Способ определения толщины слоя на подложке

 

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для определения толщины и качества нанесения анодированного слоя на алюминиевую ленту. Цель изобретения - определение толщины и качества анодированного слоя на алюминиевой ленте - достигается путем увеличения интенсивности окраски интерференционной картины. На поверхность анодированного слоя наносят слой диэлектрика, толршна которого определяется экспериментально , и полупрозрачный слой металла с толщиной, определяемой экспериментально , создавая тем визуально размельченную интерференционную окраску поверхности анодкрованного слоя, по которой определяют толщину и качество нанесения слоя. с SS

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„.SU„„ A I

150 4 < 01 В 11(06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ и: Е. 1 :Зо1 АЯ г,лт.=.т:.,; - „ ; цд о,.",.

Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ достигается путем увеличения интенсивности окраски интерференционной картины. На поверхность анодированного слоя наносят слой диэлектрика, толщина которого определяется экспериментально,и полупрозрачный слой металла с толщиной, определяемой экспериментально, создавая тем самым визуально размельченную интерферен. ционную окраску поверхности анодкрованного слоя, по которой определяют толщину и качество нанесения слоя.

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4272253/24-28 (22) 30.06.87 (46) 15.03.89.Бюл. 11 - 10 (71) Киргизский государственный университет им.50-летия СССР (72) A.М.Жердев, О.Н.Каныгина, Г.Н.Каныгин, O.Л.Киселев, .С.К.Смажелюк и Н.В.Усова (53) 531.717.1 (088.8) (56) Смоленцев В.П. и др. Электрохимическое маркирование деталей, М.: .Машиностроение, 1983, с.72. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ СЛОЯ

НА ПОДЛОЖКЕ (57) Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам определения толщины анодированного слоя на ленте и качества этого слоя.

Цель изобретения — расширения области использования за счет обеспечения возможности определения толщины анодированного слоя на алюминиевой ленте и качества нанесения анодированного слоя.

Указанная цель достигается за счет увеличения интенсивности окрас ки интерференционной картины.

Суть способа заключается в следующем.

Толщина пленки искусственно увеличивается до оптимальной, дающей интерференционную окраску в первом порядке интерференции в видимой обопределения толщини и качества нанесения анодированного слоя на алюминиевую ленту. Цель изобретения — определение толщины и качества анодированного слоя на алюминиевой ленте— ласти спектра, путем напыления в вакууме слоя диэлектрика заданной толщины Ь. Показатель преломления напыляемого диэлектрика должен быть близким показателю преломления исследуемой пленки.

Экспериментально установлено, что интервал толщин 450-70 нм является оптимальным, так как при напылении

I слоя h менее 50 нм интерференционная окраска не появляется (образец не имеет коричневый цвет), а при напылении слоя толщиной более 70 нм наб людается "молочный" матовый оттенок, затрудняющий определение цвета.

С целью получения визуально различимой интерференционной окраски .поверхность анодированного сл я после напыления слоя диэлектрик» ука5694 и о р м у л а изобретения

Составитель В.Климова

Редактор 10.Середа Техред Л.Сердюкова Корректор JI.Ïèëèïåíêî

Заказ 932/40 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Ужгород, ул. Гагарина, 101 з 146 занной толщины покрывают путем вакуумного испарения тонким (3-5 нм) полупрозрачным слоем металла, не имеющего собственной окраски (Al, Ni, Pt). Напыление слоя металла толщиной менее 3 нм не дает яркой интерференционной окраски, а слоя более 5 нм приводит к тому, что образец приобретает серебристый "металлический" блеск. Следовательно, для анодированного слоя алюминиевой консервной ленты (АКП) оптимальная суммарная толщина напыляемых слоев диэлектрика и металла составляет 5070 нм + 3-5 нм.

Окраска подготовленной таким образом поверхности возникает вследствие интерференции световых волн, отраженных от напыпенного металлического слоя и от металлической подложки, разделенных прослойками диэлектрика. Специальных устройств для наблюдения интерференционной окраски не требуется, окрашивание возникает в силу известных физических явлений при освещении подготовленного объекта естественным светом и наблюдении о отраженного света под углом 70-90

Способ осуществляют следующим образом.

Из анодированной алюминиевой ленты вырезают три образца из характерных участков по ширине ленты (среднего и периферийных).

По формуле m = 4R g hR рассчитывают навески напыляемых материалов, rye h — толщина напыляемого слоя; m и Я вЂ” соответственно масса и плотность испаряемого вещества;

R — расстояние от испарителя до образца.

В установке типа ВУП-2К при ваД кууме порядка 10 Па на образцы последовательно напыляют слой диэлектрика толщиной 50-70 нм и слой металла толщиной 3-5 нм.

Визуально определяют цвет интерференционной окраски поверхности образца при освещении его белым светом при наблюдении под углом, близким к

О

90 к его поверхности.

Значение предлагаемого способа заключается в оперативном контроле толщины и качества анодированного слоя, исключении использования вредных веществ в процессе определения толщины анодированного слоя на АКЛ, применяемом ранее.

2Р

Способ определения толщины слоя на подложке, заключающийся в том, что направляют излучение на объект, наблюдают интерференционную картину

25 и по ней судят о толщине слоя, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью расширения области использования за счет обеспечения возможности определения толщины анодированного слоя на алюминиевой ленте и качества нанесения анодированного слоя, на ленту с анодированным слоем наносят слой диэлектрика с коэффициентом преломления, близким к коэффициенту преломления анодированного слоя, и

35 толщиной ht слоя, соответствующего экспериментально установленному соотношению 50 h, (70 нм, и полупрозрачный слой металла с толщиной

4р Ьg соответствующей экспериментально установленному соотношению 3 h

6 5 нм, а толщину анодированного слоя и качество определяют по окраске интерференционной картины.