Источник ускоренных нейтральных частиц
Источник ускоренных нейтральных частиц, содержащий разрядную камеру с системой извлечения ионов, включающей выходной электрод с отверстиями, камеру нейтрализации, герметично соединенную с выходным торцом разрядной камеры, и устройство для сепарации заряженных и нейтральных частиц, отличающийся тем, что, с целью увеличения степени однородности распределения плотности тока нейтральных частиц в поперечном сечении пучка с одновременным увеличением плотности тока при работе с инертными газами в диапазоне низких энергий, устройство для сепарации выполнено в виде двух плоских электродов с отверстиями, соосно расположенными отверстиям в электродах системы извлечения, а расстояние между выходными электродами системы извлечения и устройства сепарации определяется выполнением условия: 
где l - расстояние между выходными электродами системы извлечения и устройства сепарации м; р - давление газа в камере нейтрализации, Па; Е - энергия частиц пучка, эВ; 
10 - сечение перезарядки при энергии Е, м2; Ti - ионная температура, составляющая единицы, эВ; d - диаметр отверстий в электродах устройства сепарации, м, выбираемый равным или больше диаметра отверстий в выходном электроде системы извлечения.
