Кассета для упаковки плоских хрупких деталей

 

Изобретение относится к технологическому оборудованию для массового нроизводства изделий микроэлектроники и предназначено , в частности, для использования на различны.х технологических операциях , связанных с автоматически.м приемом и выдачей хрупких плоских изделий, преимущественно шаблонов и полупроводниковых подложек. Цель изобретения - повышение надежности упаковки деталей. Кассета содержит торцовые стенки 1 с ручкой 2 боковые стенки 3, которые находятся под углом, например 90°, одна к другой. Боковые стенки 3 имеют Г-образные выступы 4, выполненные со стороны окна загрузки 5, с пазами 8 под детали со смещением относительно плоскости ложемента 6 на величину, не превышающую толщину детали . Количество пазов 8 определяется количеством ложементов 6, которые жестко закреплены на боковых стенках 3 параллельно оси окна загрузки 5, т.е. между дополнительными боковыми стенками 3 и держателями деталей образовано окно. Фиксирование кассеты в процессе загрузки (выгрузки ) осуществляется по фиксирующим отверстиям 10. 6 ил. с (Л со

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ni) 4 В 65 Р 1/34

ВсЕс6МЗЦ g

13 „" ", ",:,,;,13 >-ч И0ТИ4

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АBTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4047103/26-13 (22) 02.04.86 (46) 30.09.87. Бюл. ¹ 36 (72) Н. И. Никулин и В. Н. Комаров (53) 621.798 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 872390, кл. В 65 D 1/34, 1979. (54) КАССЕТА ДЛЯ УПАКОВКИ ПЛОСКИХ ХРУПКИХ ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к технологическому оборудованию для массового производства изделий микроэлектроники и предназначено, в частности, для использования на различных технологических операциях, связанных с автоматическим приемом и выдачей хрупких плоских изделий, преимущественно шаблонов и полупроводниковых подложек. Цель изобретения

„„SU„„1341105 А 1 повышение надежности упаковки деталей.

Кассета содержит торцовые стенки 1 с ручкой 2 и боковые стенки 3, которые находятся под углом, например 90, одна к другой.

Боковые стенки 3 имеют Г-образные выступы 4, выполненные со стороны окна загрузки 5, с пазами 8 под детали со смещением относительно плоскости ложемента 6 на величину, не превышающую толщину детали. Количество пазов 8 определяется количеством ложементов 6, которые жестко закреплены на боковых стенках 3 napaëлельно оси окна загрузки 5, т.е. между дополнительными боковыми стенками 3 и держател ям и деталей образовано окно. Фи ксирование кассеты в процессе загрузки (выгрузки) осуществляется по фиксирующим отверстиям 10. 6 ил.

1341105

Изобретение относится к технологическому оборудованию для м ассового производства изделий микроэлектроники, предназначено, в частности, для использования на различных технологических операциях, связанных с автоматическими приемом и выдачей хрупких плоских изделий, преимущественно шаблонов и полупроводниковых подложек.

Целью изобретения является повышение надежности упаковки деталей.

На фиг. 1 представлена кассета, общий вид; на фиг. 2 — вид А на фиг. 1; на фиг. 3 — сечение Б-Б на фиг. 2; на фиг. 4— положение детали в кассете; на фиг. 5 положение носителя относительно детали при входе в паз кассеты; на фиг. 6 — положение деталей на носителе перед выгрузкой (загрузкой).

Кассета содержит торцовые стенки 1 с ручкой 2, боковые стенки 3, которые находятся под углом, например 90, друг к д) угу. Боковые стенки 3 имеют Г-образные выступы 4, выполненные со стороны окна загрузки 5, образованного боковыми стенками 3 и ложементами 6 для деталей 7 в виде поэтажно размещенных полок, образующих собственно держатель деталей. В выступах 4 выполнены пазы 8, количество которых определяется количеством ложементов 6. При этом пазы 8 в выступах смещены относительно плоскости ложементов

6 на величину, не превышающую толщину детали 7 (в противном случае деталь 7 выпадает). Ложементы 6 жестко закреплены между торцовыми стенками и параллельно оси окна загрузки 5, т.е. между боковыми стенками 3 и держателем деталей образован угол (окно), величина которого лимитирована размерами подложки.

На верхней торцовой стенке 1 укреплена ручка 2, обеспечивающая удобство переноса кассеты. Предложенная кассета может быть использована для проведения автоматизированных процессов с механизированной загрузкой (выгрузкой). Детали 7 извлекаются из кассеты носителями 9, установленными с возможностью вертикального и горизонтального перемещения от приводов (не указанных) . Фиксирование кассеты в процессе ее загрузки (выгрузки) осуществляется по фиксирующим отверстиям 10 (в ответной части имеются штыри) .

Пример использования кассеты на операции отмывки деталей: процесс загрузки (выгрузки) осуществляют автоматически.

Включают привод (не указан) носителей 9, которые входят в окно, образованное ложементом 6 и дополнительными боковыми стенками 3 кассеты. Затем привод отключают. От другого привода (не указан) носители 9 вертикально подним аются, приподнимая деталь 7 на уровень паза 8 в Г-образном выступе боковой стенки 3. Затем включают привод носителей 9, посредством которых деталь 7 передается на позицию обработки, где осуществляют ее обработку (отмывку). В это время кассета опускается на один шаг. Носители вновь заходят в окно между боковой стенкой и держателем и т.д.

Формула изобретения

Кассета для упаковки плоских хрупких деталей, содержащая торцовые и боковые стенки, образующие окно для загрузки, и ложементы для деталей, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности упаковки деталей, боковые стенки кассеты расположены под углом одна к другой и имеют

Г-образные выступы с пазами под детали со стороны окна загрузки, а ложементы закреплены между торцовыми стенками со смещением относительно пазов под детали на выступах.

Процесс разгрузки (выгрузки) повторяется.

С позиции обработки носители 9, выпол10 ненные с зеркальным отображением носителей на разгрузке (выгрузке), подходят под деталь 7, приподнимают его, выгружают из держателя на операции обработки, после чего перемещают в кассету. Деталь

7 через пазы 8 в боковых стенках 3 посту15 пает на держатель с ложементами 6. Носители 9 опускаются, опуская деталь 7 на ложементы 6, и посредством привода уходят в исходное положение. Процесс загрузки повторяется.

Выполнение боковых стенок под углом друг к другу обусловлено необходимостью исключения погрешности, вызванной непараллельностью их. Кроме того, возможно создание транспортного устройства, позволяющего транспортировать подложку за

25 нерабочую часть. В случае параллельных боковых стенок сделать это не представляется возм ож ны м — устраняется эффект трения боковых поверхностей подложки с боковыми стенками кассеты, т.е. отсутствуют дополнительные источники пыли, что отражается на проценте выхода годных.

Выполнение в боковых стенках Г-образных выступов обусловлено необходимостью надежного удержания подложек в кассете при транспортировке. Кроме того, выполнение Г-образных выступов позволяет транспортному устройству забирать подложку непосредственно из кассеты. Параллельные стенки этого сделать не позволяют, так как подложку захватить невозможно.

Выполнение пазов в выступах необхо40 димо для разгрузки (загрузки) подложек из кассеты (в кассету). Смещение плоскости ложементов относительно пазов позволяет осуществить надеж ное удержание подложек в кассете при ее транспортировке.

1341105

1341105

Составитель Н. Кириллова

Редактор Н. Горват Техред И. Верес Корректор А. Ильин

Заказ 4394/26 Тираж 546 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород-, ул. Проектная, 4