Способ изготовления сферических изделий из монокристаллов феррограната
Изобретение относится к абразивной обработке монокристаллических материалов для электронной техники, в частности к технологии изготовления сферических резонаторов из монокристаллов феррогранатов. Цель изобретения увеличение выхода годных изделий за счет обеспечения оптимальной ширины и однородности кривой ферромагнитного резонанса. Способ включает резку монокристаллов на кубические заготовки, придание им сферической формы, шлифовку и полировку с помощью сменных абразивов на вращающихся абразивных инструментах. Полировка ведется только на одном абразиве 10 мкм в течение 15 
2 мин на инструменте, вращающемся со скоростью 8000 + 1000 об/мин, а полированные сферы подвергают термической обработке при 1100 + 50°С в течение 10 + 2 ч.
Изобретение относится к абразивной обработке монокристаллических изделий для электронной техники и может быть использовано для изготовления сферических феррогранатовых резонаторов. Цель изобретения повышение выхода годных изделий за счет обеспечения оптимальной ширины и однородности кривой ферромагнитного резонанса. Выращенный известными способами монокристалл иттриевого феррограната разрезают на кубические заготовки. Далее известными способами заготовкам придают сферическую форму и шлифуют на абразивных инструментах с последовательным уменьшением размера зерна абразива (80, 40, 20 мкм). Далее сферические заготовки полируют абразивом с размером зерен 10 мкм на инструменте, вращающемся со скоростью 80001000 об/мин в течение 152 мин. Далее сферические изделия подвергают термообработке при 110050оС в течение 102 ч. Физическую основу способа составляет релаксация напряжений в сферическом образце под действием высоких температур. Это приводит при использовании сферических резисторов к подавлению в рабочем диапазоне частот магнитостатических колебаний, искажающих кривую ферромагнитного резонанса. Экспериментально установлено, что термообработке при указанных режимах, обеспечивающей практически 100%-ный выход годных изделий, должна предшествовать полировка при указанных режимах, обеспечивающая минимизацию внутренних напряжений в материале изделия.
Формула изобретения
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СФЕРИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ ИЗ МОНОКРИСТАЛЛОВ ФЕРРОГРАНАТА, при котором из монокристаллов вырезают кубические заготовки, придают им сферическую форму, шлифуют сферическую поверхность в несколько этапов и полируют на вращающемся инструменте абразивом с размером зерна 10 мкм, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных изделий из иттриевого феррограната за счет обеспечения оптимальной ширины и однородности кривой ферромагнитного резонанса, полирование ведут в течение 15 2 мин со скоростью инструмента 8000 1000 об/мин, после чего изделие подвергают термической обработке при 1100 50oС в течение 10 2 ч.
