Способ герметизации микросборки
Изобретение относится к микроэлектронике , а именно к технологии окончательной сборки герметичных микросхем, и может быть использовано в приборостроительной промьшшенности в технологии сборки герметичных приборов , закрытых металлическим кожухом . Цель изобретения - повьшение технологичности процесса и качества изделия. В центре лунки 1 выдавливают выступ 2 воронкообразной формы, так,что торец его расположен ниже поверхности кожуха 8, пробива1от отверстие 3 в вершине выступа, заваривают конец выступа лазерным лучом, образуя напльш, или вносят в лутсу дозу припоя, с образованием отверстия, которую затем расплавляют любым известным способом. При этом за счет капиллярных сил смачивания внутренней поверхности в часть припоя заполняет отверстие и образует пробку. 2 3.п. ф-лы, 4 ил. (С If.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51) 4 Н 01 Н 49/00
ВСЕ(О 01 г1 Я .13,,",13
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3898317/24-07 (22) 22.05.83 (46) 15.03.88. Бюл. 11- 10 (72) Ю.Н.Шулешко и А.В.Ворошко (53) 621,318.5.002,2(088„8) (56) Авторское свидетельство СССР
Ф 904025, кл. Н Ol Н 49/00, 1980.
Авторское свидетельство СССР
1032495, кл. H 01 H 49/00, 1980.
Авторское свидетельство СССР
11 748562, кл. Н 01 Н 47/00, 1978. (54) СПОСОБ ГЕРМЕТИЗАЦИИ МИКРОСБОРКИ (57) Изобретение относится к микро- электронике, а именно к технологии окончательной сборки герметичных микросхем, и может быть использовано в приборостроительной промышленности
„„SU„„1381618 А1 в технологии сборки герметичных приборов, закрытых металлическим кожухом, Цель изобретения — повышение технологичности процесса и качества изделия, В центре лунки 1 выдавливают выступ 2 воронкообразной формы. так,что торец его расположен ниже поверхности кожуха 8, пробивают отвер- стие 3 в вершине выступа, заваривают конец выступа лазерным лучом, образуя наплыв, или вносят в лунку дозу припоя, с образованием отверстия, которую затем расплавляют любым известным способом. При этом эа счет капиллярных сил смачивания внутренней поверхности 6 часть припоя запол- с
С> няет отверстие и образует пробку.
2 з,п. ф-лы, 4 ил, 1381618
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к технологии окончательной сборки герметичных микросхем, и может быть использовано в приборостроительной промышленности в
5 технологии сборки герметичных приборов, закрытых металлическим кожухам.
Цель изобретения — повьппение технологичности процесса и качества иэ- 1О делия.
На фиг.1 показан кожух с выдавленной в нем лункой и выступом воронкообразной формы; на фиг.2 — кожух после запайки отверстия лучом лазера; 15 на фиг.3 — кожух после подготовки отверстия для запайки припоем; на
Фиг.4 — отверстие кожуха после запайки припоем.
Способ герметизации микросхемы заключается в следующем, Одновременно при изготовлении кожуха микросхемы, например, штамповкой, в нем выдавливают лунку I u выступ 2 воронкообразной формы с от- 25 качным отверстием 3 в вершине выступа, для чего в пуансоне и матрице штампа (не показан) предусматривают соответствующие элементы. Затем собирают микросборку, помещают в ва- 3р куумную камеру, осушают и заполняют внутренний объем средой контролируемого состава, например осушенным азотом или сухим воздухом, производят оплавление торца воронкообразного выступа, направляя луч лазера под углом d к оси отверстия 3 до получения наплыва 4 из материала кожуха»
При этом вследствие наличия выступа и трубчатой формы его торца луч лазе- 40 ра не попадает в объем микросборки и не повреждает ее элементы.
В качестве лазерной установки используют например, "Квант-15", Квант-l . При герметизации откачно- 45 го отверстия легкоплавким припоем лунку заполняют дозой припоя 5, внутреннюю поверхность б выступа 2 и его торец залуживают, отверстие 3 при заполнении лунки припоем защища-.
50 ют иглой или образуют после заполнения лунки припоем перед сборкой микросхемы лучом лазера, направляя его по оси выступа 2 со стороны внутреннего объема кожуха известным спосо=
35 бом, затем собирают микросборку, помешают в вакуумную камеру, производят осушение внутреннего объема, заполняют средой контролируемого состава, например сухим азотом или воздухом, и герметизируют (эапаивают) отверстие 3, разогревая паяльником или бесконтактным способом, например инфракрасным или лазерным излучением, ранее присоединенную к кожуху дозу припоя 5 в лунке 1. При расплавлении часть припоя 7, благодаря тому, что торец выступа 2 ниже поверхности 8 кожуха, поступает в отверстие 3 и, смачивая стенки трубчатой части выступа, образует пробку, длина которой больше толщины кожуха, надежно герметизирующую микросборку.
Необходимую длину пробки из при-. поя 7 подбирают высотой выступа 2 с учетом исключения образования "сосульки" припоя внутри кожуха, что легко достигается благодаря наличию выступа 2 и исключения тем самым влияния веса (массы) заранее нанесенной дозы припоя 5 на затекание его в объем микросборки °
Предлагаемый способ позволяет герметизировать откачное (дренажное) отверстие лучом лазера.
Ф о р м ул а и з о б р е т е н и я
1.Способ герметизации микросборки путем выдавливания в ее кожухе лунки, образования в этой лунке отвер стия, заполнения внутреннего объема микросборки средой контролируемого состава и герметизации отверстия путем оплавления, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повьппения технологичности процесса и качества изделия, в центре лунки выдавливают выступ воронкообразной формы, а отверстие образуют в вершине последнего.
2.Способ по п.l, о т л и ч а ю— ш и и с я тем, что вершину воронкообразного выступа выдавливают ниже наружной поверхности кожуха.
3.Способ по п.l, о т л и ч а ю— шийся тем. что герметизацию отверстия производят путем оплавления торца выступа лазерным лучом, причем последний направляют под углом к оси отверстия.
1381618
Фиг. 5
Составитель Е.Сафонова
Техред Л.Олийнык. Корректор С.Шекмар
Редактор М.Лазаренко
Заказ 1188/50 Тираж 746 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная, 4
