Способ контроля толщины покрытия

 

Изобретение относится к измерительной технике и имеет целью повышение точности контроля толщины диэлектрического покрытия на полиимидной пленке за счет контроля его толщины в виде слоя водной эмульсии этого покрытия до его отверждения. Полиимидная пленка 2 с паковки 1 через вал 4 протягивается через ванну 3 с водной эмульсией фторопласта и поступает в камеру 5 сушки и спекания, где происходит отверждение покрытия, и далее наматывается на паковку 6. Водная эмульсия фторопластового покрытия на участке после ванны постепенно стекает с поверхности пленки, образуя слой эмульсии постоянной толщины. На участке со стабилизированной толщиной слоя эмульсии размещают измерительный конденсатор 7, по изменению емкости которого судят о толщине слоя эмульсии. Для определения положения участка стабилизированного слоя эмульсии измерительный конденсатор перемещают вдоль пленки до положения, в котором его емкость становится постоянной. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТЬНЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (S1) 5 С 01 В 7/08

ПИ « "".""""" -"

Б,/БЛФ31

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ, ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

flPH ГННТ СССР

1 (21) 4334829/25-28 (22) 14.10.87 (46) 30.01.90. Бюл. N4 (72) И.Д.Пупышев (53) 621. 317. 39: 531. 717 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 1128114, кл. 0 01 В 11/06, 1983.

Валитов А.М.-З., Шилов Г.И. Прибо. ры и методы контроля толщины покрытий. Л.: Машиностроение, 1970, с.112, рис.97. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и используется для повышения точности, контроля толщины диэлектрического покрытия на поли.имидной пленке эа счет контроля era толщины в виде слоя водной эмульсии этого покрытия.до его отверждения.

„„SU„„1539512 А1

Полиимидная пленка 2 с паковки 1 через вал 4 протягивается через ван-: ну 3 с водной эмульсией Ьторопласта и поступает в камеру 5 сушки и спекания,где происходит отверждение покрытия, и далее наматывается на паков ку 6. Водная эмульсия Аторопластового покрытия на участке после ванны постепенно стекает с поверхности пленки, образуя слой эмульсии постоянной толщины. Па участке со стабилизированной толщиной слоя эмульсии размещают измерительный конденсатор 7,по изменению. емкости которого судят.о толщине слоя эмульсии. Для определения положения участка стабилизированЮ ного слоя эмульсии измерительный конденсатор перемещают вдоль пленки до положения, в котором его емкость становится постоянной, 1 9 ° II ° ф лы1

3 ил.

1539512

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано лля измерения толщины фторопластового покрытия на полиимидной

5 пленке в процессе нанесения этого покрытия на ее поверхность.

Цель изобретения — повышение точности контроля за счет проведения измерений толщины диэлектрического покрытия на участке стабилизированной

1 толщины слоя водной эмульсии фторопласта на пленке, т.е, там, где покрытие находится в жидкой фазе, а не в виде отвержденного в камере сушки слоя фторопластового покрытия.

На фиг.1 приведена схема устройства для осуществления способа контроля

Толщины покрытия в процессе нанесения на пленку; на фиг.2 — изменение емкостного тока Х с через измери .тельньпI конденсатор при его перемеще нии по длине 1 полиимидной пленки в процессе определения положения участка со стабилизированной толщиной 2g слоя водной эмульсии фторопласта на ее поверхности; на фиг.3 — выходная характеристика измерительного конденсатора, представляющая собой зависимость выходного сигнала тока Ig пропорционального емкости конденсатора, от толщины h покрытия.

Устройство для осуществления способа контроля толщины покрытия на

;пленке содержит паковку 1 с полиимид-! ной пленк и 2, протаскиваемой в процессе нанесения покрытия через ванну 3 с водной эмульсией фторопласта .при посредстве валика 4. Из ванны 3 пленка 2 поступает в камеру 5 сушки 4О и спекания покрытия и далее принимается на паковку 6. Для измерения толщины покрытия используется измерительный конденсатор 7. По мере движения пленки 2 из ванны 3 в камеРУ 5 45 сушки толщина слоя водной эмульсии на ней уменьшается и на некотором расстоянии от ванны стабилизируется по толщине,,т.е, становится постоянной. На этом участке устанавливают измерительный конденсатор, помещают в его поле пленку с диэлектрическим покрытием на ней в жидкой фазе, измеряют ем-. кость конденсатора и по ее изменению судят о толщине покрытия. При этом на емкость конденсатора 7 большое влияние оказывает вода в слое водной эмульсии, обладающая большой диэлектрической постоянной и повьппающая чувствительность емкостного метода измерения, При этом влияние изменений толщины полиимидной пленки практически сводится к нулю. При известном соотношении воды и фторопласта в эмульсии, что, как правило, нормируется соот « ветствующими документами, между толщиной слоя эмульсии и толщиной Ь фторопластового покрытия существует однозначная связь. Это позволяет проградуировать измерительный конденсатор непосредственно в единицах толщины покрытия (фиг.3).

Для нахождения положения участка со стабилизированной толщиной слоя водной эмульсии измерительный конденсатор 7 перемещают по длине 1 пленки до положения, в.котором величина его емкости (или тока I ) становится постоянной.

Предлагаемый способ позволяет повысить точность контроля толщин диэлектрического IIOKpbITHH в процессе производства полиимидных пленок и может быть использован также при контроле покрытий из различных материалов, наносимых на пленки в виде водной эмульсии.

Формула изобретения

1. Способ контроля толщины покрытия, заключающийся в том, что участок покрытия помещают в поле измерительного конденсатора, измеряют его емкость и по ее изменению судят о толщине покрытия, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью повьппения точности контроля в процессе нанесения фторопластового покрытия на полиимид ную пленку путем ее смачивания водной эмульсией фторопласта,. измерение емкости осуществляют на участке стекания водной эмульсии фторопласта с поверхности пленки в месте, где толщина эмульсии становится постоянной.

2. Способ по п.1, о т л и ч а юшийся тем, что определение места с постоянной толщиной слоя водной эмульсии фторопласта оСуществляют путем перемещения измерительного конденсатора по длине полиимидной пленки до положения, в котором величина его емкости становится постоянной.

15395)2

Т pj s ж. l

h ока

Составитель Л.Гуськов

Техред .Л.Олийнык Корректор М.И1ароши

Редактор М.Петрова

Заказ 207 Тирах 490 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101