Устройство для измерения радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали

Авторы патента:

G01B11/255 - для измерения радиуса кривизны

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано , например, при измерении больших по величине радиусов кривизны вы5 / сокоточных особо чистых поверхностей оптических деталей. Цель изобретения - измерение поверхностей с большим по величине радиусом кривизны. Устройство содержит автоколлимационный микроскоп 1, механизм 5 перемещения , отсчетную шкалу 6 с индексом 7, три плоских зеркала 2, 3, 4, установленных перпендикулярно оптической оси микроскопа 1, одно из зеркал 2 с центральным отверстием установлено перед фокальной плоскостью микроскопа 1, а два других зеркала 3 и 4 установлены за фокальной плоскостью микроскопа 1, жестко связаны друг с другом, с механизмом 5 перемещения и индексом 7 отсчетной шкалы 6, а зеркальные поверхности зеркал 3 и 4 обращены во взаимно противоположные стороны. 1 ил. (Л со о 05 ел

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„,SU„„1379615

А1

<5П 4 С О1 В 1 1/24

ВСЕ(.Оюзаi Я ,;3,,", .,,„13

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ г пЦО « УА !

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4118169/24-28 (22) 16.09.86 (46) 07.03.88. Бюл. М- 9 (7?) А.В.Бакеркин (53) 531.715.27 (088.8) (56) Максутов Д.Д. Изготовление и исследование астрономической оптики. вЂ” M.: Наука, 1984, с. 183-185.

Справочник технолога-оптика./ Под общ. ред. С.М.Кузнецова, М.A.Îêàòîва, вЂ” Л.: Машиностроение, 1983, с. 104. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ РАДИУСА КРИВИЗНЫ СФЕРИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ

ОПТИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, например, при измерении больших по величине радиусов кривизны выl Х сокоточных особо чистых поверхностей оптических деталей. Цель изобретения вЂ” измерение поверхностей с большим по величине радиусом кривизны.

Устройство содержит автоколлимационный микроскоп 1, механизм 5 перемещения, отсчетную шкалу 6 с индекс0М 7, три плоских зеркала 2, 3, 4, установленных перпендикулярно оптической оси микроскопа 1, одно из зеркал 2 с центральным отверстием установлено перед фокальной плоскостью микроскопа 1, а два других зеркала

3 и 4 установлены эа фокальной плоскостью микроскопа 1, жестко связаны друг с другом, с механизмом 5 перемещения и индексом 7 отсчетной шкалы

6, а зеркальные поверхности зеркал

3 и 4 обращены во взаимно противоположные стороны. 1 ил.

1 1379615 ? фокус ируется на поверхности зеркал 3 и 4, определяют по резкому иэображению сетки микроскопа 1. Величину измеряемого радиуса R определяют по формуле

1 а -1 а+1 (а+1)(а+6) Пель изобретения вЂ” измерение поверхностей с радиусом кривизны свыше 10

1000 мм, Па чертеже изображена припципиальная схема устройства для измерения радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали. 1Г

Устройство содержит автоколлимапионный микроскоп 1, плоское зеркало 2 с отверстием и плоские зеркала и 4, жестко связанные друг с другом, механизм 5 перемещения плоских ?О зеркал 3 и 4, отсчетную шкалу 6 с индексом 7, который связан с зеркалами 4 и 3. где а = t A -A,I вЂ” разность отсчетов в положениях зеркал

3 и 4; расстояние между отражающими поверхностями зеркал 3 и 4; расстояние от точки F до поверхности зеркала 2.

При измерении радиуса кривизны поверхности детали приемлемая точность достигается при смещении зеркал 3 и 4 на величину а, не превышающую 300-400 мм, а диапазон измерений величин R большой.

Ф о р M у л а и э о б р е т е н и я

Устройство для измерения радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали, содержащее автоколлимационный микроскоп, механизм перемещения и отсчетную шкалу с индекопределяют по резкому автоколлимационному изображению сетки микроскопа 36

1. Затем устанавливают зеркала 3 и 4.

Зеркала смещают по направлению к автоколлимационному микроскопу 1 до совпадения точки F с поверхностью плоского зеркала 3. 40

При этом по шкале 6 с помощью индекса 7 снимают отсчет A„ о положении зеркал 3 и 4. После этого зеркала 3 и 4 смещают по направлению к детали 8 до тех пор, пока излучение, 45 последовательно отраженное от зеркал

3 и 4, испытуемой поверхности детали 8 не сфокусируется на поверхность зеркала 4. При этом снимают отсчет

А . Положение, при котором излучение 50

Составитель

Редактор О.Юрковецкая Техред Л.Оли

Корректор M.Шароши

Заказ 970/42 Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобр«тение относится к изм«рительной теYèèêå и может быть использовано, например, при измерении больших по величине (свыщ«1000 мм) равЂ” диуф он кривизны высокочастотных особо чистых поверхностей оптических деталей.

