Датчик давления

Авторы патента:

G01L9 - Измерение постоянного или медленно меняющегося давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов с помощью электрических или магнитных элементов, чувствительных к механическому давлению; передача и индикация перемещений элементов, чувствительных к механическому воздействию, используемых для измерения давления с помощью электрических или магнитных средств (измерение разности двух или более величин давления G01L 13/00; одновременное измерение двух и более величин давления G01L 15/00; вакуумметры G01L 21/00)

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к приборам для измерения атмосферного давления. Целью изобретения является повышение чувствительности при измерении атмосферного давления. Датчик давления содержит диэлектрическую подложку 1, на которой расположены электрические контакты 2 и чувствительный элемент, выполненный в виде поликристаллической пленки 3 из нитрида меди. Датчик подключен к измерителю 4 электрического напряжения. При изменении атмосферного давления пленка 3 начинает генерировать электрическое напряжение, фиксируемое измерителем 4. По величине напряжения определяют значение атмосферного давления. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕтсНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (И) (51)5 G 01 Ь9 00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР (21) 4394314/24-10 (22) 21.03.88 (46) 23.02 ° 90. Бюл. 9 7 (72) В.П. Морозов и А.П. Нкадаревич (53) 531 787 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р f303856, кл. G 01 ?. 9/04, 1985. (54) WTI ДАВПВИИ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к приборам для измерения атмосферного давления. Целью изобретения является повыщение чувствительности при измерении атмосферного давления. Датчик давления содержит диэлектрическую . подложку 1, на которой расположены электрические контакты 2 и чувствительный элемент, выполненный в ниде поликристаллической пленки 3 из нит- . рида меди. Датчик подключен к измерителю 4 электрического напряжения. При изменении атмосферного давления пленка 3 начинает генерировать электрическое напряжение, фиксируе- . мое измерителем 4. По величине напряжения определяют значение атмосферного давления ° 2 ил.

1545115

Формула изобретения

Датчик давления, содержащий диэлектрическую подложку, на которой ° размещен чувствительный элемент с электрическими контактами, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повьппения чувствительности измерений атмосферного давления, в нем чувствительный элемент выполнен в виде поликристаллической пленки из нитрида меди.

Р(алг) ЮО: Я5

ЯиВмиие

Составитель Н. Иатрохина

Техред Л.Сердюкова Корректор В. Гирняк

Редактор И. Горная

«М

Заказ 486 Тираж 465 Подписное

ИНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при: ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж"35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 1р1

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к прибс рам и устройствам для измерения атмосферного давления.

Целью изобретения является повЫшение чувствительности при измерении атмосферного давления.

На фиг. 1 схематически изображен датчик атмосферного давления; на 1Î фиг. 2 вЂ” график зависимости величи« нь генерируемого пленкой нитрида меди электрического напряжения от величины атмосферного давления. Д атчик атмосферного давления содержит подложку 1 из ситалла, на которой расположены тонкопленочные электродные контакты 2-уз меди и, пфенка 3 нитрида меди толщиной 1 мкм.

Датчик подключен к измерителю 4 элек- 2р трического напряжения.

Датчик работает следунщим образом.

При изменении атмосферного давле.ю я пленка 3 иитрида меди начинает генерировать электрическое напряже- 25 нее, величина которого фиксируется измерителем 4 напряжения. По величйне генерируемого напряжения on-ределяют значение атмосферного давления.

По сравнению с известными чувстви« тельными материалами датчиков давления нитрид меди непосредственно реагирует на изменение атмосферного, давления, обладая при этом высокой чувствительностью. Благодаря этому датчик атмосферного давления имеет простую конструкцию, так как не содержит составных элементов и соединений между ниии, что позволяет вы-, полнить датчик по интегральной технологии 4

Похожие патенты:

Датчик разности давлений // 1545114

Датчик давления // 1543264

Изобретение относится к измерительной технике и может быть применено для измерения давления в электрических аппаратах защиты в процессе их срабатывания

Способ измерения давления в трубопроводах, выполненных из ферромагнитного материала // 1539551

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для диагностирования трубопроводов

Датчик давления // 1539550

Изобретение относится к приборостроению и предназначено для измерения параметров давления

Индуктивный датчик перемещения // 1538067

Изобретение относится к измерительной технике, в частности, к устройствам измерения перемещения подвижных элементов в гидравлических устройствах

Датчик давления // 1538066

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления, и позволяет повысить точность измерения акустического давления и расширить частотный диапазон

Электрокинетический преобразователь // 1530954

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет расширить область применения электрокинетического преобразователя

Электрокинетический преобразователь // 1530953

Способ изготовления интегрального полупроводникового тензопреобразователя // 1530952

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для повышения точности преобразования

Преобразователь давления // 1529063

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при разработке тензометрических преобразователей избыточного и абсолютного давлений

Полупроводниковый преобразователь гидростатического давления для коррозионно-активных жидких сред // 2100789

Двухмембранный тензопреобразователь давления // 2101688

Емкостный датчик давления // 2102712

Устройство для измерения давления // 2104506

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления в авиационной технике

Чувствительный элемент // 2106610

Изобретение относится к конструированию и технологии производства чувствительных элементов для датчиков давления, расходомеров и акселореметров

Микроэлектронный датчик перепада давления егиазаряна мдпд-е и способ его изготовления // 2107272

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к микроэлектронным измерительным преобразователям перепада давлений, и может быть использовано для измерения перепада давлений жидких и газообразных сред, например в расходомерах перепада давлений в качестве дифференциального монометра

Барочувствительный элемент // 2107273

Изобретение относится к пьезорезонансным датчикам давления и направлено на повышение надежности барочувствительного элемента (БЧЭ) при работе при высоких давлениях, за счет исключения возникающего при нагрузке на рабочую поверхность мембраны и крышки изгибающего момента

Способ и устройство для емкостной температурной компенсации и двухпластинчатый емкостной преобразователь давления для его реализации // 2108556

Датчик давления и температуры // 2110778

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для одновременного измерения в заданном участке температуры, теплового потока и давления

Измерительный преобразователь разности давлений // 2114407

Изобретение относится к измерительному преобразователю разности давлений с разделенным на две части поперек его продольной оси внутренним корпусом, между двумя частями корпуса которого закреплена несущая датчик давления 6 центральная мембрана 7