Термостатированный кварцевый резонатор

 

Изобретение относится к области радиоэлектроники. Цель изобретения - повышение стабильности частоты. Термо .сл атиоованный кварцевый резонатор содержит кристаллический элемент 1 с возбуждающими электродами 2, 3 в ак тивной области. На первой основной грани кристаллического элемента 1 во«руг активной области в периферийной зоне расположеи резистивный пленочный нагреватель 4, на второй основной грани размещен датчик 6 температуры , выполненный в виде терморе - зистивной текстурированной пленки из окислов кобальта и марганца-со следукицим соотношением компонентов, мас.%; окисел кобальта 50-65; окисел марганца остальное. При этом внешние контуры рабочей зоны терморезистивной текстурированной пленки совпадают с контурами рабочей зоны резисти1зного пленрчного нагревателя. 3 ил. § (Л С со со ел

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСГ!УБЛИК (51)5 Н 03 Н 9 !5

4 Ь"4 11!

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (46) 07.02.90. Бюл. В 5 (21) 3977702/40-22 (22) 20.11.85 (72) В.С. Теренько, А.Н. Дикнджи, М И. Ярославский, Н.И. Алексеева, В.Н. Банков, В.В. Бахтинов, Г.И. Варфоломеева и М.Н, Коган (53) 621.372.412(088.8) (56) Волков А.А., Вороховский Я.Л., Петросян И.Т. и.Трошин И.С. Кварцевые резонаторы-термостаты. — Электронная промышленность, 1984, вып. !(129), с. 64-66.

Техника средств связи. - Сер. ТРС, 1978,-вып. 10 (26), с. 31-34. (54) ТЕРМОСТАТИРОВАННЫЙ КВАРЦЕВЫЙ

РЕЗОНАТОР (57) Изобретение относится к области радиоэлектроники. Цель изобретенияповьппение стабильности частоты. Тер„Я0„„13 51 2 А1 мостативованный кварцевый резонатор содержит кристаллический элемент а возбуждающими электродами 2, 3 в ак" тивной области. На первой ОСновной грани кристаллического элемента вокруг активной области в периферий. ной зоне расположен реэистивный

1 пленочный нагреватель 4, на второй основной грани размещен датчик 6 температуры, выполненный в виде терморезистивной текстурированной пленки иэ окислов кобальта и марганца со следующим соотношением компонентов, мас.X: окисел кобальта 50-65; окисел марганца остальное. При этом внешние контуры рабочей эоны терморезистив- д ной текстурированной пленки совпадают с контурами рабочей зоны резистив- д ного пленочного нагревателя. 3 нл.

С::

1335112

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может испольэовать ся в высокостабильных кварцевых резонаторах.

Цель изобретения — повышение стабильности частоты.

На фиг. 1 показан термостатированный кварцевый резонатор, вид спереди; на фиг. 2 — то же, вид сбоку; на 10 фиг. 3 - структурная схема резонатора.

Термостатированный кварцевый резонатор содержит кристаллический элемент 1, возбуждающие электроды 2 и 3, реэистивный пленочный нагреватель 4 . 15 с токопроводящей перемычкой 5, датчик

6 температуры с тонкопленочными проводящими контактами 7 и 8 и с терморезистором 9 в виде текстурированной пленки из окислов кобальта и марган- 20 ца,.контактные площадки 10, блок 11 терморегулирования и автогенератор 12.

Резонатор работает следующим образом °

Входной сигнал подается на элект- 25 роды 2 и 3 резонатора, при этом в кристаллическом элементе .1 возникают колебания. Выходной электрический сигнал со стабилизированной частотой снимается с электродов 2 и 3. .р

ТермоСтабилизация пьезоэлемента осуществляется следующим образом, При включении блока 11 терморегулирования сопротивление терморе- эистора 9, выводы которого соединены

35 с входными клеммами блока терморегулирования, велико и сравнивающий термочувствительный элемент блока терморегулирования разбалансирован. При этом через реэистивиый пленочный на" греватель 4, выводы которого соединены с выходными клеммами блока 11 терморегулирования, протекает полый . ток подогрева пьезоэлемента кварцевого резонатора. По мере нагрева пьезоэлемента и,,следовательно, терморезистора, сопротивление последнего уменьшается, а через резистивный пленочный нагреватель 4 протекает меньший ток. При этом величина тока регулируется пропорционально напряжению раэбаланса сравнивающего термочувст" вительного элемента блока 11 терморегулирования, за счет чего обеспечивается постоянство, температуры по55 догрева пьезоэлемента кварцевого резонатора. высокая точность стабилизации температуры, а следовательно, и частоты

Р кварцевого резонатора достигается эа счет повышенного теплового контакта с объектом термостатирования, который достигается использованием тонкопленочного терморезнстивного датчика 6 температуры с контурами рабочей зоны, совпадающей с контурами рабочей эоны нагревателя 4. Это позволяет повысить точность поддержания температуры пьезоэлемента н довести ее до 0, 1ОС

Применение тонкопленочного терморезистора на основе текстуры окислов кобальта и марганца с соотношением компонентов, мас.X: окисел кобальта

50-65; окисел марганца остальное, сформированной высокочастотным магнетронным распылением, обеспечивает значительное снижение воспроизводимости электрических параметров тон-, копленочных терморезисторов и повышение их долговременной стабильности, что также повышает стабильность частоты кварцевого. резонатора.

Формула изобретения

Термостатированный кварцевый резонатор, содержащий кристаллический элемент в форме пластины с расположен ными на его первой и второй основных гранях и активной области возбуждающими электродами, резистивный пленочный нагреватель, расположенный на . первой основной грани кристаллического элемента вокруг активной области в его периферийной зоне, выводя которого соединены с выходными клеммами блока терморегулирования, и датчик температуры, выполненный в виде термореэистора и расположенный на вторрй основной грани кристаллического элемента вне активной области, выводы которого соединены с входными клеммами блока терморегулирования, о т " л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения стабильности частоты, терморезистор выполнен в виде текстурированной пленки из окислов кобальта и марганца со следующим соотношением компонентов, мас.K:

Окисел кобальта 50-65

Окисел .марганца Остальное причем внешние контуры рабочей зоны терморезистора совпадают. с контурами рабочей зоны резистивного пленоч-, ного нагревателя.

1335112

1335! I 2

Составитель В. Литвинов

Техред g,дидье Корректор Н. Король

Редактор Н. Цалихина

Тираж 655 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 499

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород. ул. Проектная, 4 ю