Способ контроля растекаемости жидких металлов

 

Изобретение касается определения физико-химических свойств материалов и может быть использовано в обработке металлизированных поврехностей диэлектриков расплавами, нанесении жидкофазных покрытий. Целью изобретения является определение условий максимальной растекаемости жидких металлов по поверхности тонких пленок. Для этого предварительно на огнеупорную пластину через отверстия в маске в виде сеточки испарением и конденсацией наносят систему выступов из материала металлизирующей пленки, жидкий металл наносят в виде капли толщины N<SB POS="POST">0</SB> и из временных зависимостей растекания определяют условие максимальной растекаемости. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (gg)g G 01 N l1/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А STOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHRM

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4443550/31-25 (22) 20.06.88 (46) 07.04.90. Бюл. N 13 (71) Харьковский государственный университет им.А.М.Горького (72) И.П.Гребенник (53) 532.137 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 1267211, кл. G Oi N 11/00, 1984.

Авторское свидетельство СССР

В 1317321, кл. G 01 N 11/00, 1985. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ PACTEKAEMOCTH

ЖИДКИХ МЕТАЛЛОВ (57) Изобретение касается определения физико-химических свойств материалов

Изобретение относится к способам определения физико-химических свойств материалов и может быть использовано в обработке металлизированных поверхностей диэлектриков расплавами, нанесении жидкофазных покрытий и в других научно-технических экспериментах, использующих тонкопленочные системы в планарной технологии, пленочной электронике и др.

Целью изобретения является определение условий максимальной растекаемости

На чертеже дана схема реализация предлагаемого способа, На чертеже изображена огнеупорная подложка 1, нанесенные на нее островки (выступы) твердого металла 2 толщиной d покрывающая их сплощная пленка 3 того же металла толщиной и капля жидкого металла 4 толщиной Ь».

„.80„„1555647 А 1

2 и может быть использовано в обработке металлизированных поверхностей диэлектриков расплавами, нанесения жидкофазных покрытий. Целью изобретения является определение условий максимальной растекаемости жидких металлов по поверхности тонких пленок. Для этого предварительно на огнеупорную пластину через отверстия в маске в виде сеточки испарением и конденсацией наносят систему выступов из материала металлизирующей пленки, жидкий металл наносят в виде капли толщиной h и из временных зависимостей растекания определяют условие максимальной растекаемости. 1 ил.

Способ реализуется следующим образом.

На огнеупорную подложку через маску наносят систему островков, имею-.- в а щих высоту d и занимающих площадь S Ha покрытую островками подложку наносят слой того же металла толщиной р и площадью S. На металлизированную подложку с выступами, имеющую разную толщину в местах выступов и впадин, равную d и Й+1, наносят каплю расплава толщиной Ь . Исследую растекаемость в зависимости от толщин ho, d а также от o(=S /S и определяют условия максимальной растекаемости.

Пример. На поверхность стекла через сеточки с отверстиями, имеющими размеры 40 40, 60 60, 100 «100, 500i500 мкм наносили островки серебра с высотой d, изменяющейся в пре.делах 0,07-0,2 мкм. Далее на подлож1555647 ю шийся тем, что, с целью определения условий максимальной растекаемости, предварительно на огнеупорную пластину через отверстия в маске в виде сеточки испарением и конденсацией наносят систему иэ выступов из материала металлизирующей пленки, а жидкий металл наносят в виде капли толщиной hc,, которая связана с толщиной металлизирующей твердой пленки ) и высотой выступов d соотношением: ку из стекла с островками наносили сплошную пленку серебра толщиной =

=10-50 нм. На такие шероховатые пленки с выступами и впадинами через отверстия в масках наносили капли гал5 лия, имеющие высоту h =100-200 нм.

Нанесение пленок проводили путем испарения и конденсации в вакууме. Далее определяли временные зависимости перемещения периметра смачивания с помощью микроскопа в процессе изотермической выдержки и сравнивали скорость перемещения границы капли на шероховатой подложке со скоростью перемещения по гладкой. В результате сравнения оказалось, что скорость перемещения границы капли возрастает на шероховатых пленках в 3-5 раэ по сравнению с гладкими» Когда неравен 20 ство не выполняется, на временной зависимости перемещения границы капли наблюдаются остановки для преодоления энергетических барьеров и средняя скорость растекания уменьшается по сравнению с гладкой пленкой. (1 +а и 1распС раап

+ (1 + y,гспл спл о

1. где — плотность твердого металла; — плотность жидкого металла, — плотность образующегося сплава, — плотность образующего расплава, — концентрация образующегося сплава, — концентрация образующегося расплава, /s, 1ж г спл

Грасп

С спп

Формула изобретения

С„

a(= S

Способ контроля растекаемости жидких металлов, заключающийся в нанесении на огнеупорную пластину методом испарения и конденсации металлизирующей пленки, на которую затем наносят жидкий металл, и определении скорости растекания из временной зависимости 35 перемещения границы жидкого металла по твердой поверхности, о т л и ч агде S — площадь, занятая выступами;

S — площадь металлизирующей пленки, и из временных зависимостей растекания определяют условие максимальной растекаемости.

Составитель В.Вощенкин

Техред Л.Сердюкова Корректор Т,Малец

Редактор Л.Гратилло

Заказ 552 Тираж 483 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101