Устройство для измерения удельного сопротивления

Авторы патента:

G01R27/02 - для измерения активного, реактивного и полного сопротивления или других производных от них характеристик, двухполюсника, например постоянной времени (для измерения только фазового угла G01R 25/00)

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к уст ройствам для измерения удельного сопротивления электропроводящих подложек четьфехзондовым методом. Изобретение обеспечивает повьшение точности измерения путем уменьшения случайных отклонений межзондового расстояния. Устройство содержит корпус 1, в котором размещены зонды 2, выполненные в виде электропроводящих пластин с заостренной контактирующей частью. Каждый зонд отделен от последующего изолирующей прокладкой 3 с токосъемником 4. В центрирующие отверстия токосъемника и прокладок проходит стержень 5 с надетым на него упругим изолятором 6. Между корпусом 1 и одним из внешних зондов установлена пружина.7. Корпус отделен от зондов 2 и токосъемников 4 изолирующими прокладками 8 и 9 из полиимидной пленки. Пружина 7 плотно прижимает зонды и изолирующие прокладки токосъемников , что устраняет люфт между зондами. 2 ил. . (Я

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (51) 4 С 01 R 27/02

OllHGAHHE ИЗОБРЕТЕНИЯ;

Фис. 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

Н А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4075157/21-21 (22) 06.06.86 (46) 30.03.88. Бюл. У 12 (72) А.Р.Виленский (53) 621.317.331(088.8) (56) Справочник. Технология тонких пленок/Под ред. Л.Майселла, P.Глэнга.

М.: "Сов.радио", 1977, с. 311.

Авторское свидетельство СССР

В 387303, кл. G 01 R 27/02, опублик.

21 ° 06.73. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗИБРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения удельного сопротивления электропроводящих подложек четырехзондовым методом. Изобретение обеспечивает повышение точности измерения путем уменьшения случайных отклонений межзондового расстояния. Устройство содержит корпус 1, в котором размещены зонды 2, выполненные в виде электропроводящих пластин с заостренной контактирующей частью. Каждый зонд отделен от последующего изолирующей прокладкой 3 с токосъемником 4. В центрирующие отверстия токосъемника и прокладок проходит стержень 5 с надетым на него упругим изолятором 6. Между корпусом

1 и одним из внешних зондов установлена пружина.7. Корпус отделен от зондов 2 и токосъемников 4изолирующими прокладками 8 и 9 из полиимидной пленки. Пружина 7 плотно прижимает зонды и изолирующие прокладки токосъемников, что устраняет люфт между зондами. 2 ил.

1385087

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения удельного сопротивления электропроводящих под5 ложек четырех з ондовым методом.

Целью изобретения является повышение точности измерения путем уменьшения случайных отклонений межзондового расстояния.

На фиг. 1 изображено устройство для измерения удельного сопротивления; на фиг. 2 вЂ” разрез А-А на фиг. 1 15 (вдоль плоскости симметрии одного из зондов).

Устройство для измерения удельного сопротивления (фиг. 1) содержит 20 корпус 1, в котором размещены зонды

2, выполненные в виде электропроводных пластин с заостренной контактирующей частью (фиг. 2). Каждый зонд

2 отделен от последующего изолирую- 25 щей прокладкой 3 и токосъемником 4.

Зонды 2, изолирующие .прокладки 3 и токосъемники 4, имеют центрирующие отверстия, через которые проходит стержень 5 с надетым на него упругим изолятором 6. Стержень 5 закреплен в корпусе 1. Между корпусом 1 и одним иэ внешних зондов, например 2, установлена пружина 7 ° Корпус отделен от зондов 2 и токосъемников 4 изолирующими прокладками 8, 9 (фиг. 1). и

10 (фиг. 2). В качестве материала корпуса используют сталь ХВГ. Зонцы изготавливают из твердого сплава

ВК-15М толщиной О, 1-0,5 мм. В качестве изолирующих прокладок 3, 8 и 9 используют полиимидную пленку толщиной 50 мкм. Изолирующие прокладки 10 (фиг. 2) изготавливают из керамики

"Поликор" толщиной 2 мм. Токосъемни45 ками служит напыленная на полиимидную пленку проводниковая структура хром-медь толщиной 0 5-2,0 мкм.

Стержень изготавливают из стали ХВГ, а эластичный изолятор 6 вЂ” из резины.

Устройство для измерения удельного сопротивления работает следующим образом.

