Патент ссср 160063
Подписная группа М 109
В. В. Новиков и В. В. Русаков
ЩЕЛОЧНОЙ ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ
КРЕМНИЯ
Ацетат калия
Трилон Б
1,5 — 2,5
0,2 — 0,7
Предмет изобретения
Известны кислые травители для травления кремния — смеси на основе плавиковой и азотной кислот. Известно также травление в кипящем 20 — 30%-ном растворе едкого калия. Для травления поверхности кремниевых элементов с облуженными контактами или припаянных к кристаллодержателю применение кислых травителей неудобно из-за необходимости защиты всех металлических поверхностей.
Предложен щелочной травитель для травления облуженных или припаянных к кристаллодержателю кремниевых рабочих элементов следующего состава (в о/<)
Едкий калий...... 20 — 30
Фосфорнокислый калий .. 0,8 — 1,5
Щелочной травитель для химического травления, например, облуженных или припаянных к кристаллизатору кремниевых элементов, отл и ч а ющий ся тем, что, с целью получения равномерного и качественного травления, в состав травителя вводят (в o/о)
Едкий калий . . . . . . 20 — 30
Фосфорнокислый калий .. 0,8 — 1,5
Лцетат калия,..... 1,5 — 2,5
Трилон Б....... 0,2 — 0,7
