Пароводяной диффузионный вакуумный насос

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (59 4 Р 04 Р 9 00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3840900/25-06 (22) 03.01.85 (46) 15.07.86. Бюл. № 26 (71) Институт теплофизики СО АН СССР (72) Г. А. Храмов, В. И. Ермолов, О. А. Нерушев и В. Н. Ярыгин (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 191?39, кл. F 04 F 9/00, 1965.

„„SU„„1244395 А1 (54) (57) ПАРОВОДЯНОЙ ДИФФУЗИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус, испаритель и расположенные в корпусе криогенные поверхности и сопло, подключенное к испарителю, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности и уменьшения времени запуска, насос снабжен гидравлическим стабилизатором, соединенным с испарителем, а последний выполнен в виде электропарогенератора, размещенного внутри корпуса.

1244395

Составитель Э.Могильницкая

Редактор Е. Конча Техред И. Верес Корректор С. Черни

Заказ 3797/38 Тираж 586 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий! l 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к диффузионным вакуумным насосам.

Цель изобретения — повышение экономичности и уменьшение времени запуска вакуумного насоса.

На чертеже схематически изображен пароводяной диффузионный вакуумный насос.

Пароводяной диффузионный вакуумный насос содержит корпус -1, испаритель и расположенные в корпусе 1 криогенные поверхности 2, сопло 3, подключенное к испарителю.

Насос снабжен гидравлическим стабилизатором 4, соединенным с испарителем, выполненным в виде электропарогенератора 5, размещенного внутри корпуса.

Пароводяной диффузионный вакуумный насос работает следующим образом.

Из корпуса 1 и откачиваемого объема предварительно откачивается газ, и в криогенные поверхности 2 подается жидкий азот.

По мере захолаживания поверхности до температуры жидкого азота включается электропарогенератор 5, для чего на него подается электрическое напряжение, а затем внутрь подается вода.

В линию подачи воды включен гидравлический стабилизатор 4, обладающий значительно большим гидравлическим сопротивлением, чем электропарогбнератор 5.

При включении электропарогенератора 5 из сопла 3 начинает истекать сверхзвуковая струя водяного пара. Газ со стороны откачиваемого объема захватывается струей и уносится в сторону линии предварительного разрежения, при этом пары воды и откачиваемые газы, конденсирующиеся при температуре жидкого азота, захватываются криогенной поверхностью, а неконденсирующиеся компоненты откачиваются.

Размещение электропарогенератора внутри корпуса насоса позволяет обеспечить хорошую вакуумную теплоизоляцию и дать

20 экономию электроэнергии. Дозированный расход воды позволяет избежать нагрева излишков воды и снизить время запуска насоса.