Устройство для измерения диэлектрической проницаемости плоских диэлектриков

 

Изобретение относится к технике измерений на СВЧ. Цель изобретения - повышение точности измерений. Устройство для измерения диэлектрической проницаемости плоских диэлектриков содержит резонатор, выполненный в виде втулки 1 из материала с высоким значением диэлектрической проницаемости, внешняя 2 и внутренняя 3 поверхности которой металлизированы, другая торцовая поверхность резонатора укреплена в металлическом корпусе 12, при этом внешняя поверхность 2 имеет электрический контакт с металлическим корпусом 12, а внутренняя поверхность 3 соединена с проводящим штырем 15, электромагнитно связанным элементами связи 13, 14, с СВЧ-генератором и измерителем сдвига частоты. Плоский диэлектрик помещается между одной торцовой поверхностью втулки 1 фторопластовым диском 5 механизма прижатия 4. О значениях диэлектрической проницаемости судят по смещению резонансной частоты резонатора 1. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (!1) щ) G 01 И 27/26

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫЦЩМ

ПРИ ГННТ СССР (21 ) 4 3786 72/24-09 (22) 15,02.88 (46) 15.07.90, Бюл. 1(- 26 (72) А,Е.Алексенко, А,Г. Липский, С, А. Свистель, Ач Л, Згурский и Ан,В,Згурский (53) 621. 317. 335, 3 088. 8) . (56) Батура В.Г. Измерение диэлектрической проницаемости подложек ИС СВЧ в дисковом микрополосковом резонаторе, -Электронная техник а. Сер . 1 . Электрика СВЧ, 1978, 1("- 9, с. 67-74.

Дувинг В,Г. Локальные измерения диэлектрической проницаемости и тангенса угла потерь подложек на СВЧ.

-Электронная техника, Сер. 1. Электроника СВЧ, 1984, Р 12 с. 34-38, (54 ) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ 11РОНИЦАЕМОСТИ ПЛОСК (Х

- Д)(ЭЛЕКТРИКОВ (57) Изобретение относится к технике измерений на СВЧ. Цель изобретения повьппение точности измерений, Устройство для измерения диэлектрической проницаемости плосясх диэлектриков содержит резонатор, выполненный в виде втулки l из материала с высо-. ким значением диэлектрической проницаемости, внешняя 2 и внутренняя 3 поверхности которой мет аллизированы, другая торцовая поверхность резонатора укреплена в металлическом корпусе 12, при этом внешняя поверхность 2 имеет электрический контакт с металлическим корпусом 12, а внутренняя поверхность 3 соединена с проводящим штырем 15, электромагнитно свяэанилм элементами связи 13, 14 с СВЧ-генератором и измерителем сдвига частоты.

Плоский диэлектрик помещается между одной торцовой поверхностью втулки 1 и (торопластовым диском 5 механизма прижатия 4. О значениях диэлектрической проницаемости судят по смещению реэ онанс ной частоты р ез онатор а 1, 2 ил.

1578666

Изобретение относится к технике измерений на СВЧ и может быть использовано для измерения параметров .плоских диэлектриков °

З

Цель изобретения - повышение точности измерений.

На фиг. 1 изображено устройство дпя измерейия диэлектрической проницаемости плоских циэлектриков, на }0 фиг, 2 — график зависимости диэлектрической проницаемости от сдвига частоты для прототипа (а) и предла-. гаемого устройства (в), Устройство для измерения диэлек" 15 трической проницаемости плоских циэлектриков содержит коаксиальньЯ ре" зонатор, выполнений в вице диэлек" трической втулки 1 из материала с высоким значением диэлектрической проницаемости, например, тетратитаната бария, внешняя и внутренняя цилиндрические поверхности 2 и 3 которого метаплизирован ы, механизм 4 прижатия плоского диэлектрика, состоящий из фторопластового диска 5, держателя 6, соединенного со стержнем 7, пружины 8, втулки 9, закрепленной на стойке 10, и ручки .1 1, корпус 12, элементы 13 и

14 связи соответственно с СВЧ-генера-! тором и измерителя сдвига частоты, штырь 15, коаксиальные проводники 16 и 17 с коаксиальныии разъемаьи 18 и

19, отверстие 20, Резонансная частота коаксиального

35 резонатора, который является по существу диэлектрическим резонатором, контролируется по цепи элемент 14 связи, коаксиалыый проводник 17, разъем

19, измеритель .сдвига частоты. При .40 этом выполняется калибровка инцикатора, При необходимости осуществляется подстройка элементов 13 и 14 связи резонатора и штыря 15, УстРойство .для измерения циэлектри 45 ческой проницаемости плоских диэлек триков работает слецующим образом, Высокочастотные колебания от СВЧгенератора поступают на входной разъем

18. Через элемент 13 связи, электро50 магнитно связанный с штырем 15, происходит возбуждение диэлектрического резонатора на высших типах колебаний, например,, на четвертом типе колебаний.

Дня измерения параметров плоского диэлектрика ой помещается между одной торцовой поверхностью диэлектрическ< и втулки 1 и фторопластовым диском 5 механизма 4 прижатия, обеспечивающего нацежную фиксацию исслецуемого диэлектрика, При этом происхоцит смещение резонансной частоты диэлектрического резонатора, которое на инцикаторе отображается в значениях диэлектрической проницаемости. Для смены плоского ди.электрика ручкой 11 отводится фторопластовый диск 5.

Повышение точности достигается за счет повышения линейности характеристики Я =p(Qf) в области высоких значе-. ний циэлектриче ской проницаемо Ta . (cM. фиг, 2в), фор мул а и з обр ет ения

Устройство для измерения диэлектрической проницаемости плоских диэлектриков, содержащее резонатор, механизм прижатия исследуемого плоского диэлектрика к одному из торцов резонатор а и мет алли че ский кор пу с, в котором размещены элементы связи. с СВЧгенератором и измерителем сдвига частоты, о т л и ч а ю щ.е е с я тем, что, с целью повышения измерений, резонатор выполнен в ниде диэлектрической втулки из материала с высоким значением диэлектрической проницаемости, внешняя и внутренняя цилиндрические поверхности которой метаплизированы, другая торцовая поверхность резонато-. ра закреплена в метаплическом корпусе, при этом внешняя метализированная поверхность диэлектрической втулки имеет электрический контакт с металлическим корпусом, а внутренняя соединена с, введенным проводящим штырем, электромагнитно связанным с элементами связи с СВЧ-генератором и измерителем сдвига частоты, 1578666

Составитель P,Кузнецоыа

Техред Л. Сердюкова

Корректор С.Черни

Редактор Е.Копча

Подписное

Тирам 559

Заказ 1915

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открьггиям при ГКНТ СССР

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина,. 101