Голографический интерферометр для измерения формы сферических оптических поверхностей

 

1. ГОЛО ГРАФИЧЕСКИЙ ИР1ТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ФОРМЫ СФЕРИЧЕСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ, содержащий лазер, установленные по ходу его излучения оптическую систему для расширения пучка и систему формирования эталонного пучка, выполненную в виде голограммы, записанной с помощью эталонного образца, систему формирования рабочего пучка, оптически связанную с оптической системой расшфения пучка и голограммой , и блок регистрации, оптически связанньй с голограммой, отличающийся тем, что, с целью повьшения точности и надежности измерений , голограмма выполнена в виде осевой отражательной голограммы и устанавливается на пути лучей от оптической системы расширения пучка к контролируемому объекту, а интерферометр снабжен линзой, установленной между расширителем пучка и центром кривизны контролируемой по;верхности так, что фокус линзы совпадает с центром кривизны. (Л 2. Интерферометр по п.1, о т л ис чающийся тем, что голограмма ориентирована наклонно относительно оси лазерного пучка.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (g>)4 С 01 В 9/021

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

tlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3697588/25-28 (22) 30.01.84 (46) 23.10.85. Вюл. N 39 (72) А.Н. Калинин, С.Н. Гинак, Ф,В. Видмант и Н.Ф, Шталенков (53} 681.2.535.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 366780, кл. G 01 В 9/02, 1973.

Коломийцев Ю.В. Интерферометры.

Л.: Машиностроение, 1976, с. 76-78. (54)(57) 1. ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ФОРМЫ СФЕРИЧЕСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ, содержащий лазер, установленные по ходу его излучения оптическую систему для расширения пучка и систему формирования эталонного пучка, выполненную в виде голограммы, записанной с помощью эталонного образца, систему формирования рабочего пучка, onтически связанную с оптической системой расширения пучка и голограммой, и блок регистрации, оптически связанный с голограммой, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения точности и надежности измерений, голограмма выполнена в виде осевой отражательной голограммы и устанавливается на пути лучей от оптической системы расширения пучка к контролируемому объекту, а интерферометр снабжен линзой, установленной между расширителем пучка и центром кривизны контролируемой по;верхности так, что фокус линзы совпадает с центром кривизны.

-2. Интерферометр по п.1, о т л ич а ю шийся тем, что голограмма ориентирована наклонно относительно оси лазерного пучка.

1186940

Составитель М. Семчуков

Техред Л.Микеш Корректор В. ð«K

Редактор Н. Пушненкова

Заказ 6533/43

Тираж 650 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент". r, Ужгород, ул. Проектная,4

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля формы оптических поверхностей.

Целью изобретения является повышение точности и надежности измере- . ний.

На чертеже представлена схема интерферометра.

Голографический интерферометр состоит из лазера 1, оптической системы 2 для расширения лазерного пучка, осевой отражательной голограммы 3, линзы 4, установленной между голограммой 3 и центром кри- 15 визны контролируемой поверхности 5, таким образом, что фокус линзы 4 совпадает с центром кривизны контролируемой поверхности, полупрозрачной пластины 6 и блока 7 20 регистрации. Голограмма 3 может быть установлена наклонно относительно осп лазерного пучка, образуя с ней угол, обеспечивающий выход пучков, отраженных от поверхностей подложки 25 .голограммы, за пределы входного зрач ка блока 7 регистрации.

Устройство работает следующим образом.

Излучение лазера 1 рас ш ряется 30 системой 2 до требуемой величины и . падает на голограмму 3. Часть его, дифрагируя на голограмме, формирует эталонный пучок, который распространяется в обратном направлении по тому же пути. Другая, недифрагированная часть излучения проходит через голограмму и линзой 4 направляется по нормалям к измеряемой поверхности 5. Отраженный от этой поверхности и несущий информацию о ее форме пучок проходит через голограмму, накладывается на эталонный пучок и интерферирует с ним. Из конструктивных соображений голограмма может быть установлена за линзой 4

/ II (поэ. 3,3 ), что не меняет сущность и работу устройства. Интерференционная картина регистрируется с помощью блока 7 регистрации, куда излучение попадает, отразившись от полупрозрачной пластины 6.

Голограмма 3 записывается в предлагаемом устройстве при установке на место измеряемой поверхности

5 эталонной (например, пробного стекла).

Использование осевой голограммы позволяет совместить ветви интерферометра.

При этом оба интерферирующих пучка идут через одни и те же участки оптических деталей прибора, тем самым, снижается влияние погрешностей оптических деталей прибора, вибраций и флуктуаций показателя преломления . воздуха и повышается точность и надежность измерений.