Способ записи интерферограммы контроля объектов в виде линз и объективов

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и повышает чзшствительность контроля линз и объективов спекл-интерферометрическими методами. Контроль линз и объективов выполняется в два этапа. На.первом этапе регистрируется голограмма в светочувствительной среде под действием совмещенны х опорного и объектного пучков, в которой отображается структура фазового распределения волны, прошедшей через контролируемую оптическую систему, при этом контролируемую систему освещают диффузно рассеянным когерентным из-- лучением, а светочувствительную среду размещают за контролируемой системой вего фокальной плоскости. На втором этапе регистрируется интерферограмма, при этом освещают голограмму совмещенными опорным и объектным пучками и изменяют положение контролируемой системы путем ее поворота вокруг оси, лежащей в главной плоскости и проходящей через узловую точку на угол, при котором пространственный масштаб фазовых изменений, вызываемый поворотом контролируемой системы , не превышает размер спекла, яз- . ляющегося областью когерентности. I ил. Q (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕа1УБЛИН

09) (11) ц)) 4 С 01 М 11/00 л °, ) ) C

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н A BTOPCHOIVIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

« т. щ (54) СПОСОБ ЗАПИСИ ИНТЕРФЕРОГРАММЫ

КОНТРОЛЯ ОБЪЕКТОВ В ВИДЕ ЛИНЗ И ОБЪЕКТИВОВ о (57) Изобретение относится к конти рольно-измерительной технике и павы- уг шает чувствительность контроля линз м и объективов спекл-интерферометрическими методами. Контроль линз и объективов выполняется в два этапа. ля

На.первом этапе регистрируется голо<

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTkPblTHA (21) 4165949/24-10 (22) 24.12.86 (46) 07.09.88. Бюл, № 33 (71) Сибирский физико-технический институт им. В.Д.Кузнецова при Томском государственном университете им.В.В.Куйбьппева (72) В.Г.Гусев (53) 535.854(088.8) (56) ОМП, 1986, № 9, с.8, Оптический производственный контроль/Под ред Д.Малакара. — М.: Машиностроение, 1985, с.89. грамма в светочувствительной среде под действием совмещенных опорного и объектного пучков, в которой отображается структура фазового распределения волны, прошедшей через контролируемую оптическую систему, при этом контролируемую систему освещают диффузно рассеянным когерентным из-лучением, а светочувствительную среду размещают за контролируемой системой в. его фокальной плоскости. На втором этапе регистрируется интерферограмма, при этом освещают голограмму совмеенными опорным и объектным пучками изменяют положение контролируемой истемы путем ее поворота вокруг си, лежащей в главной плоскости и роходящей через узловую точку на ол, при котором пространственный асштаб фазовых изменений, вызываей поворотом контролируемой систене превышает размер спекла, яв" ющегося областью когерентности.

1 ил.

14220чб

Изобретение относится к измерительной технике, предназначенно для контроля качества линз и объективов и может найти применение в производ5 стве для изготовления линз и объективов

Целью изобретения является повышение чувствительности.

На чертеже изображена одна из воз-10 можных схем устройства, реалиэующего способ.

Устройство включает когерентный источник 1 счета, светоделитель 2, конденсор 3, матовое стекло 4, узел 15 крепления-оправа 5 и поворота 6 контролируемого объекта, светочувствительную среду 7, зеркало 8, коллимирующую систему линз 9 и 10, объектив

11 с апертурной., диафрагмой 12 и ре- 20 гистратор 13 интерферограммы, Способ реализуется следующим образом. Когерентное излучение от источника

1 с помощью светоделителя 2 делят на 25 два канала: канал формирования опорного пучка и канал объектной волны.

1<анал формирования опорного пучка включает плоское зеркало 8 и коллимнрующую систему линз 9 и 10. Б ка- 30 нале формирования объектной волны освещают полученной после конденсора

3 расходящейся сферической волной матовое стекло 4, диффуэно рассеянное излучение пропускают через контролируемый объект, закрепленный в оправе

5, записывают голограмму на светочувствительной среде 7 при помощи оптического совмещения на ней пучков, прошедшего объект и опорного, Затем ссвещают голограмму этими пучками, поворачивают с помощью механизма 6 поворота объект вокруг оси, лежащей в его главной плоскости и проходящей через узловую точку, на угол о и регистрируют интерферограмму с помощью объектива 11, сопрягающего главную плоскость исследуемого объекта с плоскостью регистратора 13.

Формула изобретения

Способ записи интерферограммы контроля объектов в виде линз и объективов, заключающийся в пропускании ко" герентного света через диффузный рассеиватель, освещении диффузно рассеянным светом испытуемого объекта, регистрации голограммы в светочувствительной среде, размещенной за испытуемым объектом, совмещении объектного и опорного пучков, освещении голограммы этими пучками, изменении положения объекта и регистрации интерферограммы с использованием объектива, установленного за голограммой, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, светочувствительную среду размещают в фокальной плоскости испытуемого объекта, а изменение положения объекта осуществляют путем его поворота вокруг оси, лежащей в главной плоскости и проходящей через узловую точку, на угол oL, определяемый условием

0 + sin ol — d/f, где f — фокусное расстояние испытуемого объекта; и — диаметр апертуры испытуемого объекта, 1422046

Составитель Е.Лыкашева

Техред М. Морг ентал Корректор Л.Натай

Редактор A,Øàíäîð

Тираж 847

Заказ 4418/39

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4