Способ переработки кубовых остатков производства трихлорсилана и поликристаллического кремния на тетрахлорид кремния
Способ переработки кубовых остатков производства трихлорсилана и поликристаллического кремния на тетрахлорид кремния, включающий испарение кубовых остатков, содержащих полисиланхлориды, при нагревании с одновременным хлорированием и последующую конденсацию полученных продуктов, отличающийся тем, что, с целью одновременного получения гексахлордисилоксана, хлорирование ведут при массовом соотношении хлора и полисиланхлоридов 0,05 - 0,2:1 и времени контакта компонентов 2 - 5 с.
Похожие патенты:
Способ получения четыреххлористого кремния // 1287464
Способ получения гексахлордисилоксана // 1249871
Способ получения октахлортрисилоксана // 1241643
Способ получения четыреххлористого кремния // 1007320
Способ получения силанов // 2152902
Изобретение относится к технологии получения поликристаллического полупроводникового кремния из природных кремнийсодержащих концентратов
Способ получения кремния // 2415809
Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано при производстве кремния
Способ получения пентахлордисилоксана // 1389199
Способ получения трихлорсилана // 1431254
Способ получения трихлорсилана // 1432950