Устройство для измерения параметров материалов

 

Изобретение относится к технике радиоизмерений и повьшает их точность . Устройство содержит генератор 1, отрезки 2-5 волновода, фазовращатели 6-9, детектор 10, эталонные образцы 11 и 1-2, емкостные штыри 13 и 14. Переключение штырей 13 и 14 производите с определенной частотой , при этом параметры исследуемых образцов определяются по разнице показаний в обоих положениях. Нестабильность генератора 1, диода 10 одинаково сказывается на выходном сигнале, что повышает точность измерений. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU(11) А1 (50 4 G 01 N 22/00

Ггr. äð ЯЯ ю>

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3958219/24-09 (22) 01. 10.85 (46) 30. 01. 88. Бюл, 9 4 (71) Физико-энергетический инсти гут

АН ЛатвССР (72) Ю.К.Григулис, С.Ю.Русманис и Я.Э.Силиньш (53) 621.317.39(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 239449, кл. Н 01 L 21/66, 1967 °

Авторское свидетельство СССР

Р 166755, кл. G 0 1 R 27/06, 1962. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ МАТЕРИАЛОВ (57) Изобретение относится к технике радиоиэмерений и повышает их точность, Устройство содержит генератор 1, отрезки 2-5 волновода, фаэовращатели 6-9, детектор 10, эталонные образцы 11 и 1.2, емкостные штыри 13 и 14, Переключение штырей 13 и 14 производится с определенной частотой, при этом параметры исследуемых образцов определяются по разнице показаний в обоих полошениях.

Нестабильность генератора 1, диода

10 одинаково сказывается на выходном сигнале, что повышает точность измерений. 1 ил.

1370532

Подписное

847

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к технике радиоизмерений и может быть использовано для контроля параметров полупроводниковых структур.

Цель иэобретения — повышение точности измерений °

На чертеже приведена структурная электрическая схема предложенного устройства.

Устройство для измерения параметров материалов содержит СВЧ-генератор 1, первый 2, второй 3 третий 4 и четвертый 5 отрезки волновода, первый 6, второй 7, третий 8 и четвертый 9 фаэовращатели, детектор 10, эталонные образцы 11, 12, емкостные штыри 13, 14.

Устройство работает следующим образом. 20

Сигнал СВЧ-генератора 1 поступает на отрезок 2 волновода. В начальном положении емкостные штыри 13, 14 находятся в нижнем (по чертежу) положении ° СВЧ-мощность через штырь 13 25 направляется в отрезок 4 волновода, отражается от эталонного образца

12, который прижат к открытому концу отрезка 4 волновода, в отрезке 4 волновода образуется стоячая волна, З0 параметры которой зависят от параметров эталонного образца. Емкостной штырь 14 с помощью фазовращателя 9 устанавливается в минимуме стоячей волны, а емкостной штырь 13 фа—

35 зовращателем 6 — в максимуме стоячей волны. Определяется снимаемый от детектора 10 выходной сигнал, Далее емкостные штыри 13, 14 переводятся в верхнее положение — индици- 40 руется мощность в отрезок 3 волновода, нагруженный эталонным образцом 11, таким же как эталонный образец 12. Регулировками фазовращателей 6, 7 добиваются такого же разме45 щения штырей 13, 14, т.е. в минимуме и максимуме стоячей волны, а глубиной погружения штырей 13, 14 — того же самого выходного сигнала.

На месте эталонного образца 12 по50 мещается исследуемый образец. Затем определяется разница показаний при переключении штырей 13, 14 соответственно на отрезки 3, 4. На детекторе 1О происходит синхронный вычет

55 этих первичных сигналов, а по вторичному сигналу производится градуиВНИИПИ Заказ 413/43 Тираж ровка по образцам соответствующих измеряемых величнн.

В дальнейшей работе эталонный образец постоянно находится на конце отрезка 4 волновода. Переключение штырей 13, 14 производится с определенной частотой, при этом параметры исследуемых образцов определяются по разнице показаний в обоих положениях емкостного штыря. При такой работе нестабильность СВЧ-генератора 1, СВЧ-диода — детектора 10 одинаково сказывается на выходном сигнале обоих отрезков 3, 4 волновода, что повышает точность измерений.

Формула изобретения

Устройство для измерения параметров материалов, содержащее СВЧ-генератор, к выходу которого подсоединен один конец первого отрезка волновода,второй отрезок волновода, к одному концу которого подсоединен детектор, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерений введены третий и чет) вертый отрезки волновода, одни концы которых разомкнуты, а другие нагружены на соответствующие введенные первую и вторую согласованные нагрузки, третья и четвертая согласованные нагрузки, установленные на других концах первого и второго отрезков волновода, первый и второй емкостные штыри, первый, второй, третий и четвертый фазовращатели, при этом первый отрезок волновода связан с третьим и четвертым отрезками волновода соответственно через отверстия, которые выполнены в их широких стенках, второй отрезок волновода связан с третьим и четвертым отрезками волновода через дополнительные отверстия, которые выполнены в их широких стенках, при этом первый и второй фазовращатели установлены соответственно в третьем и четвертом отрезках волновода между отверстиями связи, а третий и четвертый фазовращатели — соответственно в третьем и четвертом отрезках волновода между их разомкнутыми концами и дополнительными отверстиями связи.