При опускании корпуса 1 зонды 2 соприкасаются с измеряемой подложкой и начинают деформировать упругий изолятор 6, надетый на стержень 5. Опускание корпуса 1 и деформация упругого изолятора 6 происходит до тех пор, пока все зонды 2 не соприкоснутся контактирующей частью с подложкой и не будет достигнуто требуемое усилие прижима зондов к подложке. При этом стержень 5 ограничивает перемещение зондов в вертикальном направлении, а изолирующие прокладки 10 (фиг. 2)вЂ” в горизонтальном направлении. Изолирующие прокладки 3 и эластичный изолятор 6 обеспечивают электрическую развязку зондов 2 между собой, а токосъемники 4 вЂ” подключение зондов к внешней измерительной схеме (на фиг. 1 не показана). Пружина 7 обеспечивает плотное прилегание зондов, изолирующих прокладок и токосъемников друг к другу, что в свою очередь устраняет люфт между зондами.

Ф о р м ул а и з о б р е т е н и я

Устройство для измерения удельного сопротивления, содержащее корпус, размещенные в нем заостренные электропроводящие зонды и токосъемники, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения за счет уменьшения случайных отклонений межзондового расстояния, зонды и токосъемники выполнены в виде злект-. ропроводных пластин, причем каждый зонд отделен о т последующего изолирующей прокладкой и токосъемником, причем зонды, изолирующие прокладки и токосъемники имеют центрирующее. отверстие, сквозь которое проходит стержень с надетым на него упругим изолятором, а между корпусом и изолирующей прокладкой одного из крайних зондов установлена пружина.

1385087

Составитель В. Максименко

Техред Л.Сердюкова . Корректор В. Бутяга

Редактор Н. Горват

Заказ 14!1/44 Тирах 772 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Я(-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Устройство для измерения удельного сопротивления

Панорамный анализатор частотных характеристик входного сопротивления промышленных электрических сетей // 1383224

Имитатор электрического сопротивления // 1379748

Изобретение относится к области метрологического обеспечения измерений

Цифровой кондуктометр // 1374144

Устройство для определения удельного объемного электрического сопротивления полимерных материалов // 1372252

Изобретение относится к технике измерения электрофизических свойств полимерных материалов (ПМ)

Способ измерения параметров rc- и rl-цепей // 1372250

Способ определения параметров пассивных двухэлементных двухполюсников // 1372248

Изобретение относится к области измерительной техники и позволяет обеспечить расширение функциональных возможностей за счет раздельного измерения параметров двухэлементных двухполюсников при сохранении точности измерения

Частотный преобразователь для тензодатчиков // 1370608

Способ определения переходного сопротивления // 1370607

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерениях переходного сопротивления электрического контакта , контактирующие элементы которого имеют постоянную площадь поперечного сечения и одинаковую электропроводность, для контроля качества герметизированных электрических контактов, а также для исследования влияния физико-химических процессов на изменение переходного сопротивления

Преобразователь емкости конденсатора в код // 1370606

Изобретение относится к измеригельной технике и позволяет повысить точность преобразования малых значений емкости в код

Способ измерения установившегося значения сопротивления изоляции // 2101716

Изобретение относится к технике электрических измерений и предназначено для профилактических испытаний изоляции крупных электрических машин и аппаратов, имеющих большую постоянную времени

Способ измерения активных сопротивлений // 2110073

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано для измерения резисторов, сосредоточенных сопротивлений и сопротивления изоляции в электрических цепях

Способ контроля чистоты материала электропроводного изделия (варианты) // 2115934

Изобретение относится к исследованию и анализу материалов с помощью электрических средств и предназначено для контроля неоднородности электропроводного изделия по толщине материала, например, при проверки возможной подделки изделия в форме слитка из драгоценного или редкого металла

Способ измерения активного сопротивления элементов электрических цепей, содержащих индуктивности с ферромагнитным сердечником, и устройство для его осуществления // 2117307

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения параметров индуктивных элементов, а также исследования и оценки свойств ферромагнитных материалов

Инвариантный измерительный преобразователь в виде делителя напряжения // 2118826

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в приборостроении для построения параметрических измерительных преобразователей, инвариантных к изменениям параметров источников питания и другим влияющим величинам

Способ определения параметров комплексного сопротивления электрической сети от точки подключения силового трансформатора до точки с бесконечной мощностью короткого замыкания // 2118828

Изобретение относится к электроизмерительной технике, а именно к способам определения сопротивлений, и может быть использовано при экспериментальных измерениях

Мера активного сопротивления // 2119170

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано в качестве частотно-независимой меры активного сопротивления в диапазоне 1 - 100 кОм

Инвариантный измерительный преобразователь в виде делителя // 2121148

Способ контроля параметров конденсаторов, катушек индуктивностей и резисторов // 2121151

Изобретение относится к электроизмерительной технике и предназначено для контроля параметров конденсаторов, катушек индуктивностей и резисторов в процессе их производства

Способ бесконтактного измерения удельной электропроводности плоских изделий // 2121152

Изобретение относится к бесконтактным неразрушающим способам измерения удельной электропроводности плоских изделий с использованием накладных вихретоковых датчиков