Нетканый полировальный материал
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (19) (11) А1 (д1) 4 D 04 H 5/02
/ аса ®® „
Ц "F òì " гр, Ц ®>so
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
2,5 — 30
5 — 30
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3789922/28-12 (22) 12.07.84 (46) 30.05.87. Бюл. № 20 (72) T. П. Харченко, Б. Л. Хавкина, Г. Э. Кан, С. А. Овчинникова, Г. Н. Зачесова и Н. А. Зайцева (53) 621.924 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 460337, кл. D 04 Н 5/00, 1974.
Авторское свидетельство СССР № 953037, кл. D 04 Н 5/02, 1981. (54) (57) НЕТКАНЫЙ ПОЛИРОВАЛЬНЫЙ МАТЕРИАЛ, выполненный в виде холста из полиэфирного волокна, пропитанного вспененным латексным связующим, отличающийся тем, что, с целью повышения качества полируемой поверхности, одна из сторон пропитанного холста дополнительно имеет пористое замшевидное покрытие, выполненное из смеси карбоксилсодержащего латекса, загустителя на основе бутилакрилата и метакриловой кислоты, взятых в соотношении 50:50, и дисперсионного порошкового регенерата из шинной резины, при следующем соотношении компонентов, мас. ч.:
Карбоксилсодержащий латекс 100
Загуститель на основе буталакрилата и метакриловой кислоты
Дисперсионный порошковый регенерат из шинной резины
1313922
Изобретение относится к нетканому полировальному материалу и может быть использовано в электронной промышленности для химико-механического полирования всевозможных полупроводниковых монокристал лических соединений и диэлектриков.
Целью изобретения является повышение качества полируемой поверхности.
Нетканый полировальный материал выполняют в виде холста из полиэфирного волокна, пропитанного вспененным латексным связуюшим, при этом одна из сторон пропитанного холста имеет пористое замшевидное покрытие, выполненное из смеси карбоксилсодержащего латекса, загустителя на основе бутилкрилата и метакриловой кислоты, взятых в соотношении 50:50, и дисперсионного порошкового регенерата из шинной резины, при следующем соотношении компонентов мас. ч.:
Карбоксилсодержа ший латекс 100
Загуститель 2,5 — 30
Дисперсно нный порошковый регенерат из шинной резины 5 — 30
Изобретение иллюстрируется следуюшими примерами.
Пример 7. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связуюшим из полиуретанового латекса «Латур — 1» (30—
50 мас.о/p), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое замшевидное покрытие из смеси 100 мас.ч. каучукового карбоксилсодержащего латекса
СКН вЂ” 40- — 1ГП (30 — 35 мас.%), 2,5 мас.ч. загустителя и 5 мас. ч, дисперсионного порошкового регенерата из шинной резины (диспора) .
Пример 2. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связуюшим из полиуретанового латекса «Латур — -1» (30 ——
50»ас. /p), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое замшевидное покрытие из смеси !00 мас.ч. каучукового карбоксилсодержагцего латекса
СКН вЂ” 40- — 1ГП (30 — 50 мас. /p), !5»ас.ч. загустителя и 15 мас.ч. диспора.
77ример 8. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связующим нз полиуретанового латекса «Латур — !» (3050 мас. /p), при этом на одну из сторон flpo5
45 питанного холста наносят пористое замшевидное покрытие из смеси 100 мас.ч. каучукового карбоксилсодержашего латекса
БНК вЂ” 40/4 (40 — -45 м ас. /p), 30 »ас.ч. загустителя и 30 мас.ч. диспора.
Пример 4. Нетканый полировальный материал выполнякот из смеси полиэфирныx волокон, пропитывают связук>шим из акрилового карбоксилсодержашего латекса
МБМ вЂ” 3 (45 — 50 мас. /о), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое зам шевидное покрытие из смеси
100 мас.ч. акрилового карбоксилсодержащего латекса с 7 /о МАК вЂ” АК 211 (45—
50 мас.о/p), 2,0 мас.ч. загустителя и 4 мас.ч. диспора.
Покрытие сформировать не удается, так как жидкая смесь проходит через холст.
Пример 5. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связующим из акрилового карбоксилсодержашего латекса МБМ вЂ” 3 (45 — 50 мас.о/p), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое зам шевидное покрытие из
100 мас.ч. акрилового карбоксилсодержащего латекса с 7 /о МАК вЂ” -АК-211 (45—
50 мас. /p), 3,5 мас. ч. загустителя и 35 мас.ч. диспора.
Покрытие сформировать не удается ввиду коагуляции смеси.
Пример б. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связующим из каучукового карбоксилсодержашего латекса СКН вЂ” 40 — 1ГП (30 — 35 м ас.о/о), и ри этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое замшевидное покрытие из 100 »ас.ч. карбоксилсодержашего латекса с 3 /о МАК вЂ” МБМ 3 (45 50 мас. /о), 15 мас.ч. загустителя и 15»ас.ч. диспора.
Пример 7. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связующим из акрилового карбоксилсодержашего латекса с
Зо/о МАК вЂ” МБМ- 3 (45 — 50 мас о/p), пРи этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое замшевидное покрытие из 100 мас.ч. акрилового карбоксилсодержашего латекса с 5о/о МАК МБМ вЂ” 5с (45 — 50 »ас. /p), 30 »ас.ч. загустителя и
30 мас.ч. диспора.
Сравнительные данные испытаний нетканого полировального материала даны в таблице (обраоатываемый»атериал
А" — Б " ).
1313922
Шероховатость P мкм
Скорость удале— ния, Время работы, TJ рН
Нетканый
Удель— полировальный ная нагрузматериал ка, г/см мкм мин
НП-15" (прототип) О, 032
0,6
1-7 200
Пр едлагаемый по примерам ""
80 0,6-0,8 0,025
80 0,8-1,2 0,025
90 1,0-1,2 0,025
90 1, 1-1,3 0,025
90 1, 1-1,3 0,025
1-14
300
300
1-14
1 — 14
300
300
1 — 14
300
1 — 14
Обеспечивает гладкую зеркальную поверхность, с хорошей геометрией, есть риски.
" Обеспечивает гладкую зеркальную поверхность, практически без рисок, ухудшения геометрических параметров не происходит.
Составитель М. Воеводина
Редактор Л. Веселовская Техред И. Верес Корректор Л. Патай
Заказ 2001/28 Тираж 40! Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4


