Эллипсометр для измерения толщины поверхностных слоев и оптических свойств образцов
Изобретение относится к измерительной технике, связанной с оптическими методами из.мерения оптических свойств изотропных и анизотропных ОДНОС.ЮИНЫХ и МНОГ()СЛО11ных отражающих систе.м. Цель 113()О) ния - повышение удобства в работе и возможность проведения измерений на любых изотропных и анизотропных от|К1 1 аю1цих системах при любых бол1)111их уг.чах падения вплоть до 90°. CyniHOCTb изобретения зак.чючается в том, что в э. 1.1инсо% стре л. 1я li.iMC- рения толщины и оптических cBoiicr-ri ойрал цов, содержаигем тубус падающс ciier;; и тубус отраженного света, устанои.юипыо под угло.м дру1 к дру1 у, и кювет для размещения образца, оптические окна расположены на торцах тубх сон. o6| iaiucii ibi ix кювете , тубусы герметично iipiiKfieih ioiib: к NUii - ко гофрировапныл стенкам кюнс Т,, д/ю которой жестко зак| )ег1,1е;1о на про.тмотном сто.1пке. I H.i. ю К5 С5 О 05 со
СОЮЗ СОВЕТСКИХ !
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (S» 4 б 01,! 4/04
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3766963/31-25 (22) 04.07.84 (46) 30.09.86. Бюл. № 36 (7! ) Институт физики полупроводников СО
АН СССР (72) А. С. Мардежов и Т. Хасанов (53) 535.511 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 947641, кл. G Ol В 11/06, 1982.
М. Gauch, I. Quentel. Surf. Sci, v. 108, № 3, р. 617 — 624, 1981. (54) ЭЛЛИПСОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ
ТОЛЩИНЫ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ
И ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ОБРАЗЦОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике, связанной с оптическими методами измерения оптических свойств изотропных
„„SU„„1260697 А1 и анизотропных одное I()iiliblx и много(лойных отражающих систем. Цель нз<гбретения — повышение удобства в рлю!е и возможность проведения измерений на л!обык изотропных и анизотропных отр
1260697
Формула изобретения г7
Составитель В. Яковлев
Редактор Н. Горват Техред И. Верес Корректор T. Колб
Заказ 5216/37 Тираж 778 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относит< я к измерительной технике, связанной с оптическими методами измерения оптических свойств изотропных и анизотропных однослойных и многослойных отражающих систем.
Целью изобретения является расширение области применения на проведение иммерсионных измерений при больших углах падения света.
На чертеже изображена принципиальная схема эллипсометра.
Эллипсометр содержит тубус падаю1цего света и тубус 2 отраженного света, крышки 3 и 4, полые трубки 5 и 6, вставленные в направляющие втулки 7 и 8 каждого из тубусов, оптические окна 9 и 10 из плавленного кварца, прикрепленные к торцу каждого тубуса, мягко гофрированную кювету 11 с дном 12 для размещения образца 13. Кювета расположена на предметном столике 14 и жестко с ним соединена. На дне кюветы имеется отверстие со .итуцером, который соединен с резиновым резервуаром 15 с помощью шланга 16, причем последний может пережиматься зажимом 17. В резервуаре 15 помещена иммерсионная жидкость 18. Крышка 19 (с отводной трубкой 20 и зажимом 21 на ней) закрывает кювету при работе с токсичными жидкостями.
Эллипсометр работает следующим образом.
Во время измерений на воздухе иммерсионная жидкость 18 находится в резервуаре 15, а шланг 16 пережат зажимом 17.
При необходимости им мерсионных измерений зажим 17 снимают, жидкость из резервуара 15 вытесняют в кювету таким образом, чтобы ее уровень находился выше оптических окон 9 и 10. Затем измерение проводится по обычной методике как на воздухе, что обеспечивается мягко гофрированными стенками кюветы.
При увеличении угла падения гофрированные боковые стенки кюветы сжимаются, в противоположном случае — разжимаются.
Избыток воздуха под крышкой 19 отводится
10 с помощью отводной трубки 20 при открытом положении зажима 21. Описанная процедура в любой жидкости занимает примерно такое же время, как и на воздухе. Кроме того, отсутствие ограничения на диаметр кюветы обеспечивает удобную настройку образца к падающему и отраженному световому пучку.
Эллипсометр для измерения толшины поверхностных слоев и оптических свойств образцов, содержащий тубус падающего света и тубус отраженного света, установленные под углом друг к другу, кювету для
2s размещения образцов, расположенные на торцах тубусов, обращенных к кювете, оптические окна, предметный столик, отличающийся тем, что, с целью обеспечения применения для иммерсионных измерений при больших углах падения света, стенки кюветы выполнены мягко гофрированными, тубусы герметично прикреплены к ним, а дно кюветы жестко закреплено на предметном столике.
