Способ определения температуры поверхности

 

Изобретение относится к температурным измерениям и позволяет измерить температуру поверхности образцов в фотоэлектронном спектрометре с помощью фотоэлектронных спектров. Для этого перед воздействием рентгеновского излучения на исследуемую поверхность устанавливают диэлектрический датчик, приводя его в тепловое равновесие с ней,и регистрируют фотоэлектронный спектр датчика, а температуру поверхности определяют по СДВИГУ;линий фотоэлектронного спек тра относительно положения линий спектра от незаряженной поверхности датчика. В качестве датчика используют диэлектрическую поверхность образца. Для воспроизводимости результата необходимо соблюдать одинаковые условия облучения датчика и регистрации спектров. Степень зарядки и сдвиг спектральных линий зависят § от температуры поверхности. Сдвиг линий позволяет судить о температуре y/J поверхности. 1 з.п. ф-лы, 1 илл. ГО ел ел 00 4ib

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (5D 4 G 01 К 7/40

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3775115/24-10 (22) 31. 07. 84 (46) 07.09.86. Бюл. ¹ 33 (72) О.В.Петрова, И.Я.Колотыркин и Ю.Я.Томашпольский (53) 536.532(088.8) (56) Патент Японии № 50-21867, кл. G 01 К 11/20.

Авторское свидетельство СССР № 498515, кл. G 01 К 7/40. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к температурным измерениям и позволяет изме- рить температуру поверхности образцов в фотоэлектронном спектрометре с по;мощью фотоэлектронных спектров. Для этого перед воздействием рентгенов„„SU„„1255874 A 1 ского излучения на исследуемую поверхность устанавливают диэлектричес" кий датчик, приводя его в тепловое равновесие с ней,и регистрируют фотоэлектронный спектр датчика, а температуру поверхности определяют по сдвигу линий фотоэлектронного спектра относительно положения линий спектра от незаряженной поверхности датчика. В-качестве датчика используют диэлектрическую поверхность образца. Для воспроизводимости результата необходимо соблюдать одинаковые условия облучения датчика и регистрации спектров. Степень зарядки и сдвиг спектральных линий зависят ф от температуры поверхности. Сдвиг линий позволяет судить о температуре поверхности. 1 s.ï. ф-лы, 1 илл. С:

125587ч

Изобретение относится к области температурных измерений.

Целью изобретения явпяется измерение температуры поверхности образцов в фотоэлектронном спектрометре с помощью фотоэлектронных спектров.

На чертеже представлена градуировочная кривая для измерения температуры.

Диэлектрический датчик приводят в тепловое равновесие с исследуемой поверхностью образца, помещенного в камеру электронного спектрометра.

Под действием рентгеновского излучения на поверхности датчика образуется стабильный положительный заряд, которьй.приводит к одновременному сдвигу всех линий фотоэлектронного спектра датчика относительно положения линий незаряженной поверхности. Для воспроизводимости результатов необходимо соблюдать одинаковые условия облучения датчика и регистрации спектров,.

Степень зарядки и, следовательно, сдвиг спектральных линий зависят от температуры поверхности. Таким обра-. зом, сдвиг линий позволяет судить о температуре поверхности;

Если L — смещение линии в интер—

1 вале aL, то температура, отвечающая

b Ò этому сдвигу Т "- L ---1

Здесь лТ = Т„„— Т„; лТ, =-(L — т ) — (L Lо), где Т о аб ное значение положения линии в фогоэлектронном спектре на незаряженной поверхности, Т,,„,„„ .Т,,„; — соответственно максимальное и минимальное смеще-ния линии в диапазоне температур Р,Т, Для повышения точности измерений следует пользоваться градуированным графиком (фиг.1).

В случае измерения температуры поверхности диэлектрика в качестве датчика температуры служит сам исследуемый образец.

Пример, В качестве датчика используют монокристалл титаната бария Baij.O>. При комнатной температуре линии фотоэлектронного спектра этого кристалла сдвинуты на 11 эВ °

10 При нагреве его до 500 К сдвиг линий уменьшается,до 1 эВ. Таким образом, в интервале температур 300-500 К линии сдвигаются на 10 эВ. Для измерения промежуточных температур строится градуировочная кривая.

Формула изобретения

1. Способ определения температуры

20 поверхности, заключающийся в воздействии рентгеновского излучения на исследуемый объект и регистрации фотоэлектронного спектра, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью расши25 рения температурного диапазона измерений, повышения точности, воспроиз— водимости и упрощения измерений, перед воздействием рентгеновского излу1ения на поверхность;исследуемого объекта устанавлп:вают диэлектрический датчик, приводят его в тепловое равновесие с ней и регистрируют фотоэлектронный спектр датчика, а температуру поверхности определяют по

35 сдвигу линий фотоэлектронного спектра относительно положепия линий г спектра от незаряженной поверхности датчика.

2. Снос.об по и. 1, о т л и ч а ю шийся тем, что в качестве датчика используют диэлектрическую поверхность образца.

1255874

%. B

Ю

М

Ъ $

Ъ Я

Составитель Ю.Акопов

Редактор В.Иванова Техред И.Верес

Корректор Л.Пилипенко

Заказ 4813/41 Тираж 778 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4