Способ градуировки вакуумметров
Изобретение относится к измерительной технике, в частности и граду ировке вакуумметров. Целью изобретения является повьшение точности. К камере 1 подсоединены образцовый 2 и градуируемый 3 вакуумметры, причем ;рабочий диапазон первого шире, чем второго. После откачки камеры 1 с помощью натекателя 4 подают некртррый постоянный поток газа при закрытом клапане 6. В определенные моменты времени, начиная с t{ , фиксируют показатели вакуумметра 3, а в конечный момент времени фиксируют и показания : вакуумметра 2. После откачки снова закрывают клапан 6 и подают в камеру 1 поток газа, но,значительно меньший, чем в первом случае. В определенные промежутки времени также фиксируют показания вакуумметра 3 до достижения конечного давления, равного давлению в момент tj . Вновь подают после откачки в камеру первоначальный поток газа, регулируя клапаном 6 быстроту S откачки, при которой поддерживается постоянное давление в камере 1, равное конечному давлению в первом случае . Замерив подачу газа через натекатель 4, откачивают камеру 1 с постоянной быстротой S, фиксируя показания вакуумметра 3 и-.промежутки времени , когда попадания будут теми же, что при подаче в камеру, после чего рассчитывают значения давления, соответствующие показаниям вакуумметра 3. 1 ил. С/ с
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К д ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) 808889. (21) 4232348/24-10 (22) 20.04.87 (46) 28.02.89. Бюл. У 8
{72) В.В.Кузьмин (53) 531.787 (088.8) оР
Ф
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (56) Авторское свидетельство СССР и 808889, кл. G 01 ? 27/00, 1981. (54) СПОСОБ ГРАДУИРОВКИ ВАКУУИИЕТРОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к градуировке вакуумметров. Целью изобретения является повышение точности. К камере 1 подсоединены образцовый 2 и градуируемый 3 вакуумметры, причем .рабочий диапазон первого шире, чем второго. После откачки камеры 1 с помощью натекателя 4 .подают некоторый постоянный поток газа при закрытом клапане 6. В определенные моменты времени, начиная с t,, фиксируют по„.SU„„1462131 A 2 (5п 4 G 01 1. 27/00 казатели вакуумметра 3, а в конечный момент времени фиксируют и показания вакуумметра 2. После откачки снова закрывают клапан 6 и подают в камеру
1 поток газа, но,значительно меньший, чем в первом случае. В определенные промежутки времени также фиксируют показания вакуумметра 3 до достижения конечного давления, равного давлению в момент t . Вновь подают после
4 откачки в камеру первоначальный поток газа, регулируя клапаном 6 быстроту
S откачки, при которой поддерживается постоянное давление в камере 1, рав. ное конечному давлению в первом случае. Замерив подачу газа через нате- а катель 4, откачивают камеру 1 с постоянной быстротой $, фиксируя показания вакуумметра 3 и-промежутки времени, когда попадания будут теми ке, что при подаче газа в камеру, после чего рассчитывают значения давления, 2 соответствующие показаниям вакуумметра 3. 1 ил.
1462131
В частности, !
< о (n) Г«) о (2а) Отсюда!
t1 — to
t2. — to
t(n) t о (n)
Р =Р, 40 (n о - -(t -t)
2 о (5а) В определенные моменты измеряемоГо промежутка времени t — t фикси- 15 («)
1 руют показания градуируемого вакуумметра 3. Для начального и конечного моментов времени t:и t() соответст-! вующие давления Р и Р ") равны:
Р =-- (t -t) ! Q<
V . 1 о
В частности
I о + («)
<
t, — ь (т
1 0 (n)
Р2
+ - - ( т и (5б) — а ) Вновь с помощью натекателя 4 подают поток ((„ газа в камеру 1. Регулируют клапаном 6 быстроту S откачки камеры 1 на такое значение (значительно меньшее скорости откачки насоса 5 и поэтому независимое от давления в камере), при котором устанавливается равновесие между поступле-- (с — t )
g (n)"
1 О (1б) 55
Таким образом, (n)
Р = Р (1
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения метрологических характеристик вакуумметров, а также измерителей парциальных давлений, и является усовершенствованием и зобретения по авт.св. ))1 808889.
Цель изобретения - повышение точв(ости. l0
На чертеже изображена схема вакуумной системы, реализующей предлагаемый способ градуировки вакууммет (ов.
