Устройство для контроля герметичности

 

Изобретение относится к области контроля герметичности изделий масс-спектрометрическим методом и обеспечивает повышение чувствительности контроля в условиях ионизирующего излучения путем исключения -влияния фона от ионов пробного газа, образующи.хся при его воздействии . В масс-спектрометрической камере 2 приемник ионов имеет два электрода 6, 7. Цилиндрическая часть массспектрометрической камеры 2 выполнена в виде оптически непрозрачных жалюзи 4. Электрод 6 измеряет ионный ток ионов пробного газа, образовавшихся в источнике 5 ионов, а электрод 7 - ток ионов, образовавшихся вне камеры 2 в отвакуумированном объеме, который вычитается из тока на электроде 6. Жалюзи 4 защищают место истечения пробного газа и обеспечивают эффективную откачку камеры 2. 1 3. п. ф-лы, 3 ил. (Л О5 СП СО 00 Раг. 7

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я) 4 G 01 М 3 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1т

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4092400/25-28 (22) 29.05.86 (46) 07.12.87. Бюл. № 45 (72) Б. В. Иванов (53) 620.165.29 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1232974, кл. G 01 М 3/04, 1986. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ

ГЕРМЕТИЧНОСТИ (57) Изобретение относится к области контроля герметичности изделий масс-спектрометрическим методом и обеспечивает повышение чувствительности контроля в vcловиях ионизирующего излучения путем исключения влияния фона от ионов проб„„SU„„1357738 A1 ного газа, образующихся при его воздействии. В масс-спектрометрической камере 2 приемник ионов имеет два электрода 6, 7. Цилиндрическая часть массспектрометрической камеры 2 выполнена в виде оптически непрозрачных жалюзи 4.

Электрод 6 измеряет ионный ток ионов пробного газа, образовавшихся в источнике

5 ионов, а электрод 7 — ток ионов, образовавшихся вне камеры 2 в отвакуумированном объеме, который вычитается из тока на электроде 6. Жалюзи 4 защищают место истечения пробного газа и обеспечивают эффективную откачку камеры 2.

1 3. п. ф-лы, 3 ил.

1357738

Формула изобретения

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к области контроля герметичности изделий масс-спектрометрическим методом.

Цель изобретения — повышение чувствительности контроля в условиях ионизирующего излучения путем исключения влияния фона от ионов пробного газа, образующихся при его воздействии.

На фиг. 1 схематично представлено предложенное устройство; на фиг. 2 — массспектрометрическая камера в плоскости источника и приемника ионов, сечение А — А на фиг. 1; на фиг. 3 — схема распределения ионных токов в устройстве.

Устройство для контроля герметичности содержит магнит 1 с полюсными наконечниками, между которыми размещена масс-спектрометрическая камера 2 с торцевыми крышками 3 и цилиндрической частью, выполненной в виде оптически непрозрачных жалюзи 4, с установленными в ней источником 5 и приемником ионов.

Последний выполнен в виде первого и второго плоских электродов 6 и 7, каждый из которых соответственно электрически связан с предусилителями 8 и 9, закрепленными на магните 1, на котором размешен электрически управляемый клапан 10 контрольной течи 11.

Устройство для контроля герметичности работает следующим образом.

После создания необходимого для работы источника 5 ионов вакуума в массспектрометрической камере 2 путем откачки последней через жалюзи 4 включается источник 5 ионов, и электродами 6 и 7 фиксируется фоновая составляющая ионного тока, наличие которой обусловлено воздействием ионизирующего излучения на молекулы остаточного газа. При этом шумовой ионный ток Iф, создаваемый ионами, пропорционален площади электродов 6 и 7.

Вольтметр (фиг. 3), установленный в цепи высокоомных сопротивлений, покажет разность потенциалов, пропорциональную отношению площадей элекродов 6 и 7. Затем дистанционно открывается клапан 10 контрольной течи 11 и калиброванный поток 12 контрольного газа, например гелия, поступает в масс-спектрометрическую камеру 2, в которой благодаря жалюзи 4 молекулы гелия ионизируются только в ис10

30 точнике 5 ионов и под действием электрического и магнитного полей попадают на первый электрод 6, создавая ионный ток

1п.

Между электродами 6 и 7 создается разность потенциалов, пропорциональная отношению — — "- -, определяющая при опре +7 .7с1Ь деленной величине калиброванного потока чувствительность устройства по пробному газу. Затем перекрывается клапан 10, пробный газ подается в полость 13 изделия 14, устройство перемещается в отвакуумированном объеме вдоль проверяемого сварного шва 15, и при наличии места негерметичности пробный газ попадает в масс-спектрометрическую камеру 2 и вызывает увеличение ионного тока 1. первого электрода 6, установленного на траектории ионов пробного газа, позволяющее при известной чувствительности определить величину негерметичности сварного шва 15.

Электрод 7 измеряет ток ионов, образовавшихся в отвакуумированном объеме под действием излучения и попавших в камеру 2.

Применение устройства позволяет проводить испытания с повышенной чувствительностью в условиях ионизирующего излучения благодаря использованию двух электродов для приема ионов, позволяющих отделить последний сигнал от фоновой составляющей ионного тока, и наличию оптически непроницаемого экрана из жалюзи 4, защищающего место истечения пробного газа от ионизирующего воздействия.

1. Устройство для контроля, герметичности, содержащее магнит с полюсными наконечниками, размещенную между ними массспектрометрическую камеру с источником ионов и приемником ионов с первым электродом, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности контроля в условиях ионизирующего излучения, оно снабжено вторым электродом, размещенным в масс-спектрометрической камере.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что масс-спектрометрическая камера выполнена в виде оптически непрозрачных жалюзи.

1357738

Составитель В. Черноусов

Редактор В. Данко Техред,И. Верес Корректор В. Бутяга

Заказ 5503/39 Тираж 776 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб.. д, 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4