Способ изготовления толстопленочных резисторов
Способ изготовления толстопленочных резисторов, включающий формирование на диэлектрической подложке резистивного элемента, термическую обработку, ионную очистку поверхности резистивного элемента и создание контактов к нему, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности за счет снижения и стабилизации величины, контактного сопротивления, ионную очистку поверхности резистивного элемента проводят при напряжении пучка ионов 2 - 4 кВ и плотности потока ионов 6 - 10мА/см2 в течение 0,5 - 4 ч.
Похожие патенты:
Способ подгонки величины сопротивления пленочных резисторов гибридных интегральных микросхем // 1549386
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при производстве резисторов
Резистор // 1545825
Изобретение относится к производству радиодеталей и может быть использовано для окраски резисторов, конденсаторов и других радиодеталей цилиндрической формы с осевыми выводами
Изобретение относится к производству электрорадиоэлементов, а именно к устройствам для изготовления потенциометров
Резистор // 1524732
Резистор // 1521139
Способ изготовления фольговых резисторов // 1491235
Изобретение относится к технике изготовления резисторов, в частности прецизионных резисторов для электроизмерительных приборов
Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано при производстве резистивных элементов
Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в производстве тонкопленочных терморезисторов - датчиков температуры
Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в производстве тонкопленочных терморезисторов - датчиков температуры
Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении изделий с пленочными резистивными элементами, входящими в состав приемопередающих устройств, систем обработки сигналов и датчиков различного функционального назначения
Резистивный материал // 2152099
Изобретение относится к электротехнике, в частности к электропроводным материалам, и может быть использовано для изготовления нелинейных регисторов, применяемых, например, в устройствах, предназначенных для защиты от перенапряжений
Изобретение относится к средствам нагрева и может быть использовано в промышленности и в быту
Переменный резистор // 2155403
Изобретение относится к области электротехники, а именно к переменным резисторам