Устройство для очистки преимущественно пьезокерамических пластин

 

Изобретение относится к технологическому оборудованию, может быть использовано для очистки деталей при производстве печатных плат и полупроводниковых пластин и обеспечивает повышение качества очистки поверхности изделия и снятие статического заряда. Устройство содержит сопло 3 для формирования струи жидкости, кинематически связанное со щеткой 7 и установленное соосно с отверстием 17 щетки 7, и механизм реверсивного движения щетки, состоящий из копира 11 с выступами 12 на граничных участках, средство крепления 8 щетки 7, ось 14 с роликом 15, кронштейн 13, жестко связанный с осью 14 и средством крепления 8 щетки 7, причем ось 14 и система подвода рабочего агента 10 соединены посредством пружины 16, а ролик 15 установлен с возможностью перемещения по копиру 11. Устройство позволит повысить качество очистки пьезокерамических пластин за счет устранения возможности вторичного оседания загрязнений на поверхности пластины, а также обеспечит снятие статического заряда с поверхности пластины. 5 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 В 08 В 1/04

ОПИСАНИЕ И3ОБРЕТЕНИЯ

Н А BTGPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (2I) 4287389/40-12 (22) 20.07.87 (46) 15.03.90. Бюл. № 10 (72) В. Н. Комаров, Н. И. Никулин и И. И. Поярков (53) 621.7.024 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 937058, кл. В 08 В 1/04, 1979. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ

ПРЕИМУШЕСТВЕННО ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАСТИН (57) Изобретение относится к технологическому оборудованию, может быть использовано для очистки деталей при производстве печатных плат и полупроводниковых пластин и обеспечивает повышение качества очистки поверхности изделия и снятие статического заряда. Устройство со„„SU„„1549620 д 1 держит сопло 3 для формирования струи жидкости, кинематически связанное со щеткой 7 и установленное соосно с отверстием 17 щетки 7, и механизм реверсивного движения щетки, состоящий из копира

11 с. выступами 12 на граничных участках, средство крепления 8 щетки 7, ось 14 с роликом 15, кронштейн 13, жестко связанный с осью 14 и средством крепления

8 щетки 7, причем ось 14 и система подвода рабочего агента 10 соединены посредством пружины 16, а ролик 15 установлен с возможностью перемещения по копиру 11. Устройство позволит повысить качество очистки пьезокерамических пластин за счет устранения возможности вторичного оседания загрязнений на поверхности пластины, а также обеспечит снятие статического заряда с поверхности пластины. 5 ил.

1549620

5 l0

Формула изобретения

Изобретение относится к технологическому оборудованию и может быть использовано для очистки деталей при производстве печатных плат, интегральных схем и полупроводниковых пластин, а также фотошаблонных заготовок и фотошаблонов, Целью изобретения является повышение качества очистки поверхностей изделия и снятие статического заряда.

На фиг. 1 представлено устройство, общий вид; на фиг. 2 — то же, вид сбоку; на фиг. 3 — вид А на фиг. 2 (сверху устройство изображено в одном из крайних положений); на фиг. 4 — вид Б на фиг. 3 спереди; на фиг. 5 — положение щетки на концевых участках копира (ее положение относительно пластины).

Устройство для очистки поверхности пластин содержит средство 1 фиксации для размещения очищаемых пластин 2 с приводом его кругового движения (не показан), сопло 3 для формирования струи жидкости, установленное с возможностью перемещения вдоль очищаемой поверхности пластины

2 посредством привода 4, который через ось 5 кинематически связан с ним. Кроме того, со средством перемещения сопла 3 в корпусе 6 размещено средство перемещения щетки 7, кинематически связанные друг с другом, обеспечивающие одновременное их перемещение вдоль очищаемой поверхности пластины 2. Средством крепления щетки 7 могут быть трубки 8, закрепленные на оси 9, которая может поворачиваться в корпусе 6. В корпусе имеется система

10 подвода рабочего агента к соплу 3.

Устройство для очистки пластины 2 содержит дополнительный конструктивный элемент-копир 11, имеющий на граничных участках выступы 12. Копир 11 жестко закреплен над системой 10 подвода рабочего агента и средством 8 крепления щетки 7.

Кроме того, устройство снабжено кронштейном 13, в котором выполнены три отверстия и паз: два отверстия — под трубки

8 и одно отверстие по центру сверху для оси 14, на одном конце которой закреплен ролик 15, а другой-конец посредством пружины 16 соединен с системои 10 подачи рабочего агента. Пружина 16 постоянно воздействует на ролик 15, прижимая его к жестко закрепленному копиру 11. Шетка 7 в центре имеет сквозное отверстие 17 и установлена относительно сопла 3 соосно, т.е. центры отверстия 17 и сопла 3 совпадают и находятся на одной оси. Ось 5 имеет возможность вращаться в подшипниках 18.

Предлагаемое устройство работает следующим образом.

Пластину закрепляют в средстве 1 фиксации. Шетка 7 и сопло 3 находятся в крайнем левом положении. Включают привод кругового движения (не показан) и подают моющую жидкость через сопло 3, которое вместе со щеткой 7 сканирует вдоль поверхности пластины 2. При движении сопла 3 посредством струи высокого давления удаляют загрязнения из труднодоступных мест (топологического рисунка) пластины. Вымытые загрязнения сразу же собираются в полости А (в центральном отверстии 17 в щетке 7). Таким образом, благодаря наличию щетки 7 загрязнения не распределяются по всей поверхности пластины 2, а все время остаются в рабочей зоне действия струи. При достижении соплом 3 и щеткой 7 крайнего положения полость а выходит за пределы поверхности пластины 2 и жидкость вместе со взвешенными в ней загрязнениями удаляется. При этом щетка 7 резко поднимается вверх по копиру 11, так как ролик 15 взаимодействует с одним из выступов

12 копира 11., поднимая кронштейн 13 со средством 8 крепления щеток 7.

Поверхность щетки 7 отходит от обрабатываемой поверхности. Этот факт также способствует удалению загрязнений с ворса щетки 7. При колебательном движении сопла

3 со щеткой 7 в крайних положениях происходит изменение направления их движения, а следовательно, изменяется скорость этого движения. В крайних положениях происходит резкое изменение скорости движения щетки 7, что способствует хорошему удалению загрязнений, захваченных щеткой 7 (щетка 7 как бы встряхивается в обратную сторону от пластины 2).

Устройство позволяет повысить качество очистки пьезокерамических пластин за счет устранения возможноати вторичного оседания загрязнений по поверхности, а также обеспечить снятие статического заряда с поверхности пластины.

Устройство для очистки преимущественно пьезокерамических пластин, содержащее средство фиксации пластины с приводом его кругового движения, щетку с отверстием и связанну:о с ней систему подвода рабочего агента, отличающееся тем, что, с целью повышения качества очистки и снятия статического заряда, устройство дополнительно снабжено механизмом реверсивного движения щетки и соплом для формирования струи жидкости, кинематически связанным со щеткой и установленным соосно с отверстием щетки, а механизм перемещения содержит копир с выступами на граничных участках для встряхивания щетки за пределами очищаемой пластины, средство крепления щетки, ось с роликом, кронштейн, жестко связанный с осью и средством крепления щетки, причем ось и система

1 подвода рабочего агента соединены посредством пружины, а ролик установлен с возможностью перемегцения по копиру.

1549620 (а

1549620 Раг5

Составитель А. Яковенко

Редактор М. Бандура Техред И. Верес Корректор Т. Палий

Заказ 229 Тираж 509 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 10!