Устройство для калибровки вакуумных течей

 

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для калибровки с повышенной точностью вакуумных течей, применяемых в технике течеискания. К откачиваемой камере 1 известного объема с присоединенными к ней образцовым вакуумметром 2 и калибруемой течью 4 с пробным газом присоединяются также дополнительная течь 5, идентичная калибруемой, но без пробного газа, и двухходовой кран 3 , причем калибруемая и дополнительная течи подсоединены к камере через входы двухходового крана, выход которого соединен с откачиваемой камерой. Одновременное и отдельное натекание в камеру газа от калибруемой и дополнительной течей завершается поочередным измерением давления в камере при обоих рабочих положениях крана. Это позволяет исключить систематические погрешности, связанные с фоновыми побочными потоками различных газов, возникающими вследствие десорбционных процессов, а также из-за натеканий извне, что в свою очередь, повышает общую точность калибровки вакуумных течей. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ÄÄSUÄÄ 1500894 (51) 4 С 01 L 27/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И 01НРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4274144/24-10 (22) 11. 07 ° 87 (46) 15.08.89.Бюл. № 30 (72) В.Х.Набиуллин и В.В.Кузьмин (53) 531.787 (088.8) (56)- Mason Т.М. instruments and control systems, 1970, v.43, № 8, р.73-74.

Miller I.R-Ш, Journal of Vacuum

Science and Technology, 1973, v.lO, ll 55, р 882 889 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАЛИБРОВКИ ВАКУУМНЫХ ТЕЧЕЙ

<57) Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для калибровки с повышенной точностью вакуумных течей, применяемых в технике течеискания.. К откачиваемой камере l известного объема с присоединенными к ней образцовым вакуумметром 2 и калибруемой течью 4 с

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для калибровки поверки течей, применяемых в технике течеискания.

Целью изобретения является повышение точности калибровки течей.

На чертеже изображена схема устройства для калибровки вакуумных течей.

Устройство содержит вакуумную камеру 1 с присоединенным к ней образцовым вакуумметром 2. Через двухходовой кран 3 к камере присоединены кллибруемая течь 4 и дополнительная течь 5, идентичная калибруемой течи. пробным газом присоединяются также дополнительная течь 5, идентичная калибруемой, но без пробного газа, и двухходовой кран .3, причем калибруемая и дополнительная течи подсоединены к камере через входы двухходового крана, выход которого соединен с откачиваемой камерой. Одновременное и.отдельное натекание в камеру газа от калибруемой и дополнительной течей завершается поочередным измерением давления в камере при обоих рабочих положениях крана.

Это позволяет исключить систематические погрешности,.связанные с Аоновыми побочными потоками различных газов, возникающими вследствие десорбционных процессов, а также из-за натекания извне, что, в свою очередь, повышает общую точность калибровки вакуумных течей. I ил.

Клапан 6 и вакуумный насос 7 служат для откачки камеры.

Устройство работает следующим образом.

После предварительной откачки камеры l и течей 4 и 5 до предельного остаточного давления Р, измеряемого по вакуумметру 2, устанавливают в момент времени to кран 3 в среднее положение. С этого момента начинается накопление газа в объемах крана 3 и течей 4 и 5. При достаточно длительном процессе накопления - аза вакуумная камера 1 отключена. Затем камеру 1 откачивают до давления Р, 1500894

При достаточно длительном процессе накопления газа ас = t - t =t"- t

О О

Тогда (4) Pt Рй

О=V

Дй

Повторив несколько раз измерения, определяют среднее значение потока

0 и принимают его в качестве номинального значения калибруемой течи. (О+а р р + (t — ) V о

Формула изобретения

Р - Ро Р -,Ро

Π(---- — — — -- -- ) (3)

t"- t .t - t о о

Составитель В.Ульянов

Редактор М.Бандура Техред Л.Олийнык

Корректор С,Черни

Заказ 4857/37 Тираж 789 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 415

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101 закрывают клапан 6 и открывают кран

3: сначала в момент времени t на калибруемую течь 4, а потом после вторичной откачки камеры 1 до давле5 ния Р (и закрытия клапана 6) в момент времени t" на дополнительную течь 5.

При открытии крана 3 на течь 4 давление P, устанавливающееся в 1р объеме V равно где q — - побочный поток любых газов, 15 выделившихся из стенок объемы накопления;

0 — поток пробного газа.

При открытии крана 3 на течь 5 давление P", устанавливающееся в обьеме V равно

Р =Р +- — -(t"-t) о (2) где Р и P" - давления измеряющиеся 25 по образцовому вакуумметру 2.

Совместное решение уравнений (1) и (2) дает формулу для искомого потока пробного газа Q течи 4:

Устройство для калибровки вакуумных течей, содержащее вакуумную камеру, калибруемую течь с пробным газом, образцовый вакуумметр, клапан и вакуумный насос, причем калибруемая течь и образцовый вакуумметр подсоединены к вакуумной камере, к которой через клапан подсоединен вакуумный насос, о т л и ч а ю щ е е— с я тем, что, с целью повышения точности калибровки, в него дополнительно введены двухходовой кран и дополнительная течь, идентичная калибруемой, не содержащая пробного газа, при этом обе течи подсоединены к вакуумной камере через двухходовый кран.