Датчик абсолютного давления
Датчик абсолютного давления может быть использован для измерения абсолютного давления с повышенной точностью. С этой целью в вакуумируемой камере размещают геттерный узел, состоящий из пластины 7, расположенной над ниппельным отверстием, и нанесенного на пластину геттерного материала 8. В результате после нагрева датчика достигается более низкое остаточное давление в опорной камере. 2 ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН ($$) $ С О1 ь 7/00
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4383840/24-10 (22) 05, 0),88 (46) 07. 06. 90, Бюл. 9 21 (72) П.Г.Михайлов, В,H Марин, А,К,Матвеев и Н,В,Иванова (53) 531. 787 (088 . 8) (56) Авторское свидетельство СССР
Ф 4082255/24-10, кл. G 0) L 9/04, 1987 (54) ДАТЧИК АБСОЛЮТНОГО ДАВ)ГНИЯ (57) Датчик абсолютного давления
„.,SU„„1569608 А 1 может быть использован для измерения абсолютного давления с повьш еннай точностью, С этой целью в вакуумируемой камере размещают геттерный узел, состоящий из пластины 7, расположенной над ниппельным отверстием, и нанесенного на пластину геттерного материала 8, В результате после нагрева датчика достигается более низкое остаточное давление в опорной камере.
2 ил.
1569608
Составитель О.Слюсарев
Техред M.Дидык . Корректор О,Цилле
Редактор Л.Гратилло
Заказ 1439 Тираж 470 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул, Гагарина, 101


