Способ контроля адгезии пленок

 

Изобретение относится к испытйтельной технике, а именно к способам контроля адгезии пленок, и позволяет расширить функциональные возможности путем обеспечения приложения разрушающей нагрузки на участках протяженностью не более 100 мкм и ускорить контроль адгезии пленок к подложке. Воздействуют на пленку с помощью не менее двух одинаковых источников разрушения в виде лазеров, расположенньсх один от другого на расстоянии Е, определяемом из условия F /aTtjlj, где а - коэффициент теплопроводности материала подложки; t - длительность воздействия источников разрушения. Размещение источников разрушения на заданном расстоянии один от другого позволяет контролировать качество адгезии одновременно в разных местах поверхности испытуемых образцов без расплавления пленки. 1 з.п. ф-лы. с (Л с: го ГчО 3 СП 05

СОЮЗ СОЕЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК 11 4 G 01 N 19 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТЮЕККЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (2i) 3786656/25-28 (22) 27.08.84 (46) 07.05.86. Бюл. ¹ 17 (72) А.д. Чернявский и В.П. Весновская (53) 620.179.4(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 395750, кл. С 01 М 19/04, 1971.

Заводская лаборатория, 1979, № 5, с. 457-458. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ АДГЕЗИИ ПЛЕНОК (57) Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам контроля адгезии пленок, и позволяет расширить функциональные возможности

Ф путем обеспечения приложения разру„„Я0„„1229656 А1 шающей нагрузки на участках протяженностью не более 100 мкм и ускорить контроль адгезии пленок к подложке.

Воздействуют на пленку с помощью не менее двух одинаковых источников разрушения в виде лазеров, расположенных один от другого на расстоянии

Г, определяемом из условия F > at„, где а — коэффициент теплопроводности материала подложки; „ — длительность воздействия источников разрушения.

Размещение источников разрушения на заданном расстоянии один от другого позволяет контролировать качество адгезии одновременно в разных местах поверхности испытуемых образцов б э расплавления пленки. 1 з.п. ф-лы. 229656

E а»

5G

M >pa»„, Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам контроля адгезии пленок.

Цель изобретения — расширение функциональных возможностей путем обеспечения приложения разрушающей ьагрузки на участках протяженностью не более 100 мкм и ускорение контроля адгезии пленок.

Способ осуществляют следующим образом.

На подложку наносят испытуемую пленку одним из известных способов и доводят ее до отверждения. После отверждения пленки воздействуют на нее разрушающей нагрузкой с помощью не менее двух одинаковых источников разрушения в виде лазеров, При этом интенсивность источников разрушения выбирают превышающей пороговую интен" сивность разрушения пленки, Источники разрушения располагают один от -другого на расстоянии 1, определяемом из условия где а — коэффициент теплопроводности материала подложки; — длительность воздействия источников разрушения.

Использование не менее двух одинаковых источников разрушения обуславливает образование нескольких эон разрушения в пленке одновременно и ускорение процесса контроля адгезии на одном образце. Минимальная площадь разрушения пленки от одного источника разрушения определяется его интенсивностью, а максимальная площадь разрушения пленки на одном образце выбирается из условия одновременного размещения источников разрушения на расстоянии 1= а»„ . В случае размещения источников разрушения на расстоянии

1 меньше указанного, пленка. расплавляется при наложении импульсов один на другой иэ-за отсутствия достаточного теплоотвода в материал подложки.

Максимальное расстояние между источниками разрушения ограничивают исходя из размеров контролируемой площади образца не более iCO мкм.

Чем меньше величина адгезии пленки к подложке, тем значительнее роль гидродинамических эффектов в процессе разрушения пленки и ниже порог их разрушения из-эа возрастания внутрен них напряжений, приводящих к увелиt0

l5

35 ченню размеров зоны разрушения. При воздействии на пленку лазером на ее поверхности разрушение начинает развиваться в местах максимальных интенсивностей источников разрушения.

Расплав пленки начинает стягиваться под действием сил поверхностного натяжения к краям эоны разрушения.

В случае хорошей адгеэии пленки к подложке разрушить всю пленку между максимумами источников разрушения невозможно, не доведя ее до температуры испарения. Температура нагрева пленки зависит от теплопроводности материала подложки, качества сцепления пленкн с подложкой и длительности воздействия источников разрушения на пленку. Для тонких пленок характерно неравномерное распределение адгезии, поэтому следует более тщательно подготовить поверхность подложки для нанесения на нее пленок. После воздействия на пленку источниками разрушения определяют площадь разрушения пленки, по величине которой судят об адгезии пленок к подложке. Для количественной оценки величины адгезии используют косвенный метод измерения, заключающийся в сравнении минимального расстояния, при котором разрушается область пленки между двумя источниками разрушения„ с градуировочной кривой зависимости силы адгезии от расстояния между источниками разрушения, определяемой каким-либо известным методом„

Формула изобретения

Способ контроля адгеэии пленок при котором пленку наносят на подложку, воздействуют на нее разрушающей нагрузкой и по площади разрушения судят об адгезии, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью расширения его функциональных возможностей путем обеспечения приложения разрушающей нагрузки на участках протяженностью це более 100 мкм и ускорения контроля, воздействие на пленку осуществляют с помощью не менее двух одинаковых источников разрушения, интенсивность которых превышает пороговую интенсивность разрушения пленки и которые располагают один от другого на расстоянии 1, определяемом из условия

1229656

Составитель В. Свиридов

Техред В.Кадар

Редактор Е. Папп

Корректор А. Тяско

Заказ 2445/44 Тираж 778 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам. изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 где а - коэффициент теплопроводности материала подложки;

t - длительность воздействия иск точников разрушения.

2. Способ по.п.1, о т л и ч а в - шийся тем, что н качестве ис- . точников разрушения используют лазеры.