Устройство для получения электрофотографического носителя вакуумным напылением паров селена на металлическую подложку

 

Изобретение относится к устрой- . ствам для получения электрофотографического носителя вакуумным напылением паров селена на металлическую подложку и позволяет повысить качество носителя путем формирования высокоадгезионного кристаллического подслоя селена из высокоэнергетических конденсируемых молекул. Устройство содержит лодочный испаритель селена квазизамкн5 того типа и дополнительный электронагреватель, выполненный в виде параллельных струн, расположенных между испарителем и напыпяемой подложкой . Отношение диаметра стун к периоду их расположения составляет от 0,03 до 0,07. Проводят вакуумное напыление селеновых электрофотографических слоев методом сублимации с дополнительньм разогревом в начале конденсации паров селена струнным нагревателем , расположенным на пути паров между испарителем и подложкой. Температуру испарителя 210°С поддерживают в процессе напъшения нагревателем, расположенным под зюпарите-пем. Струны диаметром О,1 мм дополнительного нагревателя паров селена располагают с шагом 3 Mi-i на пасстоянни от лспарптеля .10 мм и. от подложки 100 мм. Дополнительньш нагрев паров селена осуществляют В начале испарения струнами , разогретыми электрическим током до 2000°С. По истечении 0,1 общего времени напыления слоя нагрев прекращают . 1 з.п.ф-лы, 1 ил. (О Г Wn ьо «4 1 О о

союз советсних

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 G 03 G 15 00

° св.ов щ ..13

j aji jlgOTJERk

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМЪ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3462192/28-12 (22) 16.07.82 (46) 07.07.86. Бюл. М 25 (71) Специальное конструкторское бюро злектрофотографических аппаратов промьппленного объединения "Оргтехника" (72) В.М.Котов, А.И.Попов, А.В.Каралюнец, М.И.Шнейдман, В.В.Браницкий, В.Б.Голубинцев и Б.А.Тазенков (53) 772.93(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 466300, кл. С 23 С !3/12, 1978. (54). УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОФОТОГРАФИЧЕСКОГО НОСИТЕЛЯ ВАКУУМНЫМ НАПЫЛЕНИЕМ ПАРОВ СЕЛЕНА НА МЕТАЛ-

ЛИЧЕСКУЮ ПОДЛОЖКУ (57) Изобретение относится к устройствам для получения электрофотографического носителя вакуумным напыле нием паров селена на металлическую подложку и позволяет повысить качес-тво носителя путем формирования высо— коадгезионного кристаллического подслоя селена из высокоэнергетических конденсируемых молекул. Устройство

„,Я0„„1242906 А1 содержит лодочный испаритель селена квазизамкнутого типа и дополнительный электронагреватель, выполненный в виде параллельных струн, расположенных между испарителем и напьшяемой поцложкой. Отношение диаметра стун к периоду их.расположения составляет от

0,03 до 0,07. Проводят вакуумное напыление селеновых электрофотографических слоев методом сублимации с дополнительным разогревом в начале конденсации паров селена струнным нагре- . вателем, расположенным на пути паров между испарителем и подложкой. Температуру испарителя 210 С поддерживают

В процессе напьшения нагревателем расположенным под нспарителем. Струны диаметром 0 1, т1м допблнительного нагревателя паров селена распопагают с шагом 3 мм на расстоянии от испарителя 10 мм и от подложки 100 мм. Дополнительный нагрев паров селена осуществляют в начале испарения струнами, разогретыми электрическим током до 2000 С. По истечении 0,1 общего времени напыления слоя нагрев прекращают. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

1242906

Изобретение относится к электрофотографии и может быть использовано в производстве электрофотографических цилиндров и пластин на основе селена.

Цель изобретения — повьш ение ка- 5 чества носителя. путем формирования высокоадгезионного кристаллического подслоя селена из высокоэнергетических конденсируемых молекул., f 1О

На чертеже изображено предлагаемое устройство.

Устройство содержит лодочный испаритель 1 селена квазизамкнутого типа и дополнительный электронагреватель 2.. Электронагреватель выполнен:в виде параллельных струн, расположенных между испарителем и напыляемой подложкой, причем отношение диаметра струн к периоду их расположения составляет от 0,03 до 0,07.

Сущность изобретения заключается в следующем.

При изготовлении селеновых электрофотографических слоев методом сублимации при температуре испарителя

150-210 С и температуре подложки при термообработке слоя 80-90 С парам селена перед их конденсацией дополнительно сообщают кинетическую энергию разогрева струнным нагревателем, расположенным между испарителем и подложкой,. с одновременным облучением паров ее конденсата светом, имеющим длины волн меньше 620 нм с энергией больше, чем 2,2 В, а затем после соз- дания сплошного. кристаллического нодслоя высокой адгезионной прочности толщиной до 1 мкм дополнительный разогрев пара и облучение конденсата прекращают.

Температурное поле струнного нагревателя, имеющего температуру 15002000 С, дробит длинноцепочные молеку- лы пара селена на короткоцепочные М0лекулы вплоть до атомарного селена и увеличивает их кинетическую энер.гию в 3-4 раза ° Увеличение кинетической энергии молекул пара, а следовательно и их скорости падения на подложку, способствует образованию на подложке сплошной пленки высокой адгезионной прочности. Уменьшение длины цепи молекул пара снижает энергию активации кристаллизации конденсата.

Облучение конденсата селена в процес- 1 се кристаллизации светом указанных характеристик, излучающим струнным нагревателем, разогретого до 15002000О, ускоряет процесс кристаллизации конденсата селена., Кристаллизация селена в процессе конденсации очень существенна, так как кристаллический тригональный селен имеет наибольшую плотность по сравнению с иными формами (4,6

4,8 г/см ) и восполение селена в процессе кристаллизации идет за счет конденсации паров селена, тогда как кристаллизация селена от подложки формирования аморфного слоя ведет к растяжению аморфной фазы слоя у фрон" та кристаллизации и к снижению плотности аморфной фазы, а тем самым к снижению прочности связи аморфного и кристаллического слоев °

Пример. Проводят вакуумное напыление селеновых электрофотографических слоев методом сублимации с дополнительным разогревом в начале конденсации паров селена струнным нагревателем, расположенным на пути паров между испарителем и подложкой.

Температуру испарителя 210 С ноддеро живают в процессе напыления нагревателем, расположенным под испарителем.

Струны диаметром О, 1 мм дополнительного нагревателя паров селена располагают с шагом 3 мм на расстоя-. нии ат испарителя 10 мм и от подложки

100 мм. Дополнительный нагрев паров селена осуществляют в начале испарения струнами, разогретыми электрическим током до 2000 С, а затем по истечении О, 1 общего времени напыления слоя отключают.

Ф о р м у л а изобретения

1. Устройство для получения электрофотографического носителя вакуумным напылением паров селена на металлическую подложку, содержащее лодоч ный испаритель селена квазизамкнутого, типа и дополнительный электронагреватель, с т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьппения качества носи теля путем формирования высокоадгезионного кристаллического подслоя селена из высокоэнергетических конденсируемых молекул, дополнительный электронагреватель выполнен в виде ряда параллельных струн, расположенных между испарителем и подложкой.

2. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что отношение диаметров струн к периоду их расположения составляет от 0,03 до 0,07.

1242906

Составитель В,Аксенов

Редактор Н.Бобкова . ТехредМ.Ходанич Корректор И.Максимишинец

Заказ 3703/46 Тираж 436 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r.Óæãoðoä, ул.Проектная, 4