Автокомпенсационный датчик непрерывно изменяющегося веса

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1

„„SU„„1377599 (51)4 G 01 G 9 00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЬП ИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4066749/24-10 (22) 12.05.86 (46) 29.02.88. Бюл. 1Ф 8 (71) Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР (72) Г.А.Сатункин, А.ГеЛеонов и В.А.Лобаторин (53) 681.26(088.8) (56) Щедровский С,С. Весы для физико-химических исследований. И,: Стандартгиз,, 1961, с. 150-152.

Авторское свидетельство СССР

Ф 713228, кл. G 01 6 9/00, 1978.

1 (54) (57) 1. АВТОКОИПЕНСАЦИОННЫЙ ДАТЧИК НЕПРЕРЫВНО ИЗИЕНЯ10ЩЕГОСЯ ВЕСА» содержащий помещенные в корпус и установленные. на основании рычажные ве-сы с магнитозлектрическим преобразователем, преобразователем угловых перемещений весового рычага и упругими ленточными шарнирами, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью повышения точности изМерения, в рычажные весы введена груэоприемная площадка, а количество весовых рычагов составляет три и более, причем весовые ры-. чаги расположены симметрично относи1

Изобретение относится к весоизмерительной технике и может быть использовано для непрерывного контроля массы кристалла и связанного с ним мениска при выращивании монокристаллов из расплава преимущественно способом Чохральского главным образом в системах с автоматическим управлением процессом выращивания. тельно вертикальной оси симметриии датчика, проходящей через центр гру" зоприемной площадки и основания, и соединены с основанием и груэоприемной площадкой при помощи вертикальных упругих ленточных шарниров.

2. Датчик по и. 1, о т л и ч а ю" шийся тем, что в него введены площадки силовой компенсации, свя.— занные жестко с поцвижными элементами магнитоэлектрического преобразователя и с помощью вертикальных упругих ленточных шарниров — с весовыми рычагами, причем вертикальная ось симметрии датчика проходит через центр площадок силовой компенсации. C

Ю

3. Датчик по п. 1, о т л и ч а юшийся тем, что преобразователь угловых перемещений весового рычага выполнен в виде двух параллельно уотановленных и закрепленных на весовых рычагах с возможностью перемещения друг относительно друга шторок, в одной из которых выполнена одна, а в другой - две прямоугольные прорези, разделенные вертикальным участком, расположенным симметрично относи- Щ тельно оси прямоугольной прорези первой шторки. <Ф

Цель изобретения — повышение точности измерения непрерывно изменяющегося веса.

На фиг. 1 показана схема датчика; на фиг. 2 — то же, с площадками силовой компенсации.

Датчик содержит основание 1 с корпусом, на которое установлены рычажные весы, включающие весовые рычаги

3 137759

2, упругие ленточные шарниры 3, грузоприемную площадку 4 и площадки 5 силовой компенсации, магнитоэлектрический преобразователь 6 угловых перемещений весового рычага, состоящий из подвижных шторок 7 и 8 с прорезями 9 и фотоэлектрического датчика 10, и противовесы 11.

Датчик работает следующим образом. 10

Под действием переменной внешней нагрузки, приложенной к грузоприемной площадке 4, происходит ее вертикальное плоскопараллельное перемещение. Одновременно возникает угловое отклонение весовых рычагов 2, связанных упругими ленточными шарнирами

3 с грузоприемной площадкой 4 и основанием 1 датчика. При этом происходит также взаимное смещение связанных.с весовыми рычагами шторок 7 и

8. Взаимное смещение прорезей 9 изменяет освещенность секций фотоэлектри9

4 ческого преобразователя пропорционально величине смещения весовых рычагов 2. Возникающий при этом на фотоэлектрическом преобразователе сигнал подается на вход следящей электронной системы (не показана), к выходу которой подключен магнитоэлектрический преобразователь 6, неподвижная часть которого крепится к основанию 1 датчика, а подвижная часть жестко связана с весовыми рычагами

2 (фиг. 1) или с площадками 5 силовой компенсации (фиг. 2), Усилие, создаваемое преобразователем 6, уравновешивает переменную внешнюю нагрузку и возвращает весовые рычаги 2 в исходное положение. Выходным сигналом датчика является величина силы тока, проходящего через магнйтоэлектрический преобразователь, пропорциональная текущему значению веса переменной внешней нагрузки.

1377599

Фиа 2 Техред Л.Сердюкова

Корректор М.Пожо

Редактор А.Orap

Заказ 1267 Тираж 660 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101