Турбомолекулярный вакуумный насос
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (19) (11) А1
1 11 4 F 04 D 19/04
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Ф
1 т
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ71 (21) 4089226/25-06 (22) 11.07.86 (46) 15.01.88. Бюл. ¹ 2 (71) МВТУ им.Н.Э,Баумана (72) К.Е.Демихов, М.Г.Сапежинский и Ю.А.Мельник (53) 621.527.8 (088.8) (56) Патент Франции № 2563873, кл. Р 04 D 19/04, 1985. (54) ТУР БОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЬЙ
НАСОС (57) Изобретение позволяет улучшить откачные характеристики насоса. Кор.невые сечения периферийных лопаток 5 роторных дисков 2 расположены по окружности с диаметром, превышающим наружный диаметр кольцевых выступов
4 статорных дисков 3. Это позволяет снизить обратные перетечки между ступенями насоса и улучшить его откачные характеристики — быстроту действия и степень сжатия. 1 ил.
1366711
Составитель В.Кряковкин
Редактор M.Áàíäóðà Техред М.Дидык Корректор А.Обручар
Заказ 6804/33
Тираж 574 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5!!ронзводственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная,4
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.
Целью изобретения является улуч5 шение откачных характеристик.
На чертеже предстаавлен предлагаемый насос, продольный разрез.
Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и размещенные в 10 нем роторные и статорные диски 2 и
3, последние иэ которых снабжены кольцевыми выступами 4 с пазами, расположенными на поверхностях, обращенных к роторным дискам 2, снаб- 1 женным периферийными лопатками 5, корневые сечения которых расположены по окружности с диаметром, превышающим наружный диаметр кольцевых выступов 4 статорных дисков 3, 20
Насос работает следующим образом.
После создания в корпусе 1 предварительного разрежения роторные диски 2 приводятся во вращение. Молекулы откачиваемого газа со стороны вса- 25 сывания взаимодействуют с лопатками
5 роторных дисков 2 и попадают в пазы кольцевых выступов 4 статорных дисков 3. Поступая по пазам к оси корпуса 1, молекулы меняют направление и по лазам кольцевых выступов 4 противоположной стороны дисков 3 направляются к лопаткам 5 роторного диска 2 следующей ступени насоса.
Наличие дополнительных периферийных лопаток на роторных дисках снижает обратные перетечки между ступенями насоса и позволяет улучшить его откачные характертики — быстроту действия и степень сжатия. формула изобретения
Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и размещенные в нем роторные и статорные диски, последние иэ которых снабжены кольцевыми выступами с пазами, расположенными на поверхностях, обращенных к роторным дискам, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, роторные диски . снабжены периферийными лопатками, корневые сечения которых расположены по окружности с диаметром, превышающим наружный диаметр кольцевых высту-. пов статорных дисков.
