Измерительный ртутный зонд
Изобретение может быть использовано для исследования и контроля электрофизических параметров полупроводниковых и диэлектрических материалов и структур на их основе. Цель изобретения - снижение погрешности измерения путем сохранения постоянства контактного пятна. При соприкосновении толкателя 7 с измеряемым образцом 8 втулка 6 посредством мембраны 4 опускается. Ртуть 2 вдавливается в калиброванное отверстие втулки 6 до получения контакта заданной площади с измеряемым образцом 8, определяемой диаметром калибровочного отверстия d. Контактный элемент, частично погружаясь в ртуть 2, выполняет функцию штока, уменьшающего объем чаши. Предложенная компоновка исключает возможность выхода ртути 2 за пределы калиброванного отверстия независимо от изменений усилия прижима образца 8, 1 ил. SS 53
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН
2О757 А1 (19) (11) (51) 4 G 01 R 1/06
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ описАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ l.3
К A BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ .4 .
1 (21) 3682210/24-21 (22) 28.11.83 (46) 30.06.87. Бюл. № 24 (71) Государственный научно-исследовательский и проектный институт редtt кометаллической промьппленности Гиредмет" (72) B.È. Петровский, Л.В. Зотов, О..И. Шведова и В.К. Григорьев (53) 621.315.684(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
¹ 860360, кл. С 01 R 1/06, 1983.
Авторское свидетельство СССР № 1287723, кл. Н 01 L 2/66, .1984. (54) ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ РТУТНЫЙ ЗОНД (57) Изобретение может быть использовано для исследования и контроля электрофизических параметров полупроводниковых и диэлектрических материа— лов и. структур на их основе. Цель изобретения — снижение погрешности измерения путем сохранения постоянства контактного пятна. При соприкосновении толкателя 7 с измеряемым образцом 8 втулка 6 посредством мембраны 4 опускается. Ртуть 2 вдавливается в калиброванное отверстие втулки
6 до получения контакта заданной площади с измеряемым образцом 8, определяемой диаметром калибровочного отверстия d. Контактный элемент, частично погружаясь в ртуть 2, выполняет функцию штока, уменьшающего объем чаши. Предложенная компоновка исключает возможность выхода ртути 2 за пределы калиброванного отверстия ® независимо от изменений усилия прижима образца 8. 1 ил.
Формула изобретения
Составитель Н.Шмелев
Техред М.Ходанич
Корректор В Бутяга
Редактор E.Êîï÷à
Заказ 2656/49
Тираж 730 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4
1 132075
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в измерительных устройствах для исследования и контроля электрофизических параметров полупроводниковых и диэлектрических материалов и структур на их основе.
Цель изобретения — снижение поI грешности измерения путем сохранения постоянства контактного пятна, что достигается исключением выхода ртути за пределы калиброванного отверстия при измерениях условия контактирования и вибрациях.
На чертеже изображен измерительный ртутный зонд, общий вид.
Измерительный ртутный зонд представляет собой контактное устройство, состоящее из корпуса 1 с предметным столиком с чашеобразной полостью, 20 заполненной ртутью 2, механизма прижима (не показан). Сверху корпуса 1 закреплена с помощью кольца 3 гибкая мембрана 4. В центральной части мембраны 4 с помощью кольца 5 закреп- 25 лена втулка 6 с калиброванным отверстием. Над контактным устройством соосно с калиброванным отверстием, расположен толкатель 7, а между толкателем 7 и втулкой 6 установлен .30 испытуемый образец 8.
Зонд работает следующим образом.
После установки измеряемого образца 8 на втулку 6 контактного устройства приводится в движение тол- 35 катель 7 путем осевой подачи его вниз к измеряемому образцу 8. После соприкосновения толкателя 7 с измеряе-. мым образцом 8 втулка 6 начинает опускаться за счет гибкой мембраны 4, 40 а ртуть 2 вдавливается в калиброван7 2 ное отверстие втулки 6 вплоть до получения контакта заданной площади с измеряемым образцом 8, определяемой диаметром калиброванного отверстия d.
Механизм прижима осуществляет силовое замыкание между толкателем и корпусом через образец, контактный элемент, ртуть и мембрану.
При этом контактный элемент, частично погружаясь в ртуть, выполняет дополнительную функцию штока, уйеньшающего объем чашеобразной полости.
В предлагаемом измерительном ртутном зонде исключается возможность выхода ртути за пределы калиброванного отверстия независимо от изменений усилия прижима образца.
Измерительный ртутный зонд, содержащий корпус, предметный столик с чашеобразной полостью, залитой ртутью и закрытой мембраной, сопряженной со штоком с возможнос гью изменения объема полости, диэлектрический контактный элемент с калибровочным отверстием, выполненный из несмачиваемого ртутью материала, расположенный с возможностью заполнения отверстия ртутью при уменьшении объема полости, токоподвод и механизм зажима контролируемого образца,между контактной частью и предметным столиком, отличающийся тем, что, с целью снижения погрешности измерений путем исключения выхода ртути за пределы калиброванного отверстия, контактирующий элемент закреплен в мембране с возможностью частичного погружения в ртуть.
