Способ изготовления носителя магнитной записи

 

Изобретение относится к технологии осаждения металлических покрытий в вакууме , в частности к технологии получения носителя магнитной записи. Цель изобретения - упрощение технологического процесса и улучшение качества носителя. На основу носителя посредством катодного напыления в вакуумной камере наносят магнитный слой. В плазме инертного газа осуществляют процесс катодного распыления, при котором в катоде, в качестве которого использован носитель магнитной записи,создается ионами газа периодическая неоднородность поверхности. ьо ;о

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК дц4 G 11 В 5/84

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ф -.

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (7

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3995178/24-10 (22) 22.11.85 (46) 15.03.87. Бюл. № 10 (71) Специальное конструкторское бюро вычислительных машин Вильнюсского производственного объединения «Сигма» (72) 1О. Б. Корнеев (53) 681.84.083.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1125652, кл. G 11 В 5/84, 1985.

„„Я0„„1297104 А1 (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НОСИТЕЛЯ МАГНИТНОЙ ЗАПИСИ (57) Изобретение относится к технологии осаждения металлических покрытий в вакууме, в частности к технологии получения носителя магнитной записи. Цель изобретения — упрощение технологического процесса и улучшение качества носителя. На основу носителя посредством катодного напыления в вакуумной камере наносят магнитный слой. В плазме инертного газа осуществляют процесс катодного распыления, при котором в катоде, в качестве которого использован носитель магнитной записи, создается ионами газа периодическая неоднородность поверхности.

1297104

Составитель A. Володина

Редактор Н. Горват Техред И. Верее Корректор М. Самборская

Заказ 595/55 Тираж 590 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1!3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4 5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к технологии осаждения металлических покрытий в вакууме, в частности к технологии получения носителя магнитной записи.

Целью изобретения является упрощение технологического процесса и улучшение качества носителя.

Способ осуществляют следующим образом.

На подготовленную основу носителя наносят магнитный слой из Со, или Ni, или Fe, 10 или их сплавов, например, посредством катодного напыления в вакуумной камере. Затем вакуумную камеру заполняют инертным газом, например, аргоном при давлении 10—

10 1 торр и осуществляют процесс катодного распыления, в котором катодом является изготовляемый носитель. При этом ионы газа выбивают материал носителя преимущественно по границам кристаллитов, создавая периодическую неоднородность поверхности носителя магнитной записи.

Травление в высокочастотной плазме аргона при давлении 5 10 торр и напряжении U = 1 5 кВ позволило увеличить коэрцитивную силу образца Со†W c 350 до 460 Э за 20 мин.

Формула изобретения

Способ изготовления носителя магнитной записи путем подготовки основы, напыления магнитного слоя в вакуумной камере и последующего формирования рельефа неоднородностей травлением магнитного слоя, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологического процесса и улучшения качества носителя, формирование рельефа неоднородностей осуществляют травлением магнитного слоя в плазме инертного газа в процессе катодного-распыления, в котором катодом является носитель магнитной записи.