Устройство для плазмохимической индивидуальной обработки пластин

Устройство для плазмохимической индивидуальной обработки пластин, содержащее реакционно-разрядную камеру с плоскопараллельными электродами, один из которых соединен с ВЧ-генератором, а другой с держателем пластины заземлен, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения равномерности обработки, электрод, соединенный с ВЧ-генератором, выполнен в виде плоской спиральной пружины, внешний конец которой жестко закреплен, а внутренний установлен с возможностью вращения вокруг оси, при этом ширина спиральной пружины выбрана из условия где a - ширина спиральной пружины; D - диаметр пластины; n - число витков пружины; b - расстояние между витками пружины, которое выбрано в соответствии с неравенством где h - расстояние между электродами.