Интерференционный способ определения геометрических размеров объектов

 

Изобретение относится к измерительной технике, к определению геометрических размеров объектов оптическими методами. Цель изобретения - обеспечение определения размеров прозрачных объектов посредством совместного использования интерференции в монохроматическом и белом свете. Способ осуществляется следующим образом. Устанавливают объект измерения в рабочем плече интерферометра, перемещают объект параллельно его оси, фиксируют начало и конец измерений по возникновению ахроматической интерференционной картины в белом свете, производят счет интерференционных полос монохроматического излучения, укладывающихся в промежутке между сигналами в белом свете, определяют размер объекта по общему количеству полученных интерференционных полос монохроматического излучения. 1 з.п. ф - лы, 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU,» 1483249 А1 (51)4 G 01 В 1116

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

IlQ ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4321676/24-28 (22) 27. 10.87 (46) 30.05.89. Бюл. № 20 (72) Г. Я. Гафанович (53) 531.781.2 (088.8) (56) Богуславский М. Г. и Цейтлин Я. М.

Приборы и методы точных измерений длины и углов. М., 1976, с. 235.

Оптические приборы в машиностроении/

Под ред. Н. П. Заказнова. М.: Машиностроение, 1974, с. 102. (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ

ОПРЕДЕЛЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ

РАЗМЕРОВ ОБЪЕКТОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике, к определению геометрических размеров объектов оптическими методами.

Изобретение относится к измерительной технике к определению геометрических размеров объектов оптическими методами.

Цель изобретения — обеспечение определения размеров прозрачных объектов посредством совместного использования интерференции в монохром атическом и белом, свете.

На фиг. 1 приведена схема устройства, реализующая предложенный способ; на фиг. 2 — эпюры полос интерференции в монохроматическом (внизу) и белом (вверху) свете.

Устройство выполнено по схеме интерферометра Майкельсона и содержит источник

1 монохроматического (3., ) света, источник

2 белого (.3., ) света, по ходу лучей которых расположены светоделительный элемент

3, эталон 4 Фабри-Перо, референтное зеркало 5, счетчик 6 полос. Эталон 4 ФабриПеро и референтное зеркало 5 находятся в

Цель изобретения — обеспечение определения размеров прозрачных объектов посредством совместного использования интерференции в монохроматическом и, белом свете.

Способ осуществляется следующим образом. Устанавливают объект измерения в рабочем плече интерферометра. перемещают объект параллельно его оси фиксируют начало и конец измерений по возникновению ахроматической интерференционной картины в белом свете, производят счет пнтерференцпонных полос монохроматического излучения, укладывающихся в промежутке между сигналами в белом свете, определяют размер объекта по общему количеству полученных интерференционных полос монохроматпческого излучения. з.п. ф-лы, 2 ил. референтном плече пнтерферометра, а объект 7 — в рабочем.

Изобретение осуществляется слсдуюгцим образом.

Устанавливают объект 7 измерения в рабочем плече интерферомстра { фиг. 1) . ПеремещBIQT объект 7 измерения параллельно его оси. Фиксируют начало и конец измерений по возникновению ахроматической интерференционной картины в белом свете (фиг. 2). Производят счет сигналов (интерференционных полос) монохроматпческого излучения, укладываюгцихся B промежутке между сигналами в белом свете (фиг. 2) . Определяют размер объекта по общему количеству полученных интерференционных полос монохроматического излучения.

При необходимости измерения объектов

7 с размерами, превышающими размер референтного плеча интерферометра, используется многократное отражение луча бело1483249

Формула изобретения

1 2

Составитель Б. Евстратов

Редактор И. Сегляник Техред И. Верес Корректор Э. Лончакова

Заказ 2814/36 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская. наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 1О!

ro света от полупрозрачных плоских зеркал эталона 4 Фабри-Перо, что увеличивает дискретно оптическую длину референтного плеча на величину, кратную размеру эталона 4

Фабри-Перо.

1. Интерференционный способ определения геометрических размеров объектов, заключающийся в том, что объект помещают в рабочее плечо интерферометра, направляют в интерферометр монохроматический свет и по количеству полуволн света, укладывающихся в размеры объекта, определяют его размеры, отличающийся тем, что, с целью обеспечения определения размеров прозрачных объектов, дополнительно направляют в интерферометр белый свет, объект перемещают вдоль направления луча света, а количество полуволн монохроматического света определяют между импульсами белого света, соответствующими ахроматическим интерференционным картинам, образованным границами объекта.

2, Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью обеспечения определения размеров объектов, превышающих длину референтного плеча интерферометра, увеличивают длину референтного плеча посредством размещения в нем эталона Фабри-Перо.