Устройство для позиционирования образца в вакууме

Авторы патента:

H01J37/20 - устройства для крепления или управления положением объекта или материала; устройства для регулирования диафрагм или линз, конструктивно сопряженных с опорой (подготовка образцов для исследований G01N 1/28)

Изобретение относится к электронной технике. Устройство для позиционирования образца в вакуу.ме содержит вакуумную ка меру с вводом движения с гибким уплотнительным элементом 1 (сильфоном), на котором закреплен стакан (С) 2 с узлом 3 позиционирования и установочным гнездом 4. В полости С 2 установлен термоэмиссионный нагреватель 6, размещенный на стержне 7 из термостойкого электроизоляционного материала и закрепленный на фланце 8, имеющем возможность перемешаться вдоль оси стержня С 2. Фланец 8 со С 7 через уплотнительную прокладку пристыковывается к фланцу 5 и производится откачка полости стержня до высокого вакуума. Изменением тока накала, изменение.м величины его эмиссионного тока и подбором величины ускоряющего напряжения для эм.митированных электронов задается требуемая температура образца в диапазоне от комнатной до 1ШО°С. 1 ил. i (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„14066 1

А1 (594 Н01 J 372

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ЗСР,".,)щ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ,"" .; ц

К А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ВЯ д ег (21 ) 4130824/24-21 (22) 02.07.86 (46) 30.06.88. Бюл. М 24 (71) Восточно-Сибирский технологический институт (72) Ю. И. Асалханов, Д. Д. Дондоков и И. Т. Пронькинов (53) 621.52 (088.8) (56) Эшбах Г. Л. Практические сведения по вакуумной технике. М. Л.: Энергия, 1966, с. 149.

Александрова A. Т. Оборудование элсктровакуумного производства. М.: Энергия.

1974, с. 285. (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ОБРАЗЦА В ВАКУУМЕ (57) Изобретение относится к электронной технике. Устройство для позиционирования образца в вакууме содержит вакуумную каФ меру с вводом движения с гибким уплотнительным элементом 1 (сильфоном), на котором закреплен стакан (С) 2 с узлом 3 позиционирования и установочным гнездом 4. В полости С 2 установлен термоэмиссионный нагреватель 6, размещенный на стержне 7 из термостойкого электроизоляционного материала и закрепленный на фланце 8, имеющем возможность перемещаться вдоль оси стержня С 2. Фланец 8 со С 7 через уплотнительную прокладку пристыковывается к фланцу 5 и производится откачка полости стержня до высокого вакуума. Изменением тока накала, изменением величины его эмиссионного тока и подбором величины ускоряющего напряжения для эммитированных электронов задается требуемая тс мпература образца в диапазоне от комнатной qo

<О

1000 С. 1 ил.

Устройство для позиционирования образца в вакууме

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при анализе эмиттированных поверхностью твердого тела частиц по направлению, энергии и массе в сверхвысоковакуумных установках

Вакуумный манипулятор // 1302352

Изобретение относится к электронной спектроскопии

Устройство для исследования поверхности твердого тела // 1302351

Изобретение относится к приборостроению

Просвечивающий электронный микроскоп // 1262593

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано при конструировании устройств для перемещения объектов в просвечивающих электронных микроскопах

Устройство для электронно-микроскопического исследования образцов при воздействии ультразвука // 1238173

Изобретение относится к технике микроскопии и может быть использовано при исследовании физических свойств металлов в условиях сочетания ультразвукового и статического воздействий на кристаллы и непосредственного изучения этих структур в ,.

Способ определения активности нейронов головного мозга на электронно-микроскопических препаратах // 1223079

Переключаемое магнитное устройство для закрепления на магнитопроводящем основании // 1211824

Изобретение относится к приборостроению

Гониометрическая приставка для деформирования объекта в электронном микроскопе // 1205207

Растровый электронный микроскоп // 1191980

Устройство для ввода образцов из атмосферы в вакуум // 1181015

Погрузочно-разгрузочное устройство для полупроводниковых пластин для установки ионной имплантации // 2126191

Способ и устройство для инактивации загрязняющих примесей в биологической жидкости // 2219951

Твердотельное исполнительное устройство // 2260828

Изобретение относится к области оптики и предназначено для использования в качестве дефлектора в системах управления положением оптического луча в пространстве

Наконечник держателя и сетка для электронной томографии // 2300822

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов

Предметный столик // 2310218

Изобретение относится к области микроэлектронной техники и может быть использовано при разработке технологического и тестового оборудования

Столик объектов для электронного микроскопа // 1458904

Предметный столик растрового электронного микроскопа // 1522318

Изобретение относится к электровакуумным приборам и может быть использовано для управления положением объектов в растровом электронном микроскопе

Сканирующий туннельный микроскоп // 1531181

Изобретение относится к туннельной электронной микроскопии и может быть использовано в приборах для исследования физических свойств поверхностей твердых тел с разрешающей способностью порядка размеров атомов

Способ извлечения изделия из вакуумного объема // 1612341

Изобретение относится к области вакуумного машиностроения и может быть использовано в вакуумных установках для нанесения пленочных материалов и для проведения исследований материалов в сверхвысоком вакууме

Диафрагма электронного микроскопа // 1615821

Изобретение относится к диафрагмирующим управляемым устройствам электронной микроскопии и может использоваться в качестве исполнительного механизма, работающего автономно в вакууме