Способ измерения скорости поверхностных акустических волн

 

Изобретение относится к акустическим измерениям и может быть использовано для измерения скорости поверхностной акустической волны /ПАВ/, в частности, в пьезоэлектрических материалах. Цель изобретения - повышение точности измерений за счет выбора диапазона изменения частоты F возбуждения ПАВ и разности ΔL расстояний от излучателя до приемников. Излучатель и приемники устанавливаются на поверхности исследуемого материала с учетом максимального V<SB POS="POST">макс</SB> и минимального V<SB POS="POST">мин</SB> возможных значений скорости ПАВ в исследуемом материале и относительной погрешности измерения F. Диапазон изменения F выбирается с учетом ΔL, абсолютной ошибки измерения ΔL, V<SB POS="POST">макс</SB>, V<SB POS="POST">мин</SB>, при этом в каждом диапазоне изменения F находится один минимум амплитуды суммарного сигнала приемников. Скорость ПАВ определяется по частоте F<SB POS="POST">I</SB>, соответсвующей минимуму амплитуды суммарного сигнала ΔL и I.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„Я0„„1490501

<51) 4 С О! Н 5 00

Г(".И ЯН

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOIVIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ те;т(, ., . ".:л

E.

Г

i .- с,; I . вишь

CO

Ю

Сл

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И 07НРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4298976/25-28 (22) 20.08.87 (46) 30.06.89. Бюл. ¹ 24 (72) N.Â. Бельский и В.Г. Сорокин (53) 534.22(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1298549, кл. G 01 Н 5/00, 1 987. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ 110ВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН (57) Изобретение относится к акустическим измерениям и может быть использовано для измерения скорости поверхностной акустической волны (ПАВ),в частности, в пьезоэлектрических материалах. Цель изобретения — повышение точности измерений эа счет выбора диапазона изменения

Изобретение относится к акустическим измерениям и может быть использовано для измерения скорости поверхностных акустических волн (ПАВ), в частности, в пьезоэлектрических материалах.

Цель изобретения — повышение точ— ности измерений за счет выбора диапазона изменения частоты возбуждаемой ПАВ к разности расстояний от излучателя до приемников.

Способ измерения скорости поверхностной акустической волны (ПАВ) осуществляют следующим образом.

Излучатель и два приемника устанавливают на поверхности исследуемого материала так, чтобы разность йЬ расстояний от излучателя до приемников соответствовала условию

2 частоты f возбуждения ПАВ и разности Д Ь расстояний от излучателя до прлемников. Излучатель и приемники устанавливаются на поверхности исследуемого материала с учетом

l максимального Ч и минимального макс

Ч „„возможных значений скорости

ПАВ в исследуемом материале и относительной погрешности измерения f .

Диапазон изменения f выбирается с учетом dL, абсолютной ошибки измерения йЬ, Чм „,, Чм„н при этом в каждом диапазоне изменения f находится один минимум амплитуды суммарного сигнала приемников. Скорость

ПАВ определяется по частоте f., 1 соответствующей минимуму амплитуды суммарного сигнала и L u

Ь) (1)

Чма кс Чин н

Е

Ч„а,с + NISI H где ф(й Ь) — абсолютная ошибка измерения д Ь;

Ч „„

Ч вЂ” соответственно минимакс мальное и максимальное возможные значения скорости ПАВ в исследуемом материале;

b — относительная погрешность измерения частоты поверхностной акустической волны.

При помощи излучателя в исследуемом материале возбуждают поверхностную акустическую волну и изменяют

1 4 90501 (1 + 1/2)V„„(К (ДТ. + d (4Т) (2) (i + 1/2)V Окс

ЛТ. - d (Ä L) где 1 1,2, ° ..,и номер диапазона, причем

Чмнн и( м а кс (1 + 1/2)Чмакс (( ат. — д (ьТ.) 20

Ю где 1 1,2...,,п— номер диапазона, f.; nL (3) i + 1/2 мкн

V — соответственно минимально

М ОКс и максимально возможные значения Ч;

d (aL) — абсолютная ошибка измерения ЛЕ, воэбужде- 2 диапазоне один мисигнала.

При изменении частоты f ния в соответствии с (3) в изменения f находится лишь нимум амплитуды суммарного

Формула изобретения 30 а приемники размещают из условия

Способ измерения скорости поверхностных акустических волн, включающий возбуждение излучателем поверхностных акустических волн в исследуемом материале на нескольких частотах,35 прием возбужденных поверхностных акустических волн двумя приемниками, реd (a L) 41

Ч макс Чмкн мО кс мкн

+ Ч E где Ь вЂ” относительная погрешность

1 измерения f.

Составитель Д. Широчин

Редактор А. Ревин Техред Л.Олийнык Корректор И. Муска

Заказ 3742/46 Тираж 511 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и.открытиям при I ÊÍÒ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 частоту f возбуждения в одном иэ диапазонов согласно соотношению

Принимают возбужденную ПАВ двумя приемниками, суммируют принятые сигналы, регистрируют амплитуду суммарного сигнала и измеряют частоту f, соотв етствующую минимуму амплитуды суммарного сигнала.

Скорость ПАВ определяют по формуле гистрацию ампЛитуды суммарного сигнала приемников на каждой из частот, измерение частоты, соответствующей минимуму амплитуды суммарного сигнала и определение скорости Ч поверхностной акустической волны с учетом разности dL расстояний между излучателем и приемниками и измеренной час10 тоты, отличающийся тем, что, с целью повышения точности из,мерений, диапазон частот возбуждения поверхностной акустической волны определяют из условия

/ )