Вакуумная система, включает каме-,, ру 1 с присоединенными к ней образцовым вакуумметром 2 и градуируемым
-Вакуумметром 3, причем рабочие диаПазоны этих приборов не совпадают: с)бразцовый приббр измеряет более выс(окие давления, чем градуируемый.
Для подачи газа в камеру 1 служит
Матекатель 4, а для его откачки— в)акуумный насос 5. Регулирование отЙачки и ее полное перекрытие осуществляется регулируемым клапаном 6.
Предлагаемый способ состоит из с(ледующей последовательности операций.
После предварительной откачки камеры 1 с помощью натекателя 4 подают
Некоторый постоянный поток Q(газа в нее (клапан 6 закрыт). При этом, давление Р, в камере 1 возрастает со 35 временем t(по зависимости:
rpe V — объем камеры 1;
- начальный момент времени.
В конечный момент времени t не(п)
1 посредственно отсчитывают показание
Р„ образцового вакуумметра 2, (Ю
Регулируют поток газа через натекатель 4 на значение g< r(g(и после повторной откачки камеры 1 подают этот. поток (;(в нее (при закрытом клапане 6). Давление Р в ней возрастает со временем по зависимости:
Р= — — -- — (<. - t ) (3)
+ и
2 где q — - побочный поток сорбции и десорбции газов на стенках камеры.
Очевидно Р с Р, (4)
В определенные моменты t измеряеЮ (n) мого промежутка времени t — t фиксируют показания градуируемого вакуумметра 3. Момент времени (n) регистрируется при полном совпадении показания градуируемого вакуумметра (n) (Р с показанием его — P, в момент
Тогда
P =P + - — (t - ) = () (а (n) о р") : + - - (— с,) (s)
1 t(n) t Ч и о о
62131 (--(о
{ nl ï
+ -Ы-"(— t ) +- e c, -tî
Совместное решение уравнений (5а) и (10) дает:
Qi = S P," (6) Отсюда S = Q,/P, (nl (7) и с учетом уравнения (1б): (п1 () г по о
4, in1
" р о
I0 л (— (. g (7а) . (n1
} 1 (о
У (Ъ) 1 о (11}
Ч
S(+ 1 — е
Формула изобретения (8) В частности,.
+ (1 1 ч (" 4 (8а) С учетом уравнения (7 ): л — <- о (Ч <тч
P = P e ti-eii г а л Л
+ — - (с - С ) 1 - е о (9) (1 о и при подстановке (5): л (.-"о
t t о
1 (1 t — С, P = P г 1 Е(1 о
Составитель А.Соколовский
Редактор И.Сегляник Техред М.Ходанич Корректор М.Самборская
Заказ 663/38 Тираж 788 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям к открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина, 101 з 14 нием и откачкой газа в камере и поддерживается постоянным показание, P (п1
t образцового вакуумметра 2. Тогда
Перекрыв подачу газа через натекао тель 4, т.е. закрыв его, и оставив клапан 6 в прежнем положении, откачивают камеру 1 с постоянной быстротой
S. В ходе понижения давления Р в г камере 1 фиксируют, начиная с показания Р градуируемого вакуумметра г л л
3, промежутки времени — (, через которые показания станут такими же— в интервале Р— Р, как и при пода(п) че газа в камеру.
Уравнение процесса откачки имеет г
Следовательно,. градуировка вакуумметра сводится к наблюдению временных зависимостей его показаний, периодическому регулированию подаваемого и
20 откачиваемого потоков газа и однократному измерению давления по образцовому вакуумметру, Главное преимущество предложенного способа — устранение погрешностей, обусловленных побочными потоками газовыделения и газопоглощения, из расчетных формул для искомого давления.
Способ градуировки вакуумметров по авт. св. 1(- 808889, о т л и ч а ю, шийся тем, чту, с целью повьппения точности градуировки, снова устанавливают начальный поток газа в камеру и, регулируя быстроту откачки так, чтобы в камере поддерживалось постоянное давление, находящееся в пределах диапазона измерения образ40 цового вакуумметра, фиксируют это значение давления, затем перекрывают подачу газа и, продолжая откачку, фиксируют во времени -акие же показа45 ния, какие были зарегистрированы на первых этапах градукровки, и рассчитывают уточненные значения давдения, соответствующие показаниям грацуируемого вакуумметра.
