Способ измерения толщины покрытия

 

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения толщины покрытия. Цель изобретения - повышение точности измерения толщины покрытия переменного состава путем исключения зависимости результатов измерения от состава покрытия. Облучают изделие со стороны покрытия и со стороны основания рентгеновским излучением одной энергии и регистрируют интенсивности (соответственно I и 1) рассеянного излучения. Определяют логарифм отнощения интенсивностей I и 1, величина которого зависит от состава покрытия /и и от толщины покрытия ш. Измерение проводят последовательно в нескольких точках, фиксируют минимальную толщину логарифма отношения и определяют толщину покрытия по формуле m A I,n , где J - интенсивность рассеянного в покрытии излучения; А - коэффициент пропорциональности, получаемый от предварительно построенного графика , имеющего вид линейной функции. 1 ил, i (Л to li СД СХ) 00

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМЪ/ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3856717/24-28 (22) 15 .02.85 (46) 23.07.86. Бюл, № 27 (71) Научно-исследовательский институт электронной интроскопии при

Томском политехническом институте им. С.M.Êèðoâà. (72) В.А.Забродский (53) 531 ° 717.11 (088 ° 8) . (56) Floech 3 .Н.Paint Coating Weight

measurement Technigne Uses Nuclear

Fluorescence — iron and .тteel

Engineer, 1968, 45, №- 5, 145.

Авторское свидетельство СССР

¹ 665208, кл. G 01 В 15/02, 19?9. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩЙНЫ ПОКРЫ—

ТИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения толщины покрытия. Цель изобретения — повъппение точности измерения толщины покрытия переменно()9)@ ())) 1 24 Я ) (51) 4 С 01 В 15/02 го состава путем исключения зависимости результатов измерения от состава покрытия. Облучают изделие со стороны покрытия и со стороны основания рентгеновским излучением одной энергии и регистрируют интенсивности (соответственно I„ и I ) рассеянного излучения ° Определяют логарифм отношения интенсивностей

I u I, величина которого зависит

1 о от состава покрытия т(, и от толщины покрытия тп. Измерение проводят последовательно в нескольких точках, фиксируют минимальную толщину логарифма отношения и определяют толщину покрытия по формуле тп =А I тп I /I, где 1 — интенсивность рассеянного г в покрытии излучения; А — коэффициент пропорциональности, получаемыи от предварительно построенного графика, имеющего вид линейной функции.

1 ил.

1245881

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к орласти исследования материалов с помощью отраженного излучения, и предназначено для измерения толщины покрытия.

Цель изобретения — повышение точности измерения толщины покрытия переменного состава путем исключения зависимости результатов измерения от состава покрытия.

На чертеже изображено устройство для реализации предлагаемого спосо6а.

Измерение толщины покрытия осуществляют следующим образом.

Потоками рентгеновского излучения одной энергии рентгенонских источников 1 и 2 облучают контролируемое изцелие со стороны покрытия 3 и со с гороны основания 4 . Со стороны источников излучения относительно контролируемого изделия регистрируют интенсивность рассеянного излучения детекторами 5 и 6 (I„ и I ). Между источником 1 излучения детектором 5 предварительно устанавливают защитный экран 7 толщиной, обеспечивающей защиту детектора 5 от прямого излучения источника 1 и от попадания квантов рассеянного в покрытии излучения в детектор 5. Защитный экран

8, такой же как и экран 7, обеспечивает зашиту детектора 6 от прямого излучения источника 2 и одинаковые условия измерения интенсивностей рассеянного излучения детекторами 5 и 6. Определяют логарифм отношения интенсивности рассеянного излучения

I, регистрируемой детектором 5, и интенсивности рассеянного излучения I, регистрируемой детектором 6, с помощью блока 9 и индицируют выходным прибором 10

Is Ie

In — = 3n(- — — -) = р m

F "» "

1 о где — коэффициент ослабления материала покрытия для первой энергии облучения Е;

m — толщина покрытия..

Вьпичина fn -з завгсит от состава

I, покрытия »», и от толщины покрытия m.

Указанное измерение проводят последовательно в нескольких точках контролируемого изделия и фиксируют

К 1

25 где р, — коэффициент ослабления материалом покрытия излучения энергии Е

К вЂ” функция рассеяния, не зависящая от энергии облучения, Умножают величину интенсивности

I на логарифм отношения величин инг тенсивностей, зарегистрированных детекторами 5 и 6 при начальной энер-. гии облучения Е„:

К » m

T 3n —

r,п

40 и определяют толщину покрытия по формуле

Л "> ш=А:I 1п

I г — коэффициент пропорциональности, получаемый от предварительно построенного графика, который имеет вид линейной функции. где А

Ф о р м у л а изобретения

С по соб измерения толщины покрытия, заключающийся в том, что контроминимальную величину логарифма отношения. По предварительно снятому графику зависимости энергии облучения Е, для которой толщина покрытия является насыщенным слоем, от

Io

I, определяют энергию облучения Е г

Устанавливают на рентгеновском источнике 1 напряжение питания, обес-!

О печивающее энергию облучения второй энергией Е, облучают IIOTQKQM рентгеновского излучения этой энергии контролируемое изделие со стороны покрытия 3. Регистрируют интенсивность I рассеянного в покрытии

2 излучения детектором 5, для чего экран 7 устанавливают в положение, обеспечивающее показание квантов рассеянного в покрытии излучения в

20 детектор 5, а коммутатор 1! — в положение, обеспечивающее поступление сигнала с детектора 5 на выходной показывающий прибор 12

124588! коэффициент пропорциональности; интенсивность рассеянного где А

Z в покрытии излучения при определенной энергии пучка рентгеновского излучения; интенсивности рассеянного излучения пучка рентгеновского излучения от основания без покрытия и с покрытием.

Составитель В.Парнасов

Редактор А,Козориз Техред М.Ходанич КоРРек оР В.БУтЯга

Тираж 670 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Заказ 3985/31

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная,4 лируемое изцелие облучают пучком рентгеновского излучения, регистрируют интенсивность рассеянного излучения от основания без покрытия и интенсивность рассеянного излучения от основания с покрытием, находят их отношение и определяют толщину покрытия, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точности измерения толщины покрытия 10 переменного состава, по величине найденного отношения интенсивностей рассеянного излучения определяют энергию, для которой толщина покрытия является насыщенным слоем, пуч- f5 ком рентгеновского излучения указанной энергии облучают контролируемое изделие со стороны покрытия, регистрируют интенсивность рассеянного излучения и определяют толщину покрытия m по формуле