Патент ссср 154414

М. 154414

Класс С 22b; 406, 1в

В 21b; 31с, 21

СС С)

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подтзиская гру111та Л )б)

1О. М. Полукаров и Э. И. Евко

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ СЛОЕВ СПЛАВА

ИНДИЙ-СУРЬМА ДЛЯ ДАТЧИКОВ Э. Д. С. ХОЛЛА

Заявлено 12 декабря 1961 г. за X 755483/22-2 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете .Чииистров СССР

Опубликовано в «)з1оллетеие изобретений и T(;83pIII Ix знаков» Хв 9 за 1963 г.

Извесзнь1 способы получения элементов для чувствительных дат IHKoB э. д. с. Х0 1 13 113 полУНРоводниковых M3TLPII3;10B II) TEill механической резки монокристалла сплава или конденсации металлов в 1:акуумс. Один из наиболее подходящих материалов для этих целей является сплав индий — сурьма. Однако получение тонких слоев сплава известными механическими способами представляет значительные трудности, вслс.дствие его высокой хрупкости.

Описываемый способ заключается в том, что расплав индий— сурьма, прокатыВают В Валках и тонкие слОи сплаВ3 От)кигают В Вакууме при 300 С В атмосфере паров сурьмы. Этот способ основан нз при lципе сыстрой кристаллизации, в результате которой развивается высокое к))исталлизационное даВлснис, препятств1 юшес Включению В 1зешстку кристалла других примесей. Применение его позволит экономить полупроводниковый материал и получать слои сплава с гысокой подвихкпостью носителей тока.

Для осуществления спосооа необхо римос количество сплава индий-- сурьма быстро расплавляют до 700=С со скоростью нагрева до .втой температуры 30 — 60 сек., далее расплав псрегрева1от на )00—

200 выше температуры плавления и выливают на вальць1, вращающиеся со скор,cThio 6000 — 7000 об).11ик. Диаметр ва II IIQB 60 ли lt. ТемпеI3 3 Jl b II o B Дол >к н а o hI Tb к о м н а т н О и . B c E о и е )3 3 Ill i i i II P o B o. I II T атмосфере аргоиа. Полученные в результате проката тонкие слои сплаг;", отхкигак1т в вакууме прк 300"C в течение )Π— 20 11ик.

М> 154414

Для предотвращения испарения сурьмы из сплава отжиг проводят в атмосфере паров сурьмы.

P результате отжига устраняют внутренние напряжения, возникающие в слое сплава. Одновременно происходит пополнение сурьмы в сплаве, которая могла испариться в процессе проката.

Предмет изобретения

Способ получения тонких слоев сплава индий — сурьма для датчиков э. д. с. Холла, отличающийся тем, что, с целью экономии полупроводникового материала и получения слоев сплава с высокой подвижностью носителей тока, расплав индий-сурьма прокатывают в валках с последующим Отжигом тонких слоев сплава в вакууме при 300 С в атмосфере паров сурьмы.

Редактор Л. М. Струве Техред А. А. Камышникова Корректор О. Б. Гюрина

Подп. к пея. 20 VII — 63 г. Формат бум. 70 X 108 />s Объем 0,18 изд. л.

Зак. 1921/12 Тираж 675 Цена 4 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д, 4.

Типография, пр. Сапунова, 2.