Установка ионного легирования
Изобретение относится к области ускорительной техники для получения ускоренных потоков заряженных частиц , применяемых в физических исследованиях и технологии. Целью изобретения является повышение качества и производительности легирования. Установка содержит электромагнит, ионный источник, расположенный в вакуумной камере и держатель образцов. Ионы, двигаясь в поле электромагнита, расположенного вне вакуумной камеры, попадают на поверхность образцов. Образцы закреплены на поверхности диска. Диск установлен на валу якоря электродвигателя, который вращается в поле электромагнита выполняющего функцию статора. I ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИ
СООИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН (51) 5 Н 05 Н 5/ОО. ° . ....., &&
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЬПИЯМ
ПРИ ГННТ СССР
Н АBTGPCHGMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
1 (46) 15.01.91. Бюл. Ф 2 (21) 4252350/25 (22) 08.04.87 (72) Э.М.Диасамидзе и И.А.Цекнава (53) 533.9(088.8) (56) Kranik J. Design of an and
station for.a hign curreunt ion
implantation sistern Radiation effects, 1979, ч.44, р.р.81 83, .86.
Там же, с.83-86. (54) УСТАНОВКА ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ (57) Изобретение относится к области ускорительной техники для получения ускоренных notoKOB заряженных частиц, применяемых в физических исслеИзобретение относится. к области
& ускорительной техники щадя получения ускоренных потоков заряженных частиц, применяемых в физических исследованиях и технологии.
Целью изобретения является повышение качества и производительности легирования.
На чертеже показана схема- установки ионного легиронания.
Установка содержит ионный источ" ннк 1, электромагнит 2 постоянного тока, вакуумную камеру 3 и держатель
4 образцов, который состоит иэ каретки 5, якоря 6 для вращения диска
7 с закрепленными на нем образцами и механизмов 8, 9 горизонтального перемещения каретки.
Установка работает следующим об,разом.
На диске 7 закрепляются легируемые. образцы. Вакуумную камеру откачивают и запускают ионный источник. Форми„.,SU„„154064 l
2 дованнях и технологии. Целью изобретения является повышение качества и произнодительности легирования. Установка содержит электромагнит, ионный источник, расположенный в вакуумной камере и держатель образцов. Ионы, двигаясь в поле электромагнита, расположенного нне вакуумной камеры, попадают на поверхность образцов.
Образцы закреплены на поверхности диска. Диск установлен на валу якоря электродвигателя, который вращается н поле электромагнита выполняющего функцию статора. I ил. руемые н ионном источнике иэ него заряженные частицы н виде ионного пучка попадают на поверхность образцон, укрепленных на диске 7. Для получения необходимого равномерного облучения по всей поверхности образцов они имеют две степени снободы движения, Горизонтальное воэвратнопоступательное перемещение осущест-, вляется при помощи электродвигателя
9, находящегося нне вакуумной камеры и червячной пары 8, а вращательное движение создается якорем 6 при воздействии на него магнитного поля электромагнита 2 установки конного легирования. Угловая скорость вращения диска с образцами находится в зависимости от величины тока, проходящего через обмотку якоря и напряженностью магнитного поля, создаваемого электромагнитом установки и легко регулируется их соотношением.
На установках ионного легирования
»4 g,64
Состаннтель A.Ру, икон
Техред, Л. Олийнык Корректор М.Кучерявая
Редактор Т.Рыбалова
Заказ б75 Тираж 467 Подписное
6НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ СССР I t 303 5, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-иэдательскиЙ комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,)01 напряженность магнитного поля обычно находится в пределах О,2-1,,6 Тл, что достаточно для создания необхо" димого вращательного момента якоря, 6 )»
Использование имеющегося в уста-. новке ионного легирования магнитного поля электромагнита, отсутствие ста" тора, облегчение якоря и получение ,вращения диска держателя с Образцамн при помощи только якоря улучшает качество экспериментальных работ иа .
1 ней. Кроме того, повышается чистота . среды в объеме держателя образцов, » повышается "» Очность юстировайия плос кости образцов по отношению к потоку внедряемых н них заряженных частиц„ т.е, угол падения ионного пучка на
-образцы ос" àåòñÿ неизменным и увеличивается плотность ионного токае
Эормулаизобретения
Установка ионного легирования, содержащая ионный источник, электромагнит постоянного тока, вакуумную камеру с держателем образцов, состоя щим иэ подложки в виде диска, механизма для вращения диска и механизма для горизонтального сканирования, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества и производительности легирования, держатель образцов расположен между полюсами электромагнита, а в качестве механизма для вращения диска использован якорь электродвигателя, вЫполненный иэ диамагнитного материала, причем ось вращения диска направлена
-пернендикулярйо силовым линиям магнитно о поля установки
