Измерительная головка для контроля толщины

 

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повьшение чувствительности измерительной головки для контроля толщины немагнитного покрытия на ферромагнитном основании. Измерительная головка содержит магнитопровод 1, выполненный в виде стакана, и разме-; щенный внутри него и прикрепленный к его дну одним своим полюсом первый стержневой постоянный магнит 2, на противоположном полюсе которого закреплен датчик Холла. Снаружи магнитопровода установлен второй стержневой постоянный магнит 5, прикрепленньй полюсом той же полярности, что и полюс первого магнита 2, к дну стакана с внешней стороны магнитопровода . Благодаря этому магнитные потоки и внутренного и внешнего магнитов суммируются в цилиндрической стенке магнитопровода 1, что приводит к росту напряженности магнитного поля у торца магнитопровода и некоторому уменьшению его составлякмцей, пронизьшающей датчик Холла. Уменьшение этой составляющей становится значительнее при увеличении толщины контролируемой немагнитной пленки. 3 ил. СЛ

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (19) (111

А1 (51) 4 С 01 В 7/10

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АBTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ фиг./

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4025885/25-28 (22) 24.02.86 (46) 23.02.88. Бюл. N - 7 (71). Институт физики АН АЗССР (72) N.È.Àëèåâ, А.Ç.Даибов, Ф,.N.Àõóíäîâ и И.Г.Оганова (53) 621.317.39:531,717 (088 ° 8) (56) Дорофеев А.Л., Никитин А.И., Рубин А.Л. Индукционная толщинометрия. -M. Энергия, 1978.

Алиев M. Зейналов P. Толщиномер на эффекте Холла. — Радио, 1976,1("- 3. (54) ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ГОЛОВКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения— повышение чувствительности измерительной головки для контроля толщины немагнитного покрытия на ферромагнитном основании. Измерительная головка содержит магнитопровод 1, выполненный в виде стакана, и размещенный внутри него и прикрепленный к его дну одним своим полюсом первый стержневой постоянный магнит

2, на противоположном полюсе которого закреплен датчик Холла. Снаружи магнитопровода установлен второй стержневой постоянный магнит 5, прикрепленный полюсом той же полярности, что и полюс первого магнита 2, к дну стакана с внешней стороны магнитопровода. Благодаря этому магнитные потоки и внутренного и внешнего магнитов суммируются в цилиндрической стенке магнитопровода 1, что приводит к росту напряженности магнитного поля у торца магнитопровода и некоторому уменьшению его составляющей, пронизывающей датчик Холла. Уменьшение этой составляющей становится значительнее при увеличении толщины контролируемой немагнитной пленки. 3 ил.

1375942

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины немагнитных покрытий на ферромагнитных основаниях.

Цель изобретения — повышение чувствительности за счет использования дополнительного постоянногомагнита, обеспечивающего формированиемагнитно- 1О го поля заданной формы в зоне контроля.

На фиг. 1 представлена головка„ общий вид; на фиг. 2 — вариант электрической схемы включения датчика 15

Холла; на фиг. 3 — градуировочные кривые измерительной головки.

Измерительная головка содержит магнитопровод 1 в виде стакана и установленный внутри него и прикрепленный одним из своих полюсов стержневой постоянный магнит 2. На его противоположном полюсе закреплен датчик

3 Холла. Для удобства крепления меж-, ду магнитопроводом 1 и постоянным 25 магнитом 2 установлена втулка 4 из немагнитного материала. К противоположной поверхности дна стаканообразного магнитопровода 1 прикреплен полюсом одноименной полярности с 30 полюсом первого постоянного магнита

2 второй стержневой постоянный магнит 5. Элементы головки закрыты кожухом 6. Кабелем 7 датчик 3 Холла соединяется с электрической схемой питания и регистрации (фиг.2).

Электрическая схема содержит источник 8 питания, сопротивления 9 и 10 и шунт 11 в цепи питания датчика 3

Холла, сопротивления 12 и 13 в цепи 40 холловских электродов 14 и 15, индикатор 16 с переключателем 1?, позволяющим использовать этот индикатор как для контроля цепи питания датчика 3 Холла, так и в качестве выходного показывающего прибора. Переключатель 18 служит для переключения диапазонов измерения.

Измерительная головка работает следующим образом.

Перед проведением измерений голов-5О ка устанавливается на полированную, очищенную от покрытия поверхность ферромагнитного основания. Сопротивлениями 12 и 13 электрическая схема балансируется на нуль. Далее головка переносится на контролируемую поверхность с немагнитным покрытием. Вследствие образования зазора напряженность магнитного поля в зоне расположения датчика 3 Холла уменьшается, что приводит к нарушению баланса электрической схемы и увеличению показаний индикатора 16. Шкала индикатора 16 предварительно градируется в единицах толщины d покрытия.

Наличие в измерительной головке второго постоянного магнита, установленного в вышеуказанной полярности, увеличивает магнитный поток в цилиндрической стенке магнитопровода 1 и незначительно ослабляет его величину в области расположения датчика Холла. Ослабление магнитного потока, пронизывающего датчик Холла, возрастает с увеличением толщины немагнитного покрытия (фиг.3, градуировочная кривая 1 соответствует известной измерительной головке, в которой отсутствует второй постоянный магнит, а кривая 2 представляет градуировочную кривую предлагаемой измерительной головки). Чувствительность головки вырастает практически в 3 раза, l

Формула изобретения

Измерительная головка для контроля толщины немагннтных покрытий на ферромагнитных основаниях, содержащая магнитопровод в виде стакана, установленный внутри него и прикреп- ленный одним из своих полюсов к дну стакана стержневой постоянный магнит и закрепленный на его противоположном полюсе датчик Холла, о т л и— ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения чувствительности, она снабжена вторым стержневым постоянным магнитом, прикрепленным одноименным полюсом к дну стакана с внешней стороны магнитопровода.

1375942

0 га М юп у юа д

Составитель Л.Гуськов

Техред Л.Олийнык Корректор В.Бутяга

Редактор В.Бугренкова

Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раутская наб., д. 4/5

Заказ 768/40

Производственно-полиграфическое предприятие, r,Óæãîðîä, ул.Проектная, 4