Способ обнаружения пор или мелких отверстий в пленках или тонких покрытиях из диэлектрического материала

.Класс 2je, Я7<, 42k 51

До jggj ЭД

Ес!СО 3„":.!, n

СССР

0ПИСАНИК ИЗОВРЯТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа № 95

В И. Попков и Л- А Бибергаль

СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ ПОР ИЛИ МЕЛКИХ ОТВЕРСТИЙ

В ПЛЕНКАХ ИЛИ ТОНКИХ ПОКРЫТИЯХ ИЗ

ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОГО МАТЕРИАЛА

Заявлено 9 января !960 г. за ¹ 6500!7/24 в Ко:яитст по ислам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 2! за !960 r

Известные способы обнаружения дефектов в виде пор или мелких отверстий в пленках или тонких покрытиях из диэлектрического материала путсм воздействия коронным разрядом на испытуемый диэлектрик, расположенный на металлическом основании. и измерения тока между основанием и землей не исключает возможности повреждения диэлектри ка в процессе испытания.

В описываемом способе для предотвращения пробоя и повреждения диэлектрика при испытании используется коронный разряд при напряженности поля меньше пробивной для возбуждения в порах диэлектрического материала пульсирующих разрядов, наличие которых, фиксируемое, например, осциллографом, позволяет обнаружить указанныс дефекты.

На чертеже изображена принципиальная схема осуществления описываемого способа.

Пленка 1 располагается на металлической поверхности электрода 2 или пленка 1 и электрод 2 составляют одно целое, как это имеет место при нанесснии на металлическую поверхность изделия диэлектрического покрытия. Электрод 2 через импеданц 8 заземлен. На некотором расстоянии против испытуемой части поверхности пленки 1 располагается коронирующий электрод 4 подходящей формы и размера или система коронирующих электродов, соединенных с положительным полюсом источника 5 высокого постоянного напряжения. Отрицательный полюс источника 5 заземлен. Параллельно импеданцу 3 подключен прибор 6 (например катодный осциллограф), который регистрирует или иным способом реагирует на пульсации тока в импеданце 8.

При достаточной величине напряжения источника 5 на эле троя:..

1 возникает положительный коронный разряд. Из области ноннза!ц!и у

¹ 133123

Предмет изобретения

Способ обнаружения пор или мелких отверстий в пленках или тонких покрытиях из диэлектрического материала путем воздействия коронным разрядом на испытуемый диэлектрик, расположенный на металлическом основании, и измерения тока между основанием и землей, отл и ч а ю щи йся тем, что, с целью предотвращения возможности повреждения диэлектрика в процессе испытания, о наличии указанных дефектов в диэлектрическом материале судят по пульсирующим разрядам, возникающим в его порах под воздействием коронного разряда при напряженности поля меньше пробивной, а величину тока разрядов фиксируют известными устройствами, например осциллографом. оедактор В. М. Парнес Техред А. А. Камышникова Корректор л. Чекунова

Формат бум. 70;к,108 /16

Тираж 1000! 1,БТИ при Комитете по ислам изобретений и при Совете Министров СССР

Москва, Центр, М. Черкасский пер., д.

Ооъем 0,17 уел. и. л.

Цена 8 коп. открытий

Иодп и пеи, 17.11-61

Зак. 1769

2/6 1 н.>r>графин ЦЬТИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР, Москва, Г!етровка, 14, электрода 4 через газовыи промежуток между электродами 4 и 2 образуется поток положительных ионов, оседающих на поверхности пленки I.

Г1ри определенной плотности поверхностного заряда на пленкс в ее порах 7 создается напряженность поля, достаточная для возникновения пульсирующего отрицательного разряда, ток которого протекает через пмпеданц 8 и регистрируется прибором б. Пленка 1 и элек1род 4 могут перемещаться друг относительно друга. Для проведения непрерывного контроля бесконечной пленки электрод 2 должен иметь вид вращающегося металлического цилиндра. При отсутствии в пленке дефектов через нее протекает постоянный ток, сила которого зависит от проводимости диэлектрика. Если пленка имеет дефекты, осциллограмма пульсирующе-! о разряда в порах показывает пульсацию тока.

По окончании испытания положительный заряд с поверхности пленки снимается путем создания на электроде 4 дозированного отрицательного коронного разряда или любым другим известным методом компенсации поверхностного заряда