Устройство работает следующим обр,"-.эом.

Деталь Я со сферической поверхностью, радиус которой надо измерить, при отсутствии зеркал 3 и 4 располагают на оптической оси автоколлимационного микроскопа 1, при этом совмещают фокус Р-микроскопа 1 с центром С кривизны измеряемой поверхности. Совмещение точек F и С сом, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью измерения поверхностей с радиусом кривизны свыше 1000 мм, оно снабжено тремя плоскими зеркалами, установленными перпендикулярно оптической оси микроскопа, одно из которых имеет центральное отверстие и установлено перед фокальной плоскостью микроскопа, а два других зеркала вЂ” за фокальной плоскостью микроскопа так, что обращены зеркальными поверхностями в противоположные стороны и жестко связаны друг с другом, а также с механизмом перемещения и индексом отсчетной шкалы.

Ji.Ëîáçîâà йнык

Устройство для измерения радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения преимущественно больших радиусов кривизны сферической поверхности оптических деталей

Устройство для измерения линейных перемещений // 1315799

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться в оптическом приборостроении дпя огфеделения кривизны поверхности оптических деталей

Способ измерения радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали // 1293484

Изобретение относится к измерительной технике

Способ контроля радиусов сфер большой кривизны // 1128115

Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов // 1100497

Способ измерения радиуса кривизны сферических лазерных зеркал // 1059420

Устройство для измерения геометрическихпараметров зеркальных оптическихэлементов // 847026

Устройство для контроля формы зеркал // 796658

Интерферометр типа майкельсона для измерения криволинейных поверхностей // 741041

Способ измерения радиуса кривизны цилиндрической поверхности // 729439

Устройство для измерения радиуса сферических полированных поверхностей // 2215987

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, а именно к устройствам для измерения радиуса сферических полированных поверхностей, и может быть использовано при контроле оптических деталей

Интерференционный способ измерения радиуса кривизны оптической поверхности // 2267744

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерферометрии, и может быть использовано для контроля радиуса кривизны оптической поверхности

Тестовая структура для оценки радиуса кривизны острия иглы кантилевера сканирующей зондовой микроскопии // 2335735

Изобретение относится к области нанотехнологий и наноэлектроники, а более конкретно к сканирующей зондовой микроскопии

Способ измерения радиуса кривизны сферических поверхностей объектов // 1411576

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения радиуса кривизны сферических поверхностей различных объектов

Теневой прибор // 1421995

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в оптическом приборостроении для контроля формы волновых фронтов и оптических поверхностей

Способ контроля радиуса кривизны сферических поверхностей оптических деталей // 1460600

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле высокоточных оптических деталей, например пробньлс стекол

Способ определения локальной кривизны поверхности // 1474457

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения формы поверхности полированных подложек в электронной технике и для контроля оптических элементов

Способ определения радиусов кривизны сферических поверхностей и устройство для его осуществления // 1562691

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в оптико-механическом производстве при технологическом и аттестационном контроле радиусов кривизны сферических поверхностей оптических и механических деталей

Способ определения радиуса кривизны вогнутой оптической сферической поверхности методом оптической дальнометрии // 2491504

Способ определения остаточной сферичности отражающей поверхности // 2528272

Способ определения остаточной сферичности отражающей поверхности относится к измерительной технике и может быть использован для определения остаточной сферичности плоских зеркал и радиусов кривизны крупногабаритных сферических зеркал. Способ заключается в том, что измерительный прибор устанавливают в рабочее положение перед отражающей поверхностью, расположенной в вертикальной плоскости, и настраивают на автоколлимационное изображение, причем в качестве измерительного прибора используют, по меньшей мере, один автоколлимационный теодолит, остаточную сферичность определяют по измеренным значениям углов, считанным по вертикальному кругу теодолита при совмещении сетки теодолита с ее автоколлимационным изображением, измерение углов проводят для двух точек отражающей поверхности, максимально разнесенных на поверхности и расположенных на одной вертикали, а остаточную сферичность рассчитывают по формуле: R = Δ d π ⋅ ( α − β ) ⋅ 180 ∘ где: Δd - разница высот установки теодолита относительно Земли, м α, β - значения углов вертикального круга теодолита при совмещении сетки теодолита с ее автоколлимационным изображением для верхнего и нижнего положения теодолита соответственно, град. Технический результат - сокращение времени определения остаточной сферичности за счет сокращения времени, необходимого на сборку измеряющей схемы. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.