Устройство для контроля прямых двугранных углов зеркально- призменных элементов

 

Изобретение относится к оптическому приборостроению .и позволяет повысить точность контроля. По ходу прошедшей через плоскопараллельную пластину 5 части светового пучка от источника 6 установлены зеркала 2-4, после последовательного отражения от которых световые пучки падают на одну грань контролируемой призмы 10. Другая часть светового пучка, отраженная от пластины 5, падает на другую грань призмы 10. Зеркало 1 возвращает отраженные от граней призмы 10 световые пучки на эти же грани. Величина неперпендикулярности контролируемых граней призмы 10 определяется разностью угловых расстояний между интерференционными пятнами, образованными в поле зрения приемного устройства 7 взаимодействием вторично отраженных от граней призмы 10 световых пучков непосредственно и через зеркала 2-4 на плоскопараллельную пластину 5, при двух положениях предметного столика, отличающихся на с (Л 180 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1

П9) 01) э

l э э Ф

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3842411/24-10 (22) 10.0.1 . 85 (46) 15. 12.86. Бюл. ¹- 46 (72) В.Г.Соловьев (53) 535.322.2 (088,8) (56) Патент CUlA ¹ 4516854, кл. 356-363 14.11.85.

Авторское свидетельство СССР

N - 1116312, кл. Г 01 В 11/26,07.12.84. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПРЯМЫХ

ДВУГРАННЫХ УГЛОВ ЗЕРКАЛЬНО-ПРИЗМЕННЫХ

ЭЛЕМЕНТОВ (57) Изобретение относится к оптичес- кому приборостроению .и позволяет повысить точность контроля. По ходу прошедшей через плоскопараллельную пластину 5 части светового пучка от источника 6 установлены зеркала 2-4, после последовательного отражения от (5р 4 С 01 M 11/00, C 01 В 11/?6 которых световые пучки падают на одну грань контролируемой призмы 10.

Другая часть светового пучка, отраженная от пластины 5, падает на другую грань призмы 10. Зеркало 1 возвращает отраженные от граней призмы

10 световые пучки на эти же грани, Величина неперпендикулярности контролируемых граней призмы 10 определяется разностью угловых расстояний между интерАеренциснными пятнами, образованными в поле зрения приемного устройства 7 взаимодействием вторично отраженных от граней призмы 10 световых пучков непосредственно и через зеркала 2-4 на плоскопараллельную пластину 5, при двух положениях предметного столика, отличающихся на

180 . 1 ил.

127б 73

Изобретение относится к оптике и может быть исполг зовано в оптическом приборостроении для высокоточного контроля прямьгх двугранных углов зеркально-призменных элементов, в частности уголковых отражателей с требуемой диаграммой направленности.

Целью изобретения являстся поныв шение точности измерений.

На чертеже изображена схема уст— ройстна для контроля прямых двугранных углов зеркально-призменных элементов.

Устройство содерхжт зеркала 1, 2, 3 и 4, плоскопараллельную пластину 5, 15 установленную под углом 45-2 к его

0 оптической оси светового потока, создаваемого источником б когерентного излучения, при этом зеркала 2 и 4 установлены параллельно плоскопарал- 20 лельной пластине 5, причем зеркало расположено за плоскопараллельной пластиной 5 по ходу проходящегo сквозь нее светового потока, а зеркало ? ра"положено перед плоскопараллельной пластиной 5 по ходу отраженного от нее светового потока при этом зеркало 3 установлено между зеркалами

2 и 4 перпендикулярно каждому из них, а зеркало 1 — между зеркалом 2 и 30 плоскопараллельной пластиной 5 параллельно отраженному от нее световогс потока, Кроме того, приемное устройство 7 установлено за плоскопараллельной пластиной 5 против хода QTраженного от нее светового потока, при этом зеркало 1 и контролируемая призма установлены на предметном столике 8, имеющем возможность поворота на 18(7 вокруг оси 9, перпендикулярной оптической оси светового потока, причем ребро контролируемого двугранного угла призмы направлено к зеркалу 1.

Устройство Ау кционирует следую- 4„ щим образом. на зеркало 1 и, отразившись от него, вторично падают на соответствующие грани призмы, при этом после отражения от первой грани призмы световой пучок проходит сквозь плоскопараллельную пластину 5, а световой пучок, отраженный от второй грани призмы, последовательно отражается от зеркал 2, 3 и 4 и от плоскопараллельной пластины „ Б попе зрения приемного устройства 7 наблюдаются изображения двух строго идентичных интерференционных пятен, образованных взаимодействием световых пучков в результате отражения от плоскопараллельной пластины 5, между которыми измеряется расстояние в угловой мере.

Угловое расстояние F между интерАеренционными пятнами определяется по Аормуле". где а Ы вЂ” отклонение контролируемого угла призмы,О от прямого, йг. — величина непараллельности световых пучков, падающих на,îíòðîëèðóåìûå грани

I1PHBMbI 10.

После разворота предметного стоо лика 8 приблизительно на 180 вокруг оси 9 угловое расстояние Fz между интерференционными пятнами будет определяться по формуле

Вычитая один результат иэ другого, получают искомое значение неперпендикулярности и контролируемых граней призмы 10 по формуле

Источник б когерентного излучения облучает световым пучком плоскопараллельную пластину 5, при этом часть светового пучка отражается от плоскопараллельной пластины 5 и падает на первую грань призмы, а другая часть светового пучка проходит c .êIIo Iü плос-. копараллельную пластину 5 и после последовательного отражения от зеркал

3 и 2 падает на вторую грань при.— мы 10, после чего отраженные от o:JeFI граней призмы световые пучки падакгт

Формула изобретения

Устройство для контроля прямых цвугранных углов зеркально-призменных элементов, содержащее источник коллимированного излучения, светоцелитель в виде плоскопараллельной пластины, приемное устройство, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля в него введены три зеркала, установленные по ходу прошедшего через све1276939

Составитель С.Соколов

Техред Л. Сердюкова

Корректор M,Ïîæo

Редактор А.Лежнина

Заказ 6658/34 Тираж 778

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул. Проектная, 4 тоделитель луча, при этом первое и третье зеркала — параллельно светоделителю, а второе — перпендикулярно им, и четвертое зеркало, установленное между светоделителем и третьим о зеркалом под углом 45 к последнему.