроме того, на детали воздействуют потоки моющей жидкости, возникающие от вращения емкостей.

В результате детали подвергаются воздействию интенсивных турбулентных потоков моющей жидкости. 5 ил. ны клеем 10, например пицеином, деталикристаллы 11. На днище ванны 1 установлен электропривод 12 с конической парой и подсоединены трубопроводы для подвода и слива обрабатывающей (моющей) жидкости, например ацетона. Кроме того, устройство содержит нагреватель 13.

Устройство для жидкостной очистки мелких деталей помещают в вытяжной шкаф (не показан) .

Устройство работает следующим образом.

Кассету-мешалку 5 предварительно размещают в ванне 1 и жестко закрепляют на валу 4. Оправки 9 с закрепленными на них клеем 10 кристаллами 11 помещают в емкости 6, установленные на кассете-мешалке 5. В ванну 1 подают обрабатывающую жидкость, и при заполнении ее до необходимого уровня включают нагреватель 13, отключаемый периодически при нагреве обрабатывающей жидкости до кипения. Одновременно с нагревателем 13 включают электропривод 12 кассеты-мешалки 5, вращающий ее в реверсивном режиме.

При вращении очистку кристаллов осуществляют два вида потока кипящей обраба1602587 тывающей жидкости. Один возникает за счет разности скоростей обрабатывающей жидкости, вовлекаемой во вращение, и оббатываемых кристаллов. Проникая через отверстия 7 в каждую емкость, поток движется вдоль пазов а,растворяет и уносит клей

10, отделяя кристаллы 11 друг от друга и от оправки 9. Вовлекаемая во вращение обрабатывающая жидкость под действием центробежных сил стремится подняться по внутренней стенке ванны 1 и, ударяясь о тормозные ребра 2, образует вихревые потоки второго вида, направленные под углом к поверхности с пазами а оправки 9.

Каждый из этих потоков также проникает в емкости 6 через отверстия 8, растворяет и уносит клей 10, отделяя кристаллы 11 друг от друга и от оправки 9. После отделения кристаллов 11 от оправки 9 необходимо их отмыть от остатков клея 10.

Для этого отключают нагреватель 13, осуществляют смену отработанной обрабатывающей жидкости на чистую и повторяют описанный процесс обработки. По окончании отмывки удаляют обрабатывающую жидкость из ванны, а кристаллы 11 сушат центрифугированием, вращая кассету-мешалку 5.

Далее останавливают электропривод 12, с кассеты-мешалки 5 снимают емкости 6, из которых вынимают оправки 9 обработанными кристаллами 11, затем передают их на следующую технологическую операцию, а в емкости 6 загружают следующую партию кристаллов 11, размещенных на оправке 9.

Выполнение кассеты-мешалки в виде коробчатой емкости с оправкой для размещения деталей и установка тормозных ребер ванны радиально на внутренней стороне ее стенки позволяют зафиксировать радиус вращения обрабатываемых деталей вблизи стенки ванны и обрабатывать их моц ными турбулентными потоками, исходящими от тормозных ребер, улучшить перемешивание обрабатывающей жидкости, избегая образования воронки на ее поверхности, увеличить скорость вращения емкостей кассеты-мешалки, увеличивая мощность потоков, омывающих детали, а также обрабатывать одновременно все поверхности деталей.

Кроме того, размещение в емкостях кристаллов, чувствительных и механическим воздействиям, на оправках, используемых в предыдущей технологической операции, позволяет проводить непрерывный цикл обработки на этой оправке в устройстве и на ней передавать кристаллы для дальнейшей обработки, что значительно повышает выход годных кристаллов и производительность обработки.

Выполнение кассеты-мешалки устройства со съемнями емкостями позволяет регулировать интенсивность перемешивания обрабатывающей жидкости количеством емкостей, что обеспечивает повышение производительности и эффективности обработки.

Формула изобретения

Устройство для жидкостной очистки мелких деталей, преимущественно полупроводниковых кристаллов, содержащее цилиндрическую ванну для моющей жидкости, приводной вал, проходящий в центре ванны через

25 уплотнение, установленную на валу съемную перфорированную кассету-мешалку для размещения в ней деталей, тормозные ребра, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности и качества очистки, кассета-мешалка выполнена в виде

3п по меньшей мере одной П-образной коробчатой емкости с оправкой, а тормозные ребра установлены на внутренней цилиндрической поверхности ванны параллельно ее продольной оси, при этом оправка выполнена сплошной по форме коробчатой емкости с пазами, расположенными в поперечной относительно продольной оси ванны плоскости, и установлена в П-образную коробчатую емкость со стороны приводного вала до упора гранями пазов в ее стенку, обращенную к тормозным ребрам, причем пазы расположены в зоне воздействия на них вихревых потоков моющей жидкости, образующихся от тормозных ребер при вращении коробчатой емкости.

1602587

1602587

Составитель Г. Кудров

Редактор А. Огар Техред А. Кравчук Корректор Н. Король

Заказ 3346 Тираж 506 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д, 4/5

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101