Патент ссср 150940

Эй 150940

Класс Н 01b; 21g, 11<2 С".1.5!Я11. .

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа ЛВ 97

А. И. Курносов и В. В. Юдин

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СПЛАВНОГО р — n ПЕРЕХОДА

НА КРЕМНИЙ БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ

Заявлено 20 октября 1961 г. за х,"а 748630,26-9 в 1хо«итет ио делам изобретений и открытий ири Совете Министров СССР

Оиубликова о и «Б|оллетеие изобретений и товарных знаков» хе 19 за 1964 г.

Сплавныи р — и переход на кремний большой площади получают путем зонной плавки с осевы;1тсм,пе,ратурным градиентом. Однако при этом внутри кристалла полупроводника появля1отся ме. анические напряжепия н трещины, снижающие качество р — n переходов.

Описываемый способ получения сплавного р — и перехода на кремний большой площади устраняет механические напряжения и трещины в р — и переходе. В процессе сплавлепия расплавленную зону в виде жидкой фазы AiSi выводят на поверхнос-ь пластины кремния и удаляют ПУтем испаРе!!ИЯ в вакУз ме ПРи темпе1эатъ Ре ве1)хпего наг1зевателЯ примерно 1300 С.

Чертсжи иллюстрируют сущность предлагаемого способа.

Композицию нз пластины 1 кремния р-типа и пластины 2 и-типа с алюминиевой фольгой 8 между ними помещают в вакуумную печь. Там происходит сплавленис в условиях осевого градиента температуры.

Установка для сплавления с осевым градиентом температуры представляет собой два подвижных прямонакальных графитовых нагревателя 4 и 5, температуру которы;; можно регулировать от 0 до 1500 С.

Под влиянием осевого градиента температуры в процессе сплавлення происходит двизкепие расплавленной зоны 6 в виде жидкой фазы

A1S! в сторону пластины 1:кремния р-типа. Beëè÷èíÿ градиента температуры регулируется в зависимости от требуемой скорости движения зоны б. По истечении некоторого времеии (в зависимости от величины градиента) расплавленная зона 6 выходит на поверхность пластины 1 кремния и испаряется в вакууме при температуре верхнего пагревате",,1 1 примерно 1300«С. № 150940

В результате получается р — и переход 7 большой площади, свободIiblé от механических напряжений и трещин.

Таким способом MQII HQ изгoTDB;IBTb диффу3IIQHIIo-cIIJIBBHble Qno+bl.

Предмет изобретения . Способ получения сплавного р — и перехода на кремний большой плошади путем зонной плавки с осевым температурным градиентом, отличающийся тем, что, с целью устранения механических напряжений и трещин в р — n переходе, в процессе сплавления расплавленную зону в виде жидкой фазы A1Si выводят на поверхность пластины кремния и удаляют путем испарения в гакууме прн температуре верхнего нагревателя порядка 1300 -С.

3

7

Фиг. 2

Фиг. 1

Редактор И. Л. Дубровская Техред Л. К. Ткаченко Корректор Г. А. Дорошина, Поди. к печ. 3JVIII — 64 г. Формат бум. 70;;10811iq Обьем 0,18 изд. гп

Заказ 1766/3 Тираж 1000 Цена 5 коп

LIHHHIIH Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типсграфня, Ilp. Сапунова, 2.