Способ определения типа проводимости в германии

 

№ 120673

Класс 42k, 46о4

СССР

pnг! f 1о 1 5

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ю. А. Концевой

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТИПА ПРОВОДИМОСТИ ГЕРМАНИЯ

Заявлено 1 августа 1958 г. за ¹ 605309/22 в Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» ¹ 12 за 1959 г.

Изобретение относится к способам определения типа проводимости монокристаллического германия по знаку термоэлектродвижущей силы при помощи термозонда.

Известные подобные способы, основанные на использовании нагретого термозонда, не обеспечивают необходимой точности определения при исследовании образцов, проводимость которых близка к собственной проводимости германия.

Для устранения этого недостатка предлагается вместо нагретого зонда использовать охлажденный термозонд. Охлаждение термозонда может быть осуществлено холодильным термоэлементом, сухим льдом, жидкими газами, например азотом, и другими известными способами.

При охлаждении зонда в точке измерения концентрация носителей, обусловленных собственной проводимостью, резко уменьшается и знак термоэлектродвижущей силы определяется только примесной проводимостью. При использовании охлажденного зонда можно задавать больший градиент температуры. Кроме того, удельная термоэлектродвижущая сила образцов, проводимость которых близка к собственной проводимости германия, возрастает при охлаждении. Все это повышает тсчность измерений и позволяет четко и безошибочно определять наличие избытка концентрации доноров или акцепторов в слитках германия.

Предлагаемый способ может быть использован для контроля технологического процесса при производстве чистого германия.

Предмет изобретения

Способ определения типа проводимости германия термозондом по знаку электродвижущей силы, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, применяют охлажденный термозонд, вместо нагретого, причем охлаждение его осуществляют холодильным термоэлементом, сухим льдом, жидкими газами или другими известными приемами.

Способ определения типа проводимости в германии 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов
Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин
Наверх