Способ изготовления фольговых тензорезисторов

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для изготовления тензорезисторов с чувствительным элементом из фольги. Целью изобретения является улучшение характеристик тензорезисторов и повышение эксплуатационных качеств. На закрепленную на опорной рамке фольгу с помош.ью центрифуги наносят слой клея - 4%-ный раствор полиамида V-18 в хлороформе - и сушат при комнатной температуре 5-10 мин. На слой клея накладывают подложку из фенилона. К подложке прижимают тампон, пропитанный растворителем клея - хлороформом, и держат 1 -1,5 мин. Фольговую заготовку с подложкой заключают между двумя слоями фторопластовой пленки, накладывают с обеих сторон по слою термостойкой резины, помещают между пластинами и сдавливают пластины усилием 12-15 кг/см с помощью зажимного устройства. Осуществляют термообработку , затем проводят операции фотолитографии и травления. Поверхность подложки, обращенная к конструкции, остается непропитанной клеем, и не затрудняется отвод летучих компонентов клея при наклейке, что обеспечивает качественную наклейку тензорезисторов . § (Л ю N:) со о ГчЭ

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1223027 (я) 4 G 01 В 7 18

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3725482/25-28 (22) 13.04.84. (46) 07.04.86. Бюл. № 13 (72) В. Ф. Воронов, И. М. Докучаева и Г. Е. Каспирович (53) 531.781.2 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 316922, кл. G Ol В 7/18, 1969. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для изготовления тензорезисторов с чувствительным элементом из фольги. Целью изобретения является улучшение характеристик тензорезисторов и повышение эксплуатационных качеств. На закрепленную на опорной рамке фольгу с помощью центрифуги наносят слой клея — 4%-ный раствор полиамида V — 18 в хлороформе — и сушат при комнатной температуре 5 — 10 мин. На слой клея накладывают подложку из фенилона. К подложке прижимают тампон, пропитанный растворителем клея — хлороформом, и держат

1 — 1,5 мин. Фольговую заготовку с подложкой заключают между двумя слоями фторопластовой пленки, накладывают с обеих сторон по слою термостойкой резины, помещают между пластинами и сдавливают пластины усилием 12 — 15 кг/см2 с помощью зажимного устройства. Осуществляют термообработку, затем проводят операции фотолитографии и травления. Поверхность подложки, обращенная к конструкции, остается непропитанной клеем, и не затрудняется отвод летучих компонентов клея при на клейке, что Q обеспечивает качественную наклейку тензорезисторов.

1223027

Формула изобретения

Составитель Т. Николаева

Редактор О Головач Тех ред И. Вер ес Корректор С. Черни

Заказ 1699/4! Тираж 670 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для изготовления тензорезисторов с чувствительным элементом из фольги.

Цель изобретения — улучшение характеристик тензорезисторов и повышение эксплуатационных качеств.

Способ изготовления фольговых тензорезисторов осуществляется следующим образом.

На закрепленную на опорной рамке фольгу с помощью центрифуги наносят слой клея — 4о/0-ный раствор полиимида V — 18 в хлороформе — и сушат при комнатной температуре 5 — 10 мин. На слой клея накладывают подложку из фенилона. К подложке прижимают тампон, пропитанный растворителем клея — хлороформом, и держат

1 — 1,5 мин. После этого фольговую заготовку с присоединенной к ней подложкой заключают между двумя слоями фторопластовой пленки, накладывают с обеих сто- 2О рон по слою термостойкой резины, помещают между двумя стальными полированными пластинами и с помощью зажимного устройства сдавливают пластины с усилием 12—

15 кг/см . Зажимное устройство помещают в термошкаф, нагревают со скоростью 1 С в минуту до 200 С, делают выдержку в течение двух часов и охлаждают вместе с термошкафом. После термообработки на заготовке фольги проводят операции фотолитографии и травления.

При этом поверхность подложки, обращенная к конструкции, остается непропитанная клеем и не затрудняется отвод летучих компонентов клея при наклейке. В результате создаются условия, обеспечивающие качественную наклейку тензорезисторов.

Способ изготовления фольговых тензорезисторов, заключающийся в том, что на фольгу наносят слой клея, подсушивают его и соединяют подложку с фольгой, отличающийся тем, что, с целью улучшения характеристик тензорезисторов и повышения эксплуатационных качеств, подложку после соединения с фольгой пропитывают растворителем клея.