Установка для изготовления изделий-—• из синтетической двуокиси кремния

О П И С А Н И Е I69218

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 19Л11.1964 (№ 889129/29-14) Кл. ЗЯЬ, 3« с присоединением заявки №

Приоритет

Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР

МПК С 03с

УДК 666.112.2(088.8) Опубликовано 11.lll.1965. Бюллетень № 6

Дата опубликования описания 26.IV.1965

Авторы изобретения

В. В. Дудин, А. Н. Иванов и Л. И. Чуйков

Заявитель (УСТАНОВКА ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЯ =ИЗ СИНТЕТИЧЕСКОЙ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ

Подписная группа № 145

Известные установки для изготовления изделий из синтетической двуокиси кремния содержат вращающиеся шпиндели с оправками и стационарно установленными горелками.

Цель изобретения — повысить производительность установки и механизировать изготовление изделий. Достигается это выполнением установки со станиной, на которой смонтирован подвижный стол, несущий шпиндели с оправками, вблизи от стола расположены горелки.

На чертеже показана принципиальная схема установки.

На станине 1 установлен подвижный стол 2, который с помощью направляющих 8 и 4 может перемещаться соответственно в продольном и поперечном горизонтальном направлениях приводами 5 и б. Оправки 7, смонтированные на шпинделях 8, приводятся во вращение электродвигателем 9 посредством привода, состоящего из ременной передачи 10, системы шкивов 11, шестерен 12 и 18.

Возвратно-поступательное в вертикальном направлении движение оправок осуществляется приводом 14 и устройством 15. Оправки вращаются в подшипниках 1б.

В горелки 17, стационарно смонтированные на стенде (на чертеже не показан), по коммуникациям 18 и 19 подают соответственно кислород и водород. Четыреххлористый кремний из трубопровода поступает в испарители 20, оттуда в виде пара через соединительную трубку 21 — в горелки 17.

Установка работает следующим образом.

Приводом б продольного перемещения, который может быть механическим или ручным, и приводом б поперечного перемещения стол устанавливают так, чтобы ось вращения оправки пересекалась с осью горелки. В горелку по10 дают водород и кислород и смесь поджигают у сопла горелки. После этого включают электродвигатель, который через приводы

10 — 14 и устройство 15 сообщает оправкам одновременно вращение и возвратно-поступа15 тельное перемещение в вертикальном направлении. Пламя горелок должно равномерно обрабатывать поверхность оправок. После прогревания оправок (2 — 3 мин), включают нагреватели испарителей, в которые подают че20 тыреххлористый кремний. Образующиеся пары поступают в горелку, и в пламени горелки синтезируется тон кодисперсная двуокись кремния, которая равномерным слоем осаждается на оправках 7.

В процессе напыления механизм устройства, смонтированный на подвижном столе 2, можно по необходимости отодвигать от горелок 17 приводом б так, чтобы расстояние

30 между горелкой и поверхностью осаждения

169218

Предмет изобретения (1

Яд

1 ! 1

> с

Составитель Н. Г. Степанова

Редактор Э. Н. Шибаева Текред Ю, В. Баранов Корректор О. И. Попова

Заказ 804/12 Тираж 725 Формат бум. 60+90

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 оставалось постоянным. Расстояние контролируют по нониусу.

За время напыления очередного комплекта оправок, напыленные изделия охлаждают, отделяют от оправок, оправки счищают. В дальнейшем механизм устройства снова переводят в исходное положение, и цикл повторяется.

Напыление можно производить на части оправок и на всех оправках одновременно.

Можно также использовать два блока горелок, расположенных с противоположных сторон устройства. В этом случае расстояние между горелками и оправками регулируют не приводом поперечного перемещения, а изменением длины пламени горелки в процессе работы.

Устройство оснащено ограждением, предотвращающим загрязнение движущихся деталей и нагревание их прямым излучением пламени. При помощи эффективной вытя>кной вентиляции отсасываются агрессивные газы и обеспечивается разбавление взрывоопасных газов.

Приводы механизмов и горелки могут быть различных конструкций. Число оправок

5 и расположение их может быть также различным, в зависимости от требуемой производительности, условий работы, рациональности и удобства обслу>кивания.

Установка для изготовления изделий из синтетической двуокиси кремния, включающая вращающиеся шпиндели с оправками и

15 стационарно установленные горелки-распылители, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности и механизации изготовления изделий, она выполнена со станиной с продольными и поперечными направ20 ляющими, с перемещающимся по ним столом, несущим шпиндели с оправками, и с горелками, расположенными близ